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用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件。制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1。当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4MHz和158.5MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072m/s。模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模式。沉积了不同厚度的ZnO薄膜制备柔性SAW器件,进一步分析了薄膜厚度对SAW器件和模式1的影响。分析认为该高频模式不是传统硬质衬底上SAW器件产生的Sezawa波,而是S_0兰姆波,并且是有衬底情况下的S_0兰姆波。文中还采用Comsol仿真分析了新的高频模式1的粒子振动位移,结果和S_0兰姆波粒子振动位移一致,从而验证了其为广义兰姆波的正确性。 相似文献
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This paper presents a novel structure for improving the stability and the mechanical noise of micromachined gyroscopes. Only one slanted cantilever is used for suspension in this gyroscope, so the asymmetry spring and the thermal stress, which most micromachined gyroscopes suffer from, are reduced. In order to reduce the mechanical noise, the proof masses are designed to be much larger than in most micromachined gyroscopes. The gyroscope chip is sealed at 0.001 Pa vacuum. A gyroscope sample and its read-out circuit are fabricated. The scale factor of this gyroscope is measured as 57.6 mV/(deg/sec) with a nonlinearity better than 0.12% in a measurement range of ±100 deg/sec. The short-term bias stability in 20 min is 60 deg/h. 相似文献
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针对电容式微惯性器件信号微弱、耦合噪声大的特点,提出了一种基于二次谐波检测的频率响应测试方法,详细介绍r该测试方法的基本原理,设计了基于此方法的频率响应测试系统,分析了测试系统中存在的误差,以本实验室研制的电容式微陀螺为测试对象,对该方法和传统的一次谐波检测方法进行了对比,结果表明,该方法能够有效地减小电路中耦合噪声对测试结果的影响,提高频率响应测试精度. 相似文献