基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置研究

新一代集成电路工艺要求晶圆越来越薄,其后处理加工的难度增大．通过各单元模块化的结构设计,有效地将晶圆的“清洗—干燥—检测”3种后处理技术集成起来,整体工艺处理流程时间平均缩短了47.5%．通过改进异丙醇雾化法,有效地提高晶圆干燥的效率,相较于传统的干燥方式,每片晶圆有效面积内残留水痕面积减少38.4%,检测正确率达到99.12%,实验结果验证该装置集成方式对于晶圆后处理工艺优化的优越性．     

Custom 450高强度不锈钢的动态再结晶行为

为了探究Custom 450钢的动态再结晶行为,采用Gleeble-3800热模拟试验机,在变形温度为1 050～1 200℃和应变速率为0.01～10 s-1的变形条件下开展了单道次等温压缩试验.研究结果显示,在变形温度为1050～1 200℃和应变速率为1.0～10 s-1的变形范围内,钢虽发生了完全的动态再结晶,...     

信息动态

我们公司结合实际,对6台大功率空气压缩机进行了余热回收改造.把空压机正常运行中产生的热量通过油/水转换,得到温度较高的热水,用于空调室车间加温加湿以及冬季附房取暖.改造后试运行中,发现加装余热回收的空压机油温在70℃左右,而散热风机还在全负荷运行.为此,我们决定把空压机的散热风机进行变频改造,使改造后散热风机根据设定的油温自动调节风机转速,以达到充分回收热能,节约电能.     

电力系统直流电源的维护与应用

对电力系统电源在运行过程中维护应注意的事项进行了分析说明,针对蓄电池、充放电设备、监控装置、系统接线以及操作保护设备等方面在电力系统直流电源运行过程中存在的一些问题和应注意的事项进行了阐述。     

高强度马氏体时效不锈钢的晶粒细化及其力学性能的研究

研究了一种高强度马氏体时效不锈钢逆转变奥氏体再结晶规律、细化晶粒工艺及细晶组织对力学性能的影响.研究表明,通过循环相变a'(→)γ可得到7 um的等轴晶粒,新生晶粒内的板条马氏体块又重新被分割而成为若干个亚晶粒,同时部分单一的马氏体板条束又被夹角略大于60°方向上的若干个小马氏体板条束所分割,从而进一步细化了马氏体组织;与传统热处理工艺1050℃×1h相比,在同样时效处理规程下进行时效处理,钢的屈服强度提高了130 MPa,A、Z分别提高了7.5%、11%,循环相变细化晶粒是同时提高该钢的强度和韧塑性的有效手段.     

扬州市智慧排水安全综合监管平台设计与实践

为解决排水业务中面临的数据分散孤立、标准不一、不能共享，主管部门无法进行及时科学监管， “云上扬州”基础数据库缺失排水行业数据等问题，利用云平台、视频监控、城市排水模型等技术，经过实地调研，多方座谈，制定数据标准，采用互联网、专线、电子政务网混合组网的网络方案，汇聚泵站、污水厂在线数据及实验室检测数据，集成气象、水利、排水管线、CCTV 检测结果、排水户等基础信息，开发 1 套智慧排水安全综合监管平台。平台具备接入多元异构数据、查询统计、水质管理、预报预警、模拟仿真、数据共享、 应急处理、远程调度指挥等功能，为主管单位提供数据和功能支撑，实现监管体系标准化，从线下监管转变为线上监管，从人工监管转变为智慧监管，从各自为政的监管转变为跨地域协同联动的监管。     

绕组式永磁耦合调速电机设计与分析

变频器调速技术虽可实现调速,但结构复杂,易受到电磁干扰,影响设备运行的可靠性。此外,当电网电压波动时,变频器难以保证整个系统正常运行。因此,在发电厂等苛刻环境下的应用受到限制。针对以上问题,提出了一种新型绕组式永磁耦合调速电机,离合采用非机械接触结构,减少了机械损耗;可直接对电动转子进行串级调速,调速迅速,且具备抗电网低电压穿越的能力。通过建立绕组式永磁耦合调速电机有限元分析模型,开展了仿真分析研究,结果表明该电机具备调速功能且转矩稳定,在工业领域中具有广阔的应用前景。     

阿克苏河径流演变及其对气候变化的响应

气候变化深刻影响着径流变化过程,是造成我国西北干旱区水资源短缺和生态环境荒漠化等问题的重要原因。以阿克苏河流域上游水文站1961-2014年的月径流资料和气象网格数据为基础数据,通过线性回归法、Mann-Kendall非参数检验法和Pearson相关系数法,分析了阿克苏河流域径流演变规律并进一步探讨了径流对气候变化的响应。结果表明:近54年来,阿克苏河流域径流量呈现显著的上升趋势,且研究区内气候增暖增湿趋势明显;径流量和气候要素在时间上有良好的一致性,突变时间均发生在20世纪90年代,径流量的突变时间略滞后于气温和降水量;经相关统计检验分析,阿克苏河流域出山口径流量受到了气温和降水的双重影响,托什干河径流对气温更为敏感,而库玛拉克河则是降水对径流的影响占主导作用。     

创新采矿技术管理提升矿山经营水平

为了实现绿色发展、创新发展,太钢矿业公司东山矿结合生产实际,创新发展思路,提高采矿技术管理水平。在资源的合理规划下,提高资源的利用水平,减少采掘对地质环境和生态环境的破坏,实现采场安全作业本质化等方面做了一些有益的探索。