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用<111>硅的自停止腐蚀方法制作硅膜 总被引:1,自引:1,他引:1
利用各向异性腐蚀和键合工艺,提出了一种新的自停止腐蚀方法,该方法可以得到大于1μm厚的均匀硅膜,可用于微传感器研制。 相似文献
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基于磁阻传感器与微处理器的二维磁电子罗盘的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了磁电子罗盘的工作原理.利用Honeywell的HMC1022双轴磁阻传感器设计了一种小型化的电子罗盘.信号调理电路采用AD8656高精度放大器.利用C8051F350微处理器完成A/D转换、方位角计算以及数字化输出等工作.采用置位电路配合微处理器有效解决了传感器失调和漂移的影响.对硬铁干扰和软铁干扰进行了分析,并给出了解决方法.对数字罗盘实物进行了测试,最大误差小于1°. 相似文献
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为了评价压力容器D 类焊缝的焊接工艺,采用钨极氩弧焊(TIG)和手工电弧焊(SMAW)对厚度32 mm的Q345R 钢板进行焊接工艺试验,通过外观检查、无损探伤、拉伸试验、弯曲试验、冲击试验等方法检测了Q345R钢的焊接接头的性能。结果显示:在制定的焊接工艺参数下,焊接接头射线探伤为I 级;在焊后620 ℃保温3 h消应力热处理后,焊接接头抗拉强度高于Q345R 钢抗拉强度的下限值(500 MPa);焊缝和热影响区-20 ℃冲击功达到95 J 以上,满足标准要求;侧弯试样弯曲面焊缝和热影响区没有萌生裂纹,满足NB/T 47014—2011标准要求;焊缝组织为块状铁素体+少量珠光体,珠光体均匀分布于铁素体的晶界处。评定结果表明,TIG+SMAW 焊接工艺合理,可满足该压力容器D类焊缝的焊接质量要求。 相似文献
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谐振式MEMS温度传感器设计 总被引:4,自引:2,他引:2
为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。 相似文献