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张燕刘玉岭王辰伟闫辰奇邓海文 《微纳电子技术》2015,(11):737-740
为实现TSV硅衬底表面铜去除速率的优化,对影响TSV铜去除速率的最主要因素抛光液组分(如磨料、螯合剂、活性剂和氧化剂)中的氧化剂进行分析。通过对不同体积分数的氧化剂电化学实验进行钝化机理的研究,从而得到最佳的氧化剂体积分数,再进行铜的静态腐蚀实验和抛光实验对铜的去除速率进行验证。实验结果表明,氧化剂体积分数为0.5%时铜具有较高的去除速率,能够满足工业需要。最后,对CMP过程机理和钝化机理进行分析,进一步验证了氧化剂在TSV铜化学机械平坦化中的作用。 相似文献
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本文介绍了一种基于交替采样技术的高速数据采集系统,该系统采用了两片采样率为1GSPS的A/D实现了2GSPS的采样率,并利用FPGA对A/D输出数据的进行转换和缓存。本文着重介绍了该数据采集系统设计和高速存储所涉及到的问题,并给出了仿真波形。 相似文献
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近年来,慢性肾脏衰竭患者数逐年增加,血液透析目前仍是缓解患者症状的有效治疗手段之一。在患者治疗过程中,水处理系统扮演了重要角色,因此,保证水处理系统安全高效运转,对于患者治疗的风险控制至关重要。本文从水处理系统风险因素、风险控制、血透工程师日常工作内容等多方面因素予以分析,最大限度上降低血透用水处理系统带给透析治疗过程中的风险,降低感染风险,提升患者的满意度,确保患者治疗安全。 相似文献
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海带挂面生产工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在面粉中添加海带溶胶和生姜汁,可增强面条的蒸煮特性和柔韧性,通过对挂面加工工艺的研究,确定海带的最适加量为面粉质量的5%。 相似文献
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本文主要叙述了CAD在录像机机芯设计中的应用,介绍在解决大底板零件设计,大底板、副底板、ACE支架安装验证,空间假想曲线构造,导轨注塑模设计等课题中的若干技术关键问题,从而展示出CAD技术在九十年代将获得更广泛应用的前景。 相似文献
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