热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统

利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30～10 0kHz ,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0 0 3℃.     

微流控光纤芯片的研究

微流控光纤芯片是一种把光纤植入到芯片中以方便检测的新型生物分析芯片，它利用光纤传输激发光，使激发光斑的直径大大减小，省去了光学会聚装置，缩小了检测系统的体积，提高了检测灵敏度。另外，它具有试剂消耗少、处理速度快、制作成本低、制作方法简单等优点，成为微全分析系统（μ-TAS）研究的热点。结合目前带光纤微流控芯片的发展状况，综述了两种类型芯片的制作方法及其所需材料，介绍了每种芯片的检测原理、结构及分类，分析了每种芯片的优点与不足，并探讨了其发展趋势。     

表面等离子谐振(SPR)生化分析仪的研制与发展

表面等离子谐振（Surface Plasmon Resonance，SPR）生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统。近年来SPR传感技术受到重点研究和发展，高通量、高灵敏度、小型化是其发展趋势。SPR生化分析仪在国外已经商品化。国内中国科学院电子学研究所研制成功具有自主知识产权的一系列SPR生化分析仪，其主要技术指标达到或优于国际上同类设备的先进水平，已在很多研究领域中应用。     

电子鼻及其在白酒识别中的应用

论述了电子鼻的原理、结构及其在白酒识别中的应用。模拟生物嗅觉系统,由气敏传感器阵列是结合模式识别技术构成了电子鼻。用它对几种白酒进行了分类和识别实验,结果表明,其不仅能识别不同香型的白酒,而且可以识别同一香型的白酒。     

电子鼻数据融合的软件实现

文中提出一种电子鼻数据融合的模型,并据此用Ｍａｔｌａｂ开发了一个软件。该软件包括以下模块：用户界面、数据输入、数据预处理、数据融合、结果输出,既能实现离线数据融合,又能为特定的应用选择、优化融合算法。目前已经应用于电子鼻系统的研究。     

BJ016E器件热变形的全息干涉研究

采用二次曝光和实时全息干涉技术对BJ016E器件进行了实验测试,获得了不同功率条件下BJ016E表面的离面位移分布以及离面位移随时间的三组动态变化图像。结果表明,随功率的增大器件的离面翘曲量增大,热源区附近的离面翘曲量变化较快而且较大。     

高隔离度宽频段组合式RF-MEMS开关的设计

接触式与电容耦合式两类RF MEMS开关各自在一定的频段内,都具有较高的隔离度,但仍然很难满足微波控制系统中对高隔离度的要求.为了获得全波段高隔离度RF MEMS开关,单元开关很难达到要求,在此目标要求下,提出了组合式RF MEMS开关的设计,分别利用HFSS软件对各单元进行结构参数优化,再将两者集成在一起,得到的组合式RF MEMS开关,这种组合式开关在0～20 GHz时隔离度都高于-60 dB,在(≤5 GHz),隔离度高于-70 dB,这是一般单元开关及其他半导体固态开关所无法企及的,而且,在DC～20 GHz范围内,开关的插入损耗小于-0.20 dB,而且并没因隔离度的提高,牺牲了插入损耗.     

一种无阀压电微泵的研究

介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵,在100 V6、0 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达151μL/min。     

参比型SPR生物芯片的检测

参比型SPR生物芯片是一种具有参比、检测两个位点的葡聚糖修饰的SPR生物芯片.为了验证该芯片的效果,进行了在芯片上固定人IgG,检测溶液中的羊抗人IgG的免疫结合试验.参比位点的SPR信号随溶液的变化而变化,但不会固定人IgG,检测位点可以牢固地固定人IgG.羊抗人IgG可以与固定在芯片上的人IgG发生免疫结合反应.这种方法可用来进行固定抗原检测抗体的研究.     

热激励硅梁谐振器研究

作者利用微电子机械加工技术成功研制出用于高精度压力传感器的硅梁谐振器。采用热激励方式,测定了谐振梁的开环振动幅频特性:室温真空中谐振峰-3dB带宽1.2Hz,Q值大于33000。从理论和实验两方面讨论了低热激励功率条件下激励功率与谐振频率的线性关系,二者符合较好。