三层材料微悬臂梁模型及其在红外焦平面像元设计中的应用

双材料梁因其良好的热机械特性作为敏感部件被广泛用于热能传感器中.采用微电子工艺实现的双材料梁通常由金属和非金属作为主要功能材料构成,若两层材料之间粘附性差,则需加入一层粘附材料.根据材料力学热应力和弯拉组合理论,建立了用于分析具有中间粘附层的复合双材料(即三层材料)微悬臂梁的关于材料物理参数、结构尺寸与梁受热弯曲产生转角关系模型;利用此模型和工艺中常用材料,研究了三层材料微悬臂梁的材料选取、各层材料厚度匹配等优化设计问题.通过对像元仿真和对硅工艺制造的红外焦平面阵列(IRFPA)芯片进行测试,验证了模型的正确、合理和适用性.     

电制动停机装置在陈村水电站的应用

陈村水电站于１９８７年开始使用电制动停机装置，到１９９２年投用成功率达９６％以上。是国内全部采用电制动停机且连续正常运行时间最长的电站之一，本文简单介绍了电制动原理，重点介绍了电制动装置在陈村水电站运行情况以及提高电制动可靠性的做法，最后叙述了电制动装置应用的体会和今后值得注意的问题。     

二极管原理非制冷红外焦平面阵列的集成设计

面向非制冷红外成像的低成本高性能应用,二极管原理的红外焦平面阵列的设计和工艺实现得到研究和发展.焦平面和读出电路的设计集成以及CMOS和MEMS工艺集成是此项技术的研究重点.基于SOI的二极管原理焦平面阵列在低成本的利用CMOS工艺实现大规模阵列集成方面有很大的优势.读出电路是基于标准CMOS工艺进行设计的.320×2...     

除尘降噪打磨设备的设计

本项目将除尘和降噪的原理进行了分析，并将其进行综合，运用到了打磨设备上，解决了机械加工企业经常碰到的打磨噪音大、粉尘难以收集的问题。     

电制动停机装置的应用

陈村水电站位于皖南泾县境内青弋江上游,装机三台,总容量150MW。电网中起顶峰、调频、事故备用作用,开停机非常频繁。1984年至1987年开停机次数分别为788、1010、1130、1621次。三台机采用机械制动装置,操作比较简     

深亚微米同步辐射x射线光刻模拟

用束衍生法研究了深亚微米同步辐射 x射线光刻中掩模吸收体的光导波效应 ,并对 x射线光刻后的光刻胶剖面进行了理论计算。采用面向对象技术 ,研制了一个取名为 XLLS1 .0的模拟软件。本文对这个软件进行了详细介绍     

变水量系统Smith-模糊PID复合控制方法

针对集中空调冷水系统存在非线性、滞后性大、时变性强等特点,提出了一种Smith-模糊PID复合控制方法。首先构建了集中空调冷水系统的数学模型;其次分别介绍了模糊PID和Smith预估补偿的原理;最后结合两者优势,提出根据系统状态决定是否应在模糊PID控制的基础上加入Smith预估补偿的复合控制方式。仿真对比表明:采用该控制方式后,系统能够快速达到设定值,动态性能较好,并且抗干扰能力强,即便系统参数发生变化,依然能够保持较好的适应性。将此控制方法应用到实验平台上,实验数据表明,相较于传统PID控制,Smith-模糊PID复合控制具有更好的节能效果。     

一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文)

提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108cm Hz(1/2)/W、1 800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程,使器件的高效量产和低成本生产成为可能。     

全新深亚微米X射线T型栅工艺

GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造带来了许多问题。在本个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。     

化工用途：是否可以成为LPG消费的主流？

液化石油气（简称LPG）是传统的气体能源,我国2012年LPG总消费量2488万t,净进口231万t,国产产量为2258．6万t。但近年来,LPG总体消费量小幅增长的同时,下游消费结构也随着LPG深加工的兴起发生着变化,未来LPG燃料用途的主导消费地位是否会被动摇的问题备受业界关注。