CMP中铜的碟形缺陷的研究

具体分析了铜的碟形缺陷并非由于抛光垫的弯曲造成,但是与抛光垫的表面形态有关,在此基础上,分析了铜CMP的作用机制,初步定性指出造成铜的碟形缺陷的原因,并对缺陷进行建模。比较了铜的碟形缺陷的电阻实际测量值和理论计算值,发现带碟形缺陷的电阻均大于理论值,并且随着铜的线宽增大,碟形缺陷也呈增大趋势。详细比较了选择性抛光液和非选择性抛光液对碟形缺陷的作用,从理论和测绘图形上证明选择性抛光液是造成碟形缺陷重要因素之一。采用了综合的工艺实验,最后得出抛光垫的种类及选择性抛光液在过抛光的情况下,是造成铜碟形缺陷的主要因素。     

Si、Na掺杂W基高比重合金液相烧结过程中的界面反应

对不同Si、Na掺杂量的W－（Ni,Fe）高比重合金进行了扫描电镜、透射电镜、X射线光电子能谱（XPS）及俄歇能谱（AES）分析,探讨了Si、Na掺杂在W－（Ni,Fe）及W－W界面所发生的反应,以及此类反应对合金显微结构所产生的影响。研究发现,Si、Na掺杂使合金出现孔隙并在W－（Ni,Fe）界面出现层状SiO₂夹杂相,SiO₂与液相Ni、Fe的低润湿性以及Na的挥发性是造成这种影响的根本原因。     

旋锻对钴、锰微合金化93W合金性能和组织的影响

测试了Co、Mn微合金化钨合金经10%面缩率旋锻后的力学性能。用S-250型扫描电镜和H-800型透射电镜对合金的组织、断口及薄膜试样进行了分析,发现形变大大提高了合金强度并在粘结相中产生大量位错。     

一种TDM／TDMA点地多点系统时钟同步方法

针对TDM/TDMA点对多点系统传输信号特点,提出了一种系统时钟同步方法,介绍了电路的组成及原理。该方法能有效地抑制多级中继时系统的时钟抖动,提高TDM/TDMA通信系统的传输性能。     

304不锈钢/Q235钢的多面约束装药爆炸焊接

为了提高爆炸焊接中炸药的能量利用率,使用了蜂窝铝结构乳化炸药和在蜂窝铝结构乳化炸药上端布置覆盖板的多面约束装药方式。蜂窝结构及覆盖板的多面约束减弱了空气中稀疏波对炸药爆轰的影响,降低了炸药爆轰的临界直径,提高了炸药对复板的做功能力。以304不锈钢板和Q235钢板分别作为复板和基板,进行了多面约束装药和普通乳化炸药裸露装药的对比爆炸焊接试验,并采用格尼模型对爆炸焊接窗口和覆盖板对复板碰撞速度的影响进行了理论分析。结果表明,与传统爆炸复合技术相比,结合质量明显提高,并且炸药使用量减小了50%,炸药能量利用率显著提高。而复板碰撞速度随着覆盖板质量的增加而增加,但增加率降低。此外,得到了爆炸焊接窗口并对焊接质量进行了预测,实验和预测结果吻合良好。     

CMP抛光液供给及分布系统的研究

从整体结构及硬件设计方面介绍了小批量生产及隔膜泵系统,分析隔膜泵的工作原理,循环机理及硬件控制和驱动电路,同时指出在湿度较大的生产厂里面产生的漂移及解决措施;从整体结构分析集中式抛光液供给系统,分析其抛光液混合中心具备的温度控制、无轴承磁悬浮泵工作机理及循环机制;对比隔膜泵与无轴承磁悬浮泵对颗粒凝聚的影响,并分析这种系统适用范围。     

钨合金力学行为的计算机数值模拟─—宏观力学性能

在微观力学行为分析的基础上,对90W合金宏观力学性能及其与微观结构因素（粘结相力学参数）之间的关系进行了计算机数值模拟研究.结果表明：钨合金性能与粘结相力学参数密切相关.随着粘结相弹性模量增加,合金的抗拉强度增加,但延伸率降低.当粘结相屈服强度800MPa时,合金抗拉强度随粘结相屈服强度增加而增大,在粘结相屈服度为800MPa时达到最大值.随粘结相抗拉强度增加,合金抗拉强度和延伸率均呈近似线性规律增加.合金延伸率对粘结相应变硬化模量极为敏感.     

LJP型合成高分子防水涂料

我国的屋面防水涂料,大多数为高分子改性沥青乳液,涂膜为黑色或深色,不仅不美观,在盛夏吸热量大,增加了顶屋室内温度。另外,这类防水涂料的最大弱点,耐天侯老化性能差,即使是氯丁橡胶性沥青产品,其涂膜抗老化性能也不理想,近几年来,出现的聚氨酯防水涂料,虽然耐天候老化相对有所提高,但施工时要求屋面基层含湿量低(<7％以下).在潮湿环境中使用时往往受一定的限制。此外,该涂料含有机溶剂在施工过程中对环境有一定影响。鉴于上述情况,我厂以聚乙烯结构的衍生物,经化学反应后所得产物为主体原料,研制成功LJP型     

YT调速器故障处理一例

位于漳河上的张头水电站装机容量980kW,安装4台轴流定桨式水轮发电机组,其中3台机组额定出力均为160kW;4号机组额定出力为500kW,配用YT-600机械液压型调速器。在运行过程中,因该调速器出现故障不能自动或液压手动控制机组,被迫由人力手动开启或关闭导水机构来调整机