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化学气相沉积制备碳化钨纳米晶薄膜 总被引:2,自引:0,他引:2
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米晶结构的碳化钨薄膜.采用SEM,XRD,EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成.通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气体的流量比(碳钨比)为20,基底温度为800 ℃的条件下得到的碳化钨薄膜是由直径为20~35 nm的圆球状纳米晶构成.通过分析影响薄膜的晶体结构、化学组成的因素后,认为要得到具有纳米晶结构的碳化钨薄膜,主要应控制前驱体气体中的碳钨比以及基底温度. 相似文献
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利用可控硅技术,研制了一种手动调节式不对称交、直流电镀电源,该电源具有输出稳定,交直流交换方便,不对称比范围广等优点;有效地于轴承、轧辊等机械零部件的修复性镀铁,电镀电源性能稳定。 相似文献
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纳米催化剂的制备及应用的研究进展 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍纳米催化剂的特性和制备方法,详述纳米催化剂在催化加氢,电化学反应,电池和环境保护等领域的应用前景。 相似文献
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电镀非晶态Ni—P合金控制方法的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
研究了电镀非晶态镍磷合金的最佳阴极控制电位,同时从分析镍磷合金电镀体系中阴、阳极极化行为出发,采用槽压法控制电镀,成功控制了阴极电位在最佳区域,其镀层质量明显优于恒电流法。 相似文献
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低温等离子体增强化学气相沉积纳米结构碳化钨薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用氟化钨(WF6)和甲烷为前驱体气体,以氩气为载气,在氢气氛下,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在低温下制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、AFM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成,表明基体温度在450℃,甲烷与氟化钨气体流量比为10时得到的碳化钨薄膜是以直径为Ф40~80nm,高度为150~200nm的圆柱状的纳米晶粒聚合体组成。探讨了低温制备纳米结构碳化钨薄膜的机理,分析了基体温度对薄膜物相和微观结构的影响。 相似文献
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研究了防锈液中各成分的作用机理和最佳配方,适用于大型钢结构的涂装前处理。并对转化膜的性能,如与漆层的结合力,各种腐蚀条件下的防护性能,转化膜的拉伸性能等进行了测试。 相似文献
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