天然薏苡仁有效成分提取研制简报

引言天然薏苡仁有效成分提取的研究开发,属国家科委《88》国科发条字276号下达给无锡市化妆品厂、无锡市化妆品研究所的科研项目之一,在二年多时间里,经过科技人员的积极努力和有关单位的大力支持,现已圆满完成了该项目的研究、开发任务,现汇报如下; 薏苡仁又名薏仁米、薏仁、苡米,属禾本科植树薏苡仁之果,产于我国福建、河北,江苏、辽宁等地,它的主要成分是淀粉     

Si、Na等杂质元素对W－Ni－Fe高比重合金性能和组织的影响

在钨粉中掺入硅和钠元素，在Ｗ－Ｎｉ－Ｆｅ合金混合料中添加纯硅粉，通过实验得出硅和钠对高比重钨合金的力学性能会产生不利的影响。硅和钠形成了氯化物夹杂，在夹杂物周围存在孔隙。文中分析了夹杂物周围孔隙形成的机制，还根据夹杂物的成分，分析了Ａｌ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｍｎ、Ｔｉ等金属元素对合金的影响。     

一种新颖的前沿检测接收机的设计

针对当前前沿检测接收机存在着虚警概率大的不足,设计了一种新颖的前沿检测接收机.通过采用隧道二极管门限检测器、回波信号多通道分时处理和可编程逻辑器件内引入延时的方法,使其实现了高灵敏度、恒虚警检测和消除近区响应.设计的接收机简单、可靠、易行,对提升同类接收机性能有一定的借鉴作用.     

选择性抛光液的研究

抛光液是化学机械平坦化的关键耗材,而针对STI和铜线的抛光,通常使用选择性抛光液。采用二氧化铈作为研磨颗粒的第二代抛光液,具有自动停止的特点,配合粗抛和精抛,能够十分有效解决目前STI存在的工艺缺点。而针对铜线的抛光,介绍了有机物作为研磨颗粒的抛光液,具备十分卓越的选择比,高产出和低缺陷,将是今后重点发展的产品类型之一。     

CMP综合终点检测研究

在对电机电流终点检测、光学终点检测以及抛光垫温度检测三种终点检测技术的检测原理、特点及其装置分析讨论的基础上,对终点检测硬件电路的设计效果进行了验证。采用STRASBAUGH的Nvision软件进行移植,设置其增益、漂移量、数字过滤器的频率和类型。以W作为抛光对象,以TiN作为阻挡层,优化了工艺参数菜单设置并实施抛光,在实时形成信号曲线的基础上,由主机综合三种终点检测信号的情况,判断出精准的终点位置,为CMP抛光终点的监测和抛光垫的修整和更换提供科学的依据。     

CMP中铜的碟形缺陷的研究

具体分析了铜的碟形缺陷并非由于抛光垫的弯曲造成,但是与抛光垫的表面形态有关,在此基础上,分析了铜CMP的作用机制,初步定性指出造成铜的碟形缺陷的原因,并对缺陷进行建模。比较了铜的碟形缺陷的电阻实际测量值和理论计算值,发现带碟形缺陷的电阻均大于理论值,并且随着铜的线宽增大,碟形缺陷也呈增大趋势。详细比较了选择性抛光液和非选择性抛光液对碟形缺陷的作用,从理论和测绘图形上证明选择性抛光液是造成碟形缺陷重要因素之一。采用了综合的工艺实验,最后得出抛光垫的种类及选择性抛光液在过抛光的情况下,是造成铜碟形缺陷的主要因素。