集成电路钴化学机械抛光缺陷控制的研究进展

钴(Co)因拥有较低的电阻率、良好的热稳定性、与Cu黏附性好等优点,可以替代钽(Ta)成为铜(Cu)互连结构的阻挡层;当特征尺寸减小到10 nm后,由于Co良好的抗电迁移能力,可以在很薄的阻挡层上实现无空隙填充,作为理想的互连金属候选材料,表现出了巨大的应用潜力。但由于Co的反应活性较强,以及不同金属材料之间的腐蚀电位差异,在化学机械抛光(CMP)过程中容易形成点蚀和电偶腐蚀缺陷,严重影响器件的性能,而成为研究的热点。综合分析近年来关于钴CMP过程中表面缺陷的产生及控制的相关研究,重点分析抛光液中的络合剂、缓蚀剂等成分对于钴表面缺陷的产生以及控制的作用机制;指出在碱性环境下,选择合适的缓蚀剂和络合剂以及利用不同缓蚀剂的协同作用,可以有效控制点蚀缺陷的发生,并指出量子化学可从分子层面上定性定量地分析抛光液中各试剂的相互协同机制,为抛光液的设计提供理论支撑。     

镍系SBS加氢反应机理及加氢催化剂制备研究

对镍系SBS催化加氢机理进行了探讨,对催化剂制备工艺进行了优化。当催化剂组分质量浓度为2～4 g/L,陈化温度为50～70℃,n(Al)/n(Ni)为3～6时催化剂活性最高。向待加氢胶液中加入一定量破杂剂A可使催化剂活性及稳定性有一定程度提高。用该法制备的催化剂有较好的稳定性,常温下放置一个月其催化活性几乎没有变化。     

活性炭负载硅钨酸催化合成双三羟甲基丙烷丙烯酸酯

采用直接酯化法,以活性炭负载硅钨酸为催化剂合成双三羟甲基丙烷丙烯酸酯,考察了影响酯化率的主要因素。结果表明,活性炭负载硅钨酸具有良好的催化活性,当酸醇物质的量的比为4.0∶1,负载催化剂用量为反应物质量的0.6%,反应时间为4 h时,酯化率可达96.5%。产物用红外光谱定性检测。     

20－44GHz 宽带倍频器单片集成电路的设计研究

摘要：本文采用0.15μm GaAs pHEMT工艺设计了输出信号带宽为20~44GHz的宽带倍频器。倍频器由三部分组成：将单端信号转换成差分信号的有源巴仑, 产生倍频信号的推－推结构的平衡倍频器和分布式放大器。输出信号功率在整个频段为12～17dBm。基波抑制比的典型值为－20dBc左右,该倍频器的偏置电压为±3.5V,直流电流为200mA。芯片的面积为1.5mm ×1.8mm。     

旧厂房改造中的地域和场地策略——楚天181文化创意产业园概念设计

改造设计是旧建筑再利用的一种有效手段。楚天181文化创意产业园概念设计是在原湖北日报传媒集团楚天印务总公司印刷厂房园区内进行的一次改造设计,是在对武汉地域文化进行研究的基础上,通过公园系统植入手段对旧厂房改造设计的一种尝试。通过此项目,引发对其旧厂房改造中地域和场地的思考,探索其此时此地策略。     

广州自行车轮滑极限中心工程施工新技术综述

广州自行车轮滑极限中心工程屋盖为单层椭圆球面钢网壳结构,通过采用定型柱模和可移动脚手架以加快立柱施工速度,采用扣件式钢管支架体系解决高大模板体系支模问题。通过流水段划分和施工分区加快施工进度。通过合理的吊装单元划分、现场分片拼装、相贯节点焊接、多点支撑环行行进的屋盖吊装工艺解决钢结构安装问题。屋面板安装采用直立锁边固定方式,在板肋设计反毛细凹槽,效果良好。完善而精致的赛道设计和施工是本工程的亮点。     

基于钢结构厂房事故的破损与原因分析

通过收集大量的事故资料,总结出钢结构厂房屋盖系统、吊车梁系统和柱子的破损现象、位置及原因,总结经验教训,为建筑物的安全提供保证。     

如皋市文化博览广场设计探索

从城市历史、城市脉络、城市功能角度出发,对文化博览建筑进行设计,使之成为城市的符号,市民交流活动的场所。     

日立建机（中国）成立15周年庆典

4月30日,日立建机（中国）有限公司在安徽合肥举行建厂15周年庆典仪式。庆典仪式上,合肥市委副书记、市长吴存荣、中国工程机械工业协会秘书长苏子孟出席活动并致辞祝贺,众多工程机械行业主流媒体参加此次活动。日立建机集团向青海玉树捐赠价值200万元人民币的2台日立挖掘机,并向西南干旱地区捐赠60万元人民币,日立建机集团委托合肥市委、市政府转交给灾区人民。     

混凝土钻孔灌注桩施工质量的控制

分析了钻孔灌注桩施工过程中影响混凝土质量的主要因素及其对灌注桩质量的影响,提出了保证施工质量,避免质量事故的主要技术措施。