柠檬酸在钴基铜互连CMP及后清洗的研究进展

钴(Co)具有较低的电阻率、良好的热稳定性、与铜(Cu)粘附性好等优点,可以替代钽(Ta)成为14 nm以下技术节点集成电路(IC) Cu互连结构的新型阻挡层材料。化学机械抛光(CMP)是唯一可以实现Cu互连局部和全局平坦化的方法,也是决定Co基Cu互连IC可靠性的关键技术。柠檬酸含有羟基,在电离后对金属离子有较强的络合作用,成为Co基Cu互连CMP及后清洗中的主要络合剂。文章评述了柠檬酸在Cu互连CMP及后清洗中的应用和研究进展,包括柠檬酸对Cu/Co去除速率选择比、Co的表面形貌以及Co CMP后清洗中Co表面残留去除等方面的影响,并展望了络合剂及Cu互连阻挡层CMP的发展趋势。     

重钢焦化厂筛焦楼粉尘治理

重钢焦化厂筛焦楼由于分选、运输量大,防尘设施年久失修,造成生产性粉尘严重超标,污染大气和作业场所。     

西安北院门历史文化街区保护规划探讨

西安北院门历史文化街区具有独特的民俗和宗教特色,一般的保护模式难以适用于该街区。针对街区传统风貌丧失、文化品牌尚未形成、旅游服务设施不完善等问题,北院门历史文化街区采取"政府主动引导、居民自我更新、近期实施项目以利用公产改造为切入点"的保护模式。     

突出地域特点，强化特色管理——辽西校园安全行

辽宁西部是中国雄鸡版图中的咽喉地带,是联络东北与华北的交通和战略要道,更是连接辽中南和京津唐两大重要工业区的纽带。辽西地区对校园安全工作非常重视,2008年和2009年的全省学校安全评比冠军都是出自辽西。新年伊始,记者踏上了辽西的采访之路。     

变转速工况下基于改进奇异谱分解和1.5维包络阶次谱的风电机组轴承损伤识别

为实现变转速工况下风电机组轴承故障损伤的准确识别,提出一种基于改进奇异谱分解(ISSD)和1.5维包络阶次谱的诊断方法。针对奇异谱分解存在的端点失真和奇异谱分量数量判定问题,提出极限学习机延拓结合窗函数的端点效应抑制策略以及基于Person相关系数的分量数量判定策略。首先,通过计算阶次追踪算法对拾取的信号进行等角度重采样,继而对重采样角域信号进行ISSD处理;为便于后续分析,利用排列熵指标从ISSD处理结果中筛选出最佳主敏感奇异谱分量,对其执行对称差分能量算子解调运算,并计算所得包络信号的1.5维谱;最后通过分析1.5维包络阶次谱中的阶次成分准确判定轴承运行状态。实验台信号及实测工程信号验证表明,所提方法能有效提取变转速工况下风电机组轴承损伤特征,具有一定工程参考价值。     

如何避免五大数码摄影易犯错误

您的数码影像图片很棒吗?它们有高清晰度、高解析度、良好的对比和正确的颜色吗?如果没有，也许您犯了五个最常见的数码摄影错误。下面介绍避免这些错误的秘诀。     

新一代汉字输入技术的研究和发展

一、汉字输入技术的发展 汉字输入从外设使用形式看可以分为键盘输入、声音输入、文字识别三类。从用户使用的方式讲,中文输入形式有五种:看打(看着文稿输入)、想打(想着中文内容输入)、听打(听别人口授输入)、说打(自己口授输入)、写打(手写休或印刷体识别输入)。汉字输入技术的分代应该适用于所有汉字输入形式。更重要的是,汉字输入技术的分代应该是一个重大的、总体的、质的差别,而不是少量的、某些指标的、量的改进。 汉字输入技术可以划分为三代: 1、第一代汉字输入技术——字输入法 第一代汉字输入技术的特点是以字为基本输入方式。一开始主要集中在键盘编码输入上,现在已扩大到声音输入、文字识别上。七十年代未、八十年代初提出的基于键盘的汉字编码输入方法大多是属于这     

网上流行“逃离房间”推理游戏

生活有时也平淡无味，试试在一个未知的空间里，用新的思维，去推理，猜测，游戏，去探索世界。