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隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。 相似文献
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为了讨论了问题方便,定义了两种P-N:“漏P-N结”和“单纯P-N结”。分析了二者击穿电压相关因素的差别,认为“漏R-N结”击穿电压与沟道区杂质浓度密切相关。EEPROM的研制中,要求“漏P-N结”击穿电压≥20V,即沟道区杂质浓度要低到一定的程度,而同时又必须保证一定的开启电压,即沟道区杂质浓度要高到一定的程度,通过分析与实验,提出了解决这一矛盾的通用原则。 相似文献
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家庭网络中的无线传输技术 总被引:4,自引:2,他引:2
1引言众所周知,有多种传输方式可用于家庭网络的构建。大致来说,可分为有线传输与无线传输两大类。相对于有线传输而言,无线传输的主要优点是不需要布线,因而可在短时期内普及家庭网络。另外,一些新的无线传输技术已可提供较高的带宽,从而能满足家庭网络的多媒体传输要求。最后,由于移动通信市场需求的推动,无线传输技术在近两年内发展迅速,有利于其产品进入家庭。迄今,瞄准家庭用途的各种无线传输方式多半使用两种频段:2.4GHz及5GHz。属于前者的有HomeRF,IEEE802.11b,IEEE802.11g,Bluetooth1.1/… 相似文献
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19.
在激光束扫描中,常用到多面体反射镜。本文给出当用作平行光束及会聚光束扫描器时的反射镜基本尺寸的某些有用的几何公式。第一部分研究平行光束扫描中用的未充满光束的多面体,第二部分概述会聚光束扫描中获得几乎是平场的方法。这种方法有可能在后置物镜扫描系统中使用较快而简单的光点成象透镜系统,其所获得的扫描分辨率有时可与有复合F-θ透镜的前置物镜扫描器给出的分辨率相匹敌。 相似文献
20.
我国配合煤质量与评价方法研究 总被引:2,自引:1,他引:1
选取了国内14家焦化厂的生产配煤,在实验室条件下,研究了各配煤对所得焦炭质量的影响并提出了质量评价模型。 相似文献