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金哲山霍建宾董杰刘晓婷胡毓龙 《真空科学与技术学报》2019,(11):1039-1042
等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD)设备具有高真空特点,容易发生漏气(Leak)事故,为预防事故发生,对PECVD腔室构造、成膜原理及过程进行深入分析。从原理上检讨通过光谱分析方法在线监控PECVD工艺腔室Leak的可行性,搭建了腔室在线监控系统。通过光谱条件的调整测试,发现Ar等离子状态下,Leak光谱和正常光谱差异最大化,更有利于Leak光谱检测,成功实现Leak在线检测,在行业内首次实现PECVD真空腔室在线监控功能。 相似文献
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在二维特征类库的基础上,针对特定的CAD系统,采用文本描述方法对特征类库中的特征赋予实例及描述基本几何实体,并进行相对应的转换,从而生成零件二维图形. 相似文献
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熊果苷由于具美白、祛除色素的特性以及抗氧化、抗微生物、抗炎活性等药理作用,被广泛应用于化妆品和制药行业.近年来,熊果苷在改善葡萄酒香气等食品领域中也有一定的应用,对其安全性、营养价值等方面的研究报道越来越多.随着人们对食疗和保健的重视,许多药品也向着药食同源的方向发展,故熊果苷在食品、保健品方面具有广阔的开发前景.该文... 相似文献
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氨分解率与氮势关系的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用钢箔称重法在温度为495、500和515℃时对氨分解率与氮势的关系进行了研究,实验结果表明:在温度一定时,随着氨分解率的降低气氛的氮势反应升高;当氨分解率一定时,随着温度的升高,气氛的氮势也随之升高。 相似文献
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棋于约束的图形参数化方法以图形的尺寸链及几何拓扑关系为基础,通过参数驱动与约束驱动来更改图形的实体数据库,从而达到参数化目的。该方法不仅适于单视图变参,同时也能实现模型实体的多视图联动变参。 相似文献
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本文针对AutoCAD某些不适合我国国标和用户应用的实际情况,提出了利用AutoCAD本身的功能和提供的开发工具来解决这类问题的方法,设计了适用面较宽的技术要求、明细表自动生成等标注模块,并将其应用于实际系统的开发,效果良好,便于广大用户使用。 相似文献
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高性能计算机属于一种计算机系统,能够比较好的处理大型应用和大数据。高性能计算机在为用户提供服务时,系统的可靠性是提供服务质量的主要保证。尤其是近年来高性能计算机得到了快速的发展,系统内的组件变得越来越多,这样一来,用于组件连接的互联网络规模就会相应增加,由此使得故障结点发生的可能性大增,进而导致互联网络的可靠性出现问题,最终影响整个计算机系统的可靠性,因此,互联网络的可靠性非常重要,本文对高性能计算机中互联网络的可靠性进行了必要的研究,以便于保证互联网络具有较高的可靠性。 相似文献