氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率

在半导体湿法蚀刻中,热磷酸广泛地用于对氮化硅的去除工艺,实践中发现高温下磷酸对氮化硅蚀刻率很难控制.从热磷酸在氮化硅湿法蚀刻中的蚀刻原理出发,分析了影响蚀刻率的各个因素,并通过实验分析了各个因素对蚀刻率的具体影响.根据目前广泛应用于生产中的技术,介绍了如何对相关因素进行控制调节,为得到稳定的热磷酸蚀刻率提供了方向.     

铜互连氮化硅薄膜沉积技术中电压衰减的研究

根据0.13 μm以下的深亚微米超大规模集成电路中先进的后道铜互连技术对于氮化硅薄膜沉积的具体要求,文章在大马士革工艺的基础上分析了可能导致铜互连失效的原因.进而在应用材料公司的PRODUCER(一种薄膜沉积设备)机台上,通过包括对氨等离子体预处理和氮化硅预沉积的这两步骤作实验研究.利用田口分析判断的实验方法,找到主要...     

球罐用B610CF钢板冲击与断裂性能试验研究

针对宝山钢铁股份有限公司开发的B610CF钢板及其焊接接头的冲击及断裂性能进行了系统的试验研究.结果表明:钢板调质状态和调质+消除应力热处理状态在- 20℃时都具有较高的冲击性能,钢板和焊接接头在- 20℃时都有着良好的断裂韧度,该钢用于- 20℃以上工况的球罐是完全可行的,所用焊接材料与母材匹配且焊接工艺合理.     

纤维筋与玄武岩纤维混凝土粘结性能

为了对比BFRP和GFRP筋与玄武岩纤维混凝土的粘结强度,选用直径14的FRP筋埋入玄武岩纤维混凝土的立方体试块中进行拉拔试验,通过改变FRP筋锚固长度以及纤维掺量,研究玄武岩纤维混凝土与FRP筋的粘结性能.     

中日CF钢板性能对比分析

对国内2个年产百万吨乙烯工程中使用的国产B610CF—L2钢板和日本进口JFEHITEN610U2L钢板的实物水平进行了对比分析,并对其化学成分、力学性能等数据进行统计分析。结果表明,国产CF钢的实物水平与日本CF钢的实物水平相当接近。     

A456C型粗纱机上清洁器的改进

我厂在使用A456C型粗纱机中,发现牵伸部件的上清洁器不能正常灵活回转,时有快慢或轧煞等现象,并常出现短绒积聚在绒套上,产生缠皮辊和粘皮圈,影响成纱质量,造成绒板花纱疵。 A456C型的上清洁器(图1)的回转,是     

12MnNiVR钢板气电立焊接头性能试验研究

针对某钢厂开发的大型原油储罐用12MnNiVR钢的气电立焊焊接接头进行了系统的试验研究。结果表明:选用合适的焊接材料,采用适当的焊接工艺,12MnNiVR钢板气电立焊接头的强度和韧性能够满足需要。     

真空预压加固软基先导段现场试验研究

结合淮盐高速公路软基先导段真空联合堆载预压法处理地基的设计、监测方案实例,根据现场监测资料和效果检验数据对真空预压加固效果进行了分析和评价,历时32个月现场试验结果表明:真空预压加固效果良好,地基软土各项指标得到明显改善,地基有效应力增长,地基强度增加,地基稳定性得到提高.     

气相色谱法测定熟食中"霉克星"的含量

研究了用气相色谱法测定熟食中“霉克星”（Dimethyl Fumarate，DMF）含量的方法。探讨了样品测定过程中有关条件的变化对测定的影响，得到了测定的适宜条件。该方法的回收率在86．03％～95．58％之间，在0．010～500．0μg／mL标准曲线的回归方程为Y=348.96x＋845.95，相关系数r=0．9997，RSD小于1．30％（n=10）。本方法操作简单、快速、准确，灵敏度高，重现性好，可用于熟食中“霉克星”的日常检测及应用推产。     

农网配电继电保护课程培训的探讨

在对农网配电"继电保护"课程教学实践中,把培训内容模块化,将实践性教学与理论部分有机结合,特别是在实践性环节进行了改革和创新,提高了学生的实际工作能力、分析和解决问题的能力,效果良好。