PECVD法淀积不同应力状态氮化硅薄膜工艺研究

等离子增强化学气相淀积法(PECVD)淀积的氮化硅薄膜具有沉积温度低、生长速率高、均匀性好等优点,在微电子机械系统(Micro-Electromechanical System,MEMS)中的应用越来越广泛,研究其应力状态对研制MEMS器件和系统具有重要意义.本文在大量实验的基础上,淀积出高压应力、低压应力、微应力、低...     

航空压力参数标校设备的设计

介绍一种航空压力参数标校设备,可以产生标准的滑油、燃油或液压压力,以校准对应飞参数据采集通道的采集误差,同时还可以对压力指示系统仪表进行机上原位检测和定检。文中详细阐述了设备的硬件组成、工作原理和软件的设计实现方法。实践表明,该设备测控精度高,工作稳定可靠,可以满足实际工作的需要。     

浅谈道路工程施工的环境保护

1道路工程施工阶段对环境的影响 除道路本身占用土地外，道路建设工程施工期间，为修建道路而建筑的大型临时设施、临时房屋和驭弃土场等也占用很多土地；施工过程中机械碾压、施工人员践踏等又会带来青苗损失。若不采取积极措施，会使这些土地长期被废弃。     

高硫燃气内燃机油运行数据异常分析与诊断

垃圾填埋气、沼气等恶臭污染气体被收集用于发电,但气体中因含硫量较高,导致机组无法长期平稳运行。中国石化润滑油有限公司为胜动公司代工生产的高硫燃气内燃机油能够满足高硫气体工况使用要求。某醇类生产企业自建污水处理厂燃气发电机组高硫燃气内燃机油运行过程中出现检测数据异常情况,本文通过对检测数据的分析,结合现场查勘,确定了数据异常的原因,提出了对设备的诊断性建议,保证了设备的安全稳定运行,获得用户认可。     

铂电阻测温仪的设计与实现

介绍了铂电阻测温仪的硬件及软件设计,并针对不平衡电桥中以及铂电阻的阻值和温度之间的非线性特性给温度测量带来一定的误差这一缺点,给出一种查表线性化的方法,实现了电路参数的自适应选取,使得误差达到了0.5级仪表的要求。     

65Mn钢等通道转角挤压微观组织与显微硬度分析

65Mn钢是制造农机具刀具的理想材料。从ECAP成形原理入手,探究了ECAP成形细化65Mn钢晶粒的机理,阐述了材料微观组织演变的控制原理。研究表明:热挤压后合金发生大塑性变形,晶粒结构变化,晶粒明显细化;65Mn钢试样ECAP挤压后硬度提高到380 HV,相比于挤压前硬度305 HV提高了25%。试验结果可以为秸秆粉碎机械、土壤耕整机械以及谷物收获机械的设计和开发提供依据。     

LT30激光测距仪的Profibus DP通讯

通过论述美国邦纳公司激光测距仪通讯系统集成案例,论述第三方工业现场总线装备的系统通讯技术。     

我国燃煤烟气脱硫技术应用现状综述

综述了我国目前燃煤工业上常用的几类烟气脱硫技术方法:湿法、半干法、干法,简单介绍了各种脱硫技术的基本原理、特点及其应用现状,并总结了各种脱硫技术的优缺点,同时展望了今后我国烟气脱硫技术的发展方向。     

共聚尼龙与乙基纤维素共混物的制备及性能表征

采用溶液共混合液-固相转变法制备出共聚尼龙与乙基纤维素共混物(PA-170/EC)。以黏度法、折光指数法和热重分析法研究了PA-170与EC的相容性和热稳定性。用高效液相色谱法表征了PA-170/EC共混物的界面性能。实验结果表明PA-170和EC有较好的相容性,且EC可改善PA-170界面亲水性和吸附性;PA-170/EC对不离解的极性有机物的分离效率优于纯PA-170和EC。     

一种基于STD的Buck变换器滑模控制

针对新能源用DC-DC Buck变换器常规滑模控制需要同时检测变换器输出电压和滤波电容电流,提出一种基于super-twisting微分器(STD)的滑模控制器。与常规滑模控制器相比,所提出的控制方法只需检测变换器输出电压,无需测量电容电流,因此可以将电流传感器从控制环路中移除,从而简化控制系统。仿真实验结果表明,与常规滑模控制器相比,所提出的STD滑模控制具有更小的稳态误差,同时保留了对输入电压扰动和输出负载扰动的强鲁棒性。