纳米压印光刻模具制作技术研究进展及其发展趋势

模具是纳米压印光刻(Nanoimprint lithography,NIL)与传统光学光刻工艺最大的区别所在,模具作为压印特征的初始载体直接决定着压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模具。不同于传统光学光刻使用的掩模(4X),纳米压印光刻使用的是1X模版,它在模具制作、检查和修复技术面临更大挑战。当前,模具的制作已经成为NIL最大的技术瓶颈,而且随着纳米压印光刻研究的日益深入以及应用领域的不断扩大,NIL模具的制造将变的越来越重要并面临着更加严峻的挑战。因此,模具的制造已经成为当前纳米压印光刻一个最重要的研究热点,纳米压印光刻发展的历史也是压印模具不断发展创新的历史。综述了当前国内外各种纳米压印光刻模具制作技术研究进展,并指出三维模具、大面积模具和高分辨率模具的制作、模具缺陷的检查和修复是当前及其将来最迫切的需求、最主要的研究热点和挑战。     

游离磨粒精密光整加工方法综述(续)

指出了磨粒精密光整加工是先进制造技术的重要组成部分之一,是保证产品精度和表面质量的重要方法.磨粒光整加工在改善表面精度和提高表面层力学机械性能的同时,又提高了加工精度和表面完整性.论述了磨粒精密光整加工技术的原理、特点、关键技术及在工业生产中的具体应用,其目的是在装备制造业中,利用磨粒进行光整加工实现低成本、高表面完整性、高效率精密加工.     

基于开放式数控系统的零相差跟踪控制

在RTX660数控机床上实现了基于PA(power automation)开放式数控系统的零相差跟踪控制(ZPETC).首先利用PA系统的二次开发功能,采用伪噪声序列和最小二乘法对进给系统模型进行了辨识,根据辨识的系统模型设计了零相差跟踪控制算法.将零相差跟踪控制算法嵌入开放式数控系统的插补器内,实时对插补数据进行计算和校正,改善机床进给系统的运动控制性能.实验证明,通过该方法能够有效改善机床进给系统的频域特性和单轴跟随精度,通过两轴联动加工实验验证,证明该方法能够显著提高数控机床的多轴联动加工精度.     

采用RP技术的玻璃模具的快速制造

对客户提供的玻璃器皿样品尺寸进行三坐标测量,利用RP技术可制得样品的树脂原型,利用石膏模和树脂原型制备模具毛坯的型芯,采用中空的毛坯木模来造型,可快速得到玻璃模具的毛坯;利用RP技术可制得模具电火花加工电极的树脂原型,利用ZrO2熔模铸造技术及有限元模拟技术,对型壳的焙烧过程进行模拟,优化型壳焙烧工艺方案,为电极的制备提供了依据。采用以上工艺,可实现玻璃模具的快速制造。     

迷宫型灌水器水沙两相流场分析及结构改进

为了解决迷宫型灌水器微细流道容易堵塞的问题,针对其复杂的微细流道结构(实际尺寸在0.8～1.2 mm之间),根据灌水器工作时灌溉水中存在过滤不掉的沙粒的实际情况,首先应用计算流体力学(Computational fluid dynamics, CFD)数值计算的方法,进行灌水器整体迷宫流道水砂两相流数值模拟,根据其流动场分析其堵塞的结构因素。同时应用粒子图像测速(Particle image velocimetry, PIV)技术,搭建灌水器流道流动场微PIV测试台,测量实际尺寸大小的微流道中流动场和粒子运动状况,得到其流动场流线图和粒子运动轨迹图,并通过灌水器的抗堵塞性能试验,验证了迷宫型灌水器微流道中流动场和粒子状况分析计算的正确性。针对流道中存在的容易引起堵塞的流动滞止区进行结构优化改进,试验结果表明,应用改进的结构可提高迷宫型灌水器的抗堵塞性能。     

电弧喷涂Zn-Al-Cu伪合金涂层形变强化效应研究

研究了电弧喷涂制备的Zn-Al-Cu伪合金涂层性能,有限元法计算了电弧喷涂层的应力状态,X射线衍射方法分析了Zn-Al-Cu伪合金涂层的物相,并测量了涂层硬度。研究发现,喷涂过程中金属液滴的冲击强化,以及涂层温度场的作用,与基体接触的涂层表面呈现压应力状态;决定涂层硬度的重要原因是涂层在形成过程中的残留应力状态;涂层经过时效处理,硬化相的析出,没有提高涂层硬度,应力状态的变化,涂层硬度反而降低。     

基于Windows 98的激光快速成型机控制系统

针对激光快速成型的主从式控制系统,介绍了该系统的结构组成、采用多线程的方法实现Windows 98平台下实时通讯的方案以及32位并行通讯协议的设计,并阐述了使用软件校正算法实现扫描振镜控制与标定的方法。     

新产品快速开发技术：现代企业成功之路

本文阐述了产品开发速度对企业赢得竞争的重要性.分析了当前我国影响企业竞争力的因素.重点探索了三维产品数字化定义、RP&M技术、基于网络的产品快速开发体系及智能工业体系四个方面的问题,规划了产品快速开发的技术途径.     

快速原型技术在新产品快速开发中的应用研究

本文介绍了快速原型技术在产品的设计评估与审核、产品的功能试验、与客户及订购商的交流及快速模具制造方面的应用与案例,在企业的新产品快速开发中,该项技术是加快产品的研发周期、提高企业市场竞争能力的关键使能技术之一.