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不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性 总被引:3,自引:0,他引:3
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性,是制作力学量传感器的理想压阻材料.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性,就淀积温度对低压化学气相淀积多晶硅纳米薄膜的压阻特性的影响进行了实验研究.在扫描电镜观测和X射线衍射实验基础上,利用隧道压阻模型分析了薄膜结构和压阻特性的关系.结果表明薄膜结构对应变系数的影响非常显著,但对应变系数的温度特性影响却很小.综合淀积温度对压阻特性和电导特性的影响,多晶硅纳米薄膜的最佳淀积温度在620℃左右. 相似文献
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金属间化合物及其制备方法--1.燃烧合成技术 总被引:1,自引:1,他引:1
对近年来成为新研究热点的金属间化合物进行了综述。着重介绍了燃烧合成技术。机械合金化技术,熔炼和熔铸技术,气相沉积法的发展趋势及现状。较为详细地介绍了上述技术的制备原理。并对其中涉及到的有关理论作了简介.首先介绍燃烧合成技术。 相似文献
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通过对自动重合闸在小电源并网系统的应用分析,提出了在重要变电站有小电源并网情况下,利用重合闸提高变电站可靠供电的方案,并用事例介绍了该方案在电网中的应用. 相似文献
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对7050铝合金进行硬度测试、腐蚀性能测试和透射电子显微分析(TEM),研究了单级时效处理对合金组织与性能的影响。实验结果表明:7050铝合金具有较强的时效硬化效应。单级时效温度由120℃升高到160℃时,合金时效硬化速度显著加快,合金进入峰时效状态所需时间显著缩短,但合金的峰值点的硬度降低。时效处理后合金晶内析出了大量的尺寸细小的η'相,弥散分布在基体中。合金晶界处析出了粗大的平衡相,成分为MgZn_2,PFZ出现。随着时效温度的升高,合金晶间析出相连续且粗大,PFZ宽化,合金的抗晶间腐蚀性能持续下降。对于剥落腐蚀来说,合金的腐蚀程度不仅与晶界结构有关,还与晶界数量有关,温度上升,合金晶粒尺寸迅速增大,晶界数目显著减少,二者相互作用最终导致了合金的抗剥落腐蚀性能的提高。 相似文献