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微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键。与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性。稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性。稳健优化设计方法主要包括 Taguchi方法和基于容差模型的方法,后者特别适合于处理带约束的优化设计问题。以微加速度计和微阀为例给出了稳健设计在MEMS设计中的应用,验证了稳健设计可以显著提高MEMS器件的信噪比。 相似文献
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合作围捕移动机器人小队中机器人的反馈控制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种反馈控制方法来协调多主体移动机器人围捕一个目标,并重点讨论了对机器人的反馈控制及稳定性。 相似文献