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氮化铝-铝复合封装基板的制备 总被引:2,自引:0,他引:2
采用磁控溅射法在阳极氧化预处理过的铝板上沉积氮化铝薄膜,制备氮化铝-铝复合基板。制备的氮化铝为非晶态,抗电强度超过700 V/μm,阳极氧化铝抗电强度达75 V/μm。当阳极氧化铝膜厚约10μm、氮化铝膜约1μm时,制备的复合封装基板击穿电压超过1350 V,绝缘电阻率1.7×106 MΩ·cm,氮化铝与铝板的结合强度超过8 MPa;阳极氧化铝膜作为缓冲层有效缓解了氮化铝与铝热膨胀系数失配的问题,在260℃热冲击下,铝板未发生形变,氮化铝膜未破裂,电学性能无明显变化。氮化铝与阳极氧化膜的可见光高透性保持了镜面抛光金属铝的高反射率,当该复合基板应用于LED芯片COB封装时,有助于提高封装光效。 相似文献
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兖矿集团南屯电厂三期、四期工程共配套12台空压机,自2002年分别投入运行.12台空压机均为英格索兰生产的双螺杆空压机.其中6台为水冷机组,用于煤泥雾化风、检修和仪表用风;6台为风冷机组,用于除灰用风、石灰石粉输送用风. 相似文献
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安全生产是经济发展的基础和前提,经济发展为安全生产提供了可靠的经济保障;安全生产能够促进生产力的发展,进一步讲,安全生产就是生产力;安全生产必须贯彻落实科学发展观。 相似文献
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