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随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时, FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。 相似文献
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本文通过对花纹板开发过程中技术要点的分析,解决了生产中的难点问题,成功地开发出了花纹板,取得了良好的经济效益。 相似文献
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SEANET(SowthEast Asia AmateurRadio Network)是东南亚业余无线电通信网络的简称。这个通信网络没有组织机构,也不设秘书处,是一个地区性业余无线电爱好者民间通信 相似文献
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太钢1549mm热连轧设备是由日本日新制钢株式会社引进的二手设备,采用美国西屋公司计算机系统,实现全自动轧制,介绍热连轧厂工艺及设备。 相似文献
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介绍亚半微米分步重复投影光刻机同轴对准系统的成像机理和工作过程。该系统在掩模和硅片上均刻有对准光栅标记,经光栅衍射后形成干涉信号,使对准信噪比大大提高,并实现了掩和硅片之间的直接对准,同时利用光弹性调制器组件对光学信号进行了光学调制,由 电路实施解调,提供了一种保护高信噪比,交换弱信号探测不对准方案;并通过计算机辅助分析的手段,讨论了SAVART的剪切量、工件台运动速度等对系统输出信号的影响。 相似文献
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