甲醇625变换工段新增废锅节能改造

介绍了渭化甲醇前置废锅耐硫变换工艺流程,分析了变换热负荷不平衡原因,提出新增废热锅炉的技改措施。实施后双甲装置蒸汽管网运行更加合理,达到设计蒸汽平衡状态,减少蒸汽放空,节能效果和经济效益明显。     

均温型甲醇合成塔在大型甲醇装置中的应用

介绍了Φ3000mm均温型合成塔在200kL／a甲醇装置上的运行情况。两年来的实际运行情况表明,均温型合成塔具有床层温度分布均匀、操作弹性大、CO单程转化率高（〉75％）、结构简单等特点,应用前景广阔。     

CMP承载器的初步研究

在CMP中,由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生异常压力点,以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多,从而导致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP中的作用,详细分析了边缘效应产生的原因和克服的方法。在承载器上采用与晶圆保持适当间隙的保持环结构,对保持环施加适当的压力,使保持环和晶圆位于同一抛光平面上;针对旋转式CMP设备固有的线速度之差导致片内非均匀性增大的问题,对200mm晶圆划分两区域进行微压力补偿,同时详细说明了压力补偿气路的设计和实现的功能,指出今后多区域微压力补偿将采用矩阵控制技术。     

粗糙集理论在模式匹配算法中的应用

应用粗糙集进行文本自动分类需要解决的一个核心问题是规则匹配问题。随着文本信息不断地增多,在文本分类系统中,通常忽视训练集的相对固定特性与新文献不断变化之间的矛盾。系统中新文献的快速加入,原有训练出来的分类规则与新文献的匹配能力和分类准确率会变得越来越低,有的新文献在分类规则中根本找不到匹配规则,本文针对上述问题通过研究一种动态类别扩展方法,提出了一种新的模式匹配规则算法。     

铜布线化学机械抛光的失效研究

分析了铜电连接在今后晶片制造中的主导作用,阐述了铜布线的结构,即在由钽作为阻挡层及采用电镀铜形成的电连接的情况下,抛光规律符合经典普莱斯顿方程;在粗抛磨料采用氧化铝,精抛配比采用武亚红提出的方案情况下,采用旋转式低速较大下压力情况下抛光,整个晶片依然存在较大的不均匀性。分析100μm线宽的碟形缺陷会逐渐减小但最后会有少许增大。整个晶片的侵蚀会和其图案密度成正比,但在同种分布情况下,精抛时间越长,则侵蚀缺陷越大。最后指出了今后发展的高速底压力会显著解决当前不均匀性问题,但失效机制分析意义依然很重大。     

红外光学终点检测的研究

终点检测是化学机械平坦化的关键技术,它决定着理想的平坦运行的停止点,在以纳米级别的控制上,终点检测尤为重要。目前主要的两种终点检测方法:电机电流存在着误判断,而可见光干涉存在着光蚀效应等。低能量的红外检测根据不同介质及同种介质不同厚度的红外吸收和反射系数不同的原理精确地选择平坦化终点完全克服以上检测手段的不足。阐述了其原理,设计了其硬件原理图,定性分析了红外测量曲线,并指出今后终点检测的方向。     

麦草浆黑液提取方法的探讨 挤压过滤——扩散置换集成提取技术

由于麦草浆过滤性能差,导致黑液提取率低。中冶美利纸业借鉴芦苇浆生产线采用的单螺旋挤浆机+真空洗浆机组合工艺,拟将采用间歇蒸煮麦草浆生产线上的提取设备由多段真空洗浆机改造为挤压—扩散置换集成提取技术设备,再将此项技术推广到连续蒸煮生产线。本文对此方案进行了阐述。     

国产氯碱离子膜的安全性保障

山东东岳高分子材料有限公司已经研发成功国产离子膜10年。目前国产离子膜仍处于市场推广的初期阶段。国产离子膜实现工业化应用近10年来,工艺技术已经非常成熟稳定,从未发生安全问题。推出的新一代离子膜DF2807,其性能已经达到国外同类产品水平。     

将计算思维融入大学生“卓越计划”的人才培养研究

思维能力的提高对于一个人的成长有着至关重要的作用。随着计算机技术的发展,计算机的功能越来越强大,计算机技术正逐步延伸到科学研究和人才培养的各个领域,与之而来的计算思维也逐步走入人们的视野当中。在结合我校申请“2011计划”的过程和实际实施“卓越计划”的情况,重点阐述我校在卓越工程师培养过程中,计算思维培养的重要性以及计算思维在教育教学应用实例对培,养出符合《国家中长期教育改革和发展纲要》所要求的创新型工程技术人才,有着积极的影响。     

UGS下车用齿轮泵齿轮强度分析

通过详细分析车用外啮合齿轮泵进油腔与出油腔的压强差△P在主、从啮合齿轮齿廓上的分配关系，在无机械能损耗的情况下，推导出齿轮泵输入转矩M为恒量，并据此建立齿轮弯曲强度分析的CAD/CAE模型。最后，利用UGS 3D软件进行了、有限元分析。