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压力传感器的应力计算 总被引:2,自引:0,他引:2
从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0 09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%。 相似文献
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1000.
李会昌 《南水北调与水利科技(中英文)》1998,(2)
在明确了作物需水量与作物耗水量概念的前提下,通过大量的实测资料,阐明了需水量与产量模型及产量与耗水量模型之间的本质性区别与内在联系。并对目前常用的考虑时间的水分生产函数;Blank模型、Jensen模型、Morgan模型和Feddes模型进行了分析、研究与评述。 相似文献