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为了在Ge衬底上制备出锥形二维亚波长结构,文章研究了紫外接触式光刻工艺和反应离子刻蚀工艺对光刻及刻蚀图形的影响。结果发现:由于紫外光的衍射效应,光刻胶图形顶部出现了凹坑,使其有效抗蚀厚度减小,提高光刻胶图形的有效抗蚀厚度,能有效增加最大刻蚀深度;在设计上适当增大掩膜版图形尺寸,即占空比f要略大于理论设定值,可以弥补后续刻蚀过程占空比的缩小;在刻蚀气体SF6中掺入一定量的O2可明显提高Ge的刻蚀深度;降低横向刻蚀速率,从而有利于制备出锥形浮雕结构。 相似文献
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物联网已成为国家战略性产业,物联网人才需求激增。高职院校应抓住机遇,建设高质量的“物联网”专业。而高质量的物联网专业建设,必须基于“校企合作”,其重点是:基于校企合作的专业人才培养方案的制订、基于校企合作的专业课程的设置、基于校企合作的生产性实习实训基地建设,以及基于校企合作的专业师资队伍建设。 相似文献
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为了在红外遥控系统中实现手势交互,设计了一种基于双DSP结构的具有动态手势视觉识别功能的红外遥控系统。针对手势识别图像算法的复杂性,系统采用了一种流水线式的动态图像处理模式并提出了一种基于双端口RAM通信的双DSP图像处理硬件系统结构。结构前级负责实时采集图像数据及手势图像预处理,后级结合以帧差法为核心的手势识别算法负责动作识别处理,从而节省单DSP需要的等待时间,手势图像处理任务同步进行,加快动态图像处理的速度。另外,双DSP结构使得系统资源得到有效分配,复杂处理算法同步运行,再配合自学习红外遥控模块实现红外遥控功能。实验结果表明,系统一次手势动作的最短识别时间为1.5 s,动作识别的准确率达到93.75%,具有良好的稳定性和可操作性。 相似文献
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67.
建立了拖缆的动态拉力模型,应用蒙特卡罗随机模拟方法对已知方案中的抱缆强度进行了校核.结果表明,分析其失效概率能够对拖缆选型给出直观的评价,有利于提高拖航的安全性. 相似文献
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液化天然气燃具基准气的选择 总被引:6,自引:1,他引:5
分析了广州液化天然气的前期气源和潜在气源,探讨了燃具基准气的选取。确定合适的基准气能兼顾前期气源和潜在气源,有利于实施天然气输配管网大区域乃至全国性联通,促进煤层气的开发利用。 相似文献