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991.
i线投影光刻曝光系统的光学设计 总被引:3,自引:1,他引:2
叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足i线光刻所需的光学传递函数要求,讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投影物镜,其数值孔径NA=0.42,放大倍率M=-1/5,像场尺寸15mm×15mm(直径21·2mm),共轭距L=602mm。用光学设计程序ZEMAX-XE计算此i线物镜的像质。设计结果说明,整个视场内波差<λ/4,MTF>0.55,当空间频率为715pairlines/mm,使用波长为365士3nm时。可以实现0.7μm光刻分辨率;照明均匀器,由81个小方型透镜组成一方列阵。用本文模拟计算软件OPENG计算被照像平面上的光能分布,说明实际系统的照明不均匀性为土2%。 相似文献
992.
993.
GLOBALATTRACTIVITYINADISCRETEMODELOF NICHOLSON'S BLOWFLIESLiJingwen(李经文)(ShaoyangTeachersCollege湖南邵阳师专,邮编;422000)Abstract:Cons... 相似文献
994.
整形滤波在远程核四极共振探测中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
讨论了数字信号处理中的整形滤波在远程核四极共振里的应用.在个人计算机上用Turbo-Pascal编程语言实现了整形滤波,并用数值模拟谱和实验数据研究了整形滤波技术在提高测量信噪比方面所起的作用. 相似文献
995.
离焦散斑错位干涉术的逐点滤波分析与应用 总被引:1,自引:1,他引:0
通过相关计算,分析了离焦散斑错位干涉术的逐步滤波方法,得到了杨氏条纹的形成及分布特性。讨论了逐点滤波法的实用意义并给出了在缺陷检测中的应用实例。 相似文献
996.
本文报道了LF-11 Nd-玻璃激光器件驱动NaF等离子体0.9—1.5nm线谱X光转换实验的理论工作。结果表明:激光(λ=1060nm)功率密度在1×1013—3.5×1013W/cm~2内变化时,0.2%<ε<1%。对ε随λ的变化也做了讨论。同时,将理论结果与实验做了比较。 相似文献
997.
998.
SOI全内反射型光波导电光开关模型研究 总被引:1,自引:1,他引:0
根据受抑全反射的光学隧道效应和Goos-Hanchen位移分析SOI全内反射型光波导开关中导模的传输和反射特性。在讨论等离子体色散效应,p-n结大注入效应的基础上,分析了全内反射光波导开关的电学性质。设计了该器件的结构以数和电学参数。 相似文献
999.
1000.
采用准相对论的多组态Hartree-Fock(HFR)方法计算了类Li的Y离子(Z=39)的能级和振子强度,并且通过采用扭曲波方法计算自由电子的波函数,我们得到了由类He的基态到类Li的双激发态的自电离几率和双电子复合系数。在计算中,相对论质量—速度和Darwin修正都包含在哈密顿中。为了便于等离子体细致能级占据数密度的动力学计算,我们用一个解析表达式来表示作为自由电子温度函数的双电子复合速率系数,这个表达式精确地描写了从类He的基态到类Li的单激发态的双电子复合。 相似文献