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Si基Cu/NiFe薄膜的生长及其粘附特性研究 总被引:4,自引:0,他引:4
微机械(MEMS)工艺和集成电路(IC)工艺中,在硅(Si)片上电铸高深宽比坡莫(NiFe)合金材料常出现脱落现象.提出了一种电铸NiFe合金材料的新方法,这种方法制作的合金薄膜厚度达200 μm时不脱落.此方法即对等离子刻蚀后的硅片溅射种子层铜(Cu),然后对种子层进行电镀,当其厚度达到约15 μm时,再进行NiFe合金的电铸.本文用扫描电镜、x射线衍射仪和剥离实验研究了薄膜粘附特性.研究结果表明当对种子层电镀后,随着Cu种子层厚度的增加,Cu/NiFe薄膜与基体的粘附强度增加,而薄膜的残余应力降低;同时Cu膜表面粗糙度增加,也增加了NiFe膜与Cu膜的粘附强度. 相似文献
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在双边平台中,商家的质量是平台质量的关键影响因素之一。在平台双边用户多次交易的事实基础上,以交易次数作为区分商家质量的特征,考察一个同时存在边缘商家和核心商家的双边平台,建立商家竞争力差异下的双边用户效用模型,分析系统均衡状态下交易增值率和交易次数对平台演化结果的影响。研究发现,平台双边用户交易次数的增加会使得平台商家和顾客数量增加,其中交易次数更多的核心商家比边缘商家增长速度快;当商家相对用户从双边交易中获益更多时,平台对核心商家的定价高于边缘商家;当用户相对商家获益更多时,平台对核心商家的补贴高于边缘商家,因而平台应该加大对重点商家的扶持以促进平台的稳定发展。本文的研究结论为平台制定相关管理策略提供了理论依据。 相似文献
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采用增韧剂(A)对氰酸酯树脂(CE)进行了增韧改性,使用溶液浇铸成型制备了改性CE柔性膜。研究了催化剂(B)和增韧剂对CE固化速率和固化温度的影响。与纯CE相比,含有催化剂的CE固化温度大幅度降低、固化速度明显提高。增韧剂的加入降低了CE/B体系的固化温度。固化时间延长,CE/A体系固化程度提高;增韧剂用量增大,改性CE膜的拉伸强度和杨氏模量下降,柔性提高;改变CE与A预聚温度可调整改性CE膜的强度和模量。 相似文献
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产品创新直接关系到产品自身在市场的竞争力.当前工业设计产品创新缺乏一些具体的理论支撑,因此需要将其他领域的理论融入工业设计当中能够有效提高新产品设计的效率.为提高工业设计中的创新效率,介绍了一种将工业设计理论与Matrix 2003结合的创新原理,总结了六大设计要素,并利用这些设计元素将创新原理按照"时间-空间-交互"三大维度进行划分,形成一种独特的创新矩阵,以最终理想产品所达到的效应为目标进行求解,从而为工业设计产品的创新提供了一种快捷有效的方法流程.最后以快递车车厢的改进为工程实例进一步验证方法的有效性和实用性. 相似文献
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