基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器

介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像,利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器.传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的.该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于4.27%.它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点.与计算机自动控制系统相结合,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制.     

半导体薄膜特性实时检测的新装置

利用光学和电子学结合的方法,建立了基于多光束光学传感器和光电检测电路的检测薄膜特性装置.通过对反射光光点间距变化和光强振荡的检测,实时检测薄膜应力、厚度、生长率等常数的信息.通过理论分析,该装置厚度测量的精度优于2nm,应力的灵敏度优于5MPa,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制检测.     

离心及混流风机叶轮分离点的计算研究

本文针对离心及混流风机等具有短叶道特点的叶轮在采用文献〔1〕提出的三元流动辅助计算机设计中出现的计算不收敛性和在确定流动分离点计算方法上存在的不合理性进行了讨论,提出了综合考虑除相对涡影响外,叶道形状及流量等因素对分离点的影响,给出了在相似模化条件下新的计算公式,并与原计算结果进行了比较。利用本文提出的计算公式对一台离心风机叶轮进行了核算,得到了令人满意的结果。     

高压断路器失灵回路校验方法及危险点预控措施

高压断路器失灵回路逻辑性强、接线复杂及危险点多,如果保护人员逻辑思路不清晰,极易造成失灵保护误启动,切除母线,从而造成全站失压甚至更严重的电网事故.本文将现有失灵保护启动回路进行分类,并对断路器保护电流启动接点与线路保护及操作箱的跳闸接点串接后启动失灵这一逻辑回路进行重点分析,为继电保护人员进一步捋顺了失灵保护校验方法及危险点预防措施.     

重庆奉节长江大桥施工监控

结合重庆奉节长江大桥的工程概况,对施工监控的原则、系统组成及施工监控的计算等方面进行了阐述,并对施工监控实施步骤及监控内容进行了介绍,以供同类型桥梁的施工监控工作参考借鉴。     

一起10 kV控制回路故障分析及改进措施

<正>变电站对开关的跳、合闸控制是通过开关的控制回路及操动机构来实现的[1]。控制回路是连接一次设备和二次设备的桥梁,可以实现二次设备对一次设备的操控。控制回路是二次回路中特别重要的回路[2],在变电站内,断路器控制回路的完好是保证断路器可靠执行跳、合闸操作命令的必要条件。因此,解决控制回路断线问题对电网的可靠运行及对用户的供电可靠性非常重要。下面对一起10 kV控制回路故障进行分析。     

Annealing behavior of Al-Mg-Mn alloy processed by ECAP at elevated temperature

An Al-Mg-Mn alloy was subjected to equal channel angular pressing(ECAP) at 350 ℃ for 6 passes. Static annealing was conducted on the deformed alloy at various temperatures from 400 to 450 ℃ for 1h respectively. The microstructural evolutions of both the deformed and the annealed materials were studied by electron back scattering diffraction pattern(EBSD) analysis. A fine-grained structure with (sub)grain size of about 2 μm is obtained after 6 ECAP passes, and the fraction of high-angle boundaries is 48.08%. As the annealing temperature increases, the average misorientations of the grain boundaries and the fraction of high-angle boundaries increases gradually. No grain growth takes place in the 400 ℃ annealed sample, while after annealing at 450 ℃ a coarse-grained structure replaces the initial fine-grained structure produced by ECAP. The aspect ratios remain almost constant and the (sub)grains keep equiaxed in the range of the present experiment. As the annealing temperature increases, the strength decreases obviously, which attributes to the relaxation of the internal stresses and the grain growth, while the elongation increases slightly.     

生态城镇规划设计探讨

生态文明建设已作为“五位一体”被写入十八大报告,可见建设生态城镇势在必行。本文从生态学及可持续发展原则的角度,阐述了生态城镇规划的理论依据。并通过分析现今城镇建设的缺失,探讨生态城镇规划的合理设计要求。