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树脂金刚石砂轮应用于IC硅片的背面减薄磨削(背磨),工件磨削后能达到纳米级粗糙度、微米级损伤层厚度和微米级面型精度,因此对使用的砂轮性能要求很高。文章介绍了金刚石砂轮背磨技术的原理、特点,对硅片超精密背磨砂轮进行了实验研究。研制了专用的树脂结合剂,通过优化结合剂配方,使结合剂磨损速度与金刚石脱落速度达到匹配。研制的2000#金刚石砂轮经过硅片背磨试验证明,材料去除率达到10.236 mm3/s,表面粗糙度值Ra为5.122nm,损伤层厚度为2.5μm;与国外同类砂轮相比,材料去除率提高53%,硅片磨削后的表面粗糙度值接近。 相似文献
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在2017年新年到来之际,我谨代表《储能科学与技术》第二届编委会及编辑部向一年来鼎力支持刊物发展并无私奉献的各位评审专家、作者和读者及您的家人致以最崇高的敬意和新年的祝福:祝愿您在新的一年里吉星高照!幸福安康! 相似文献
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稀有金属铍因其优异性能,在高能物理、核能、航空航天、光学系统、惯性导航系统、商业领域等有着不可替代的重要作用。本文综述了铍的物理、化学、力学、核和腐蚀性能。铍是熔点最高的轻金属,具有密度低、弹性模量高、对红外线反射率高等优异的物理性能;Be2+是已知电荷密度最高的金属阳离子,铍室温条件下能与氧反应并在其表面生成具有保护作用的氧化膜;铍室温下脆性较大,延伸率较低,拉伸瞬间断裂,无颈缩,断口表现为解理特征,拉伸和压缩性能具有明显不对称性,且微屈服强度高,尺寸稳定性好,铍内部结构、缺陷浓度和分布、试验速率、温度、辐照条件等因素对其力学性能有重要影响;铍原子质量小、中子俘获截面小而散射截面大,可降低中子速度和能量,快中子会对铍造成辐照损伤,并在其内部产生氦、氚、氢等气体;铍在干燥大气中有较好的抗腐蚀性能,但电位极低的铍在含有水汽的环境中极易成为阳极而产生点蚀,随着铍在高能物理中的进一步应用,其辐照后的腐蚀性能逐渐被关注。本文有助于科研人员对铍性能的优异性与局限性进行全面认识,以便制备综合性能更加优异的铍材,使其在更多重要领域发挥重要作用。 相似文献
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采用空间占位法和固态粒子烧结法制备具有蜂窝状结构的超细粒度的陶瓷结合剂金刚石砂轮。通过考察砂轮的微观形貌、气孔率和抗折强度等性能,研究烧结制度对制备砂轮蜂窝状结构的影响。结果表明:制备具有蜂窝状结构的砂轮的最佳烧结温度为750 ℃,保温时间为90 min,得到的砂轮的孔隙率约为78%,抗折强度约15 MPa。 相似文献
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为改善硅片背面减薄效果,在树脂结合剂硅片减薄砂轮里添加造孔剂。通过体积密度测试、扫描电镜观察和磨削实验,研究造孔剂含量对树脂结合剂砂轮结构和磨削性能的影响。结果表明:随着造孔剂体积分数增加、投料比降低,砂轮内部孔隙率增大;且磨削实验证明造孔剂可以提高硅片的表面质量。当造孔剂添加体积分数在10%、体积密度投料比控制在75%时,树脂结合剂硅片减薄砂轮在磨削过程中具有较好的综合磨削性能,磨削出来的硅片表面粗糙度Ra、Rz、Ry值波动范围小,与其他条件下的砂轮磨削的硅片相比,表面一致性好。 相似文献
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储热技术在解决可再生能源间歇性问题和提高能源利用效率等方面发挥着重要作用。本文针对储热技术的研究进展,分别从材料、装置、系统、政策干预等方面进行了综述。针对储热材料的性能提升,本文对构建复合型储热材料的配方研究、材料特性的微观模拟研究,及其相关的制备技术进行了总结。此外,随着高温熔融盐储热材料在光热发电系统中的广泛应用,本文对其产生的高温腐蚀行为与腐蚀防护技术进行了概述。储热装置方面,本文重点介绍了板式、填充床式和管壳式储热单元的强化传热方法。储热系统与应用方面,本文对基于相变储热和热管理、热化学储热、液态空气储能的应用研究进行了概述。最后,储热技术的发展离不开适当的政策干预,因此本文对不同国家针对储热技术制定的相关政策进行了报道。 相似文献
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奶粉中营养元素的检测是奶粉质量检验的重要组成部分.目前奶粉中营养元素主要有钾、钙、钠、镁、铁、锌、铜、锰、磷、硒、碘元素,各元素的样品前处理方法不一,采用的检测方法使用的分析仪器不同,从而导致检验时间长,与此同时经过学者们的深入研究探索,有部分元素可用同一种前处理方法和同一种分析仪器进行同时测定,从而大大缩短了检验时间... 相似文献