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101.
一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计 总被引:3,自引:0,他引:3
提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱硅,中间介质层为栅氧化层.在CMOS工艺加工完之后,利用选择性的体硅腐蚀、pn结自停止腐蚀以及阳极键合等MEMS后处理工艺来得到传感器结构.与传统的电容式压力传感器相比,这种结构具有更大的初始固有电容,这样可以抑制寄生电容的影响,从而简化检测电路的设计.文中,应用多层膜理论模型分析了传感器的结构,并利用ANSYS有限元分析对模型进行了验证,并利用电容变化模型分析了传感器的灵敏度.对于边长为800 μm的敏感方膜,初始电容值为1 104pF,传感器灵敏度为46 fF/hPa.同时,本文给出了传感器的电容检测电路的设计. 相似文献
102.
报道了镍诱导非晶硅薄膜的晶化技术,探讨了镍诱导晶化机理.详细调查了诱导晶化时间和温度对晶化速率的影响,并用Raman、AFM和TEM等测试了材料的特性.实验结果发现用该方法可以获得较大晶粒的多晶;在晶化温度为625℃左右时晶体横向晶化速率最高.如要获得较长的晶体,低温退火则比较有利. 相似文献
103.
104.
An advanced direct chip attaching packaged two-dimensional ceramic thermal wind sensor is studied. The thermal wind sensor chip is fabricated by metal lift-off processes on the ceramic substrate. An advanced direct chip attaching (DCA) packaging is adopted and this new packaged method simplifies the processes of packaging further. Simulations of the advanced DCA packaged sensor based on computational fluid dynamics (CFD) model show the sensor can detect wind speed and direction effectively. The wind tunnel testing results show the advanced DCA packaged sensor can detect the wind direction from 0° to 360° and wind speed from 0 to 20 m/s with the error less than 0.5 m/s. The nonlinear fitting based least square method in Matlab is used to analyze the performance of the sensor. 相似文献
105.
106.
可控交联聚芳醚酮改性电子束固化环氧树脂结构与性能的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了一种可控交联聚芳醚酮(CCPAEK)的电子束辐照交联行为,研究了CCPAEK改性电子束固化EB-3环氧树脂体系的结构和性能。DMTA分析表明,150kGy EB辐照剂量固化后的改性EB-3树脂体系具有介于两单纯组分之间的单一玻璃化转变温度。改性前后EB-3树脂基体断口形貌发生很大变化,改性体系呈现韧性断裂的特征,其力学性能及抗冲击性能均有较大提高。TGA分析表明,CCPAEK的加入对EB-3树脂基体的耐热性能影响较小。 相似文献
107.
108.
109.
110.
由温州工业泵厂设计制造的 WL-50型、 WL-200型两种立式往复真空泵, 1990年9月 ZI日在温州通过了技术鉴定。 WL-50型的抽速为 50L/S, WL-200型的抽速为 200L/s,其极限真空均为 2.66 × kPa(20Torr),这是国家真空设备产品质量监督检验测试中心检测结果。该泵是1989年开发的新型节能产品,填补国内空白,以取代能耗大的W型老产品,经用户使用反映该泵节能效果显著、重量轻、占地面积小、运转平稳,磨损均匀,使用寿命长。WL-200型立式往复真空系与WS型卧式往复真空泵相比具有: l.节能效果显著,WS型泵的电机为 22kW,而 WL-200型的为 15kW… 相似文献