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光电式电流互感器是一种用于电力测量系统的新型传感器,本文介绍了利用激光给电流互感器高压侧供给能量的新方法。 相似文献
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激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统 总被引:6,自引:2,他引:6
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流.再经信号放大及模/数转换后输入计算机。结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到0.2℃,测量区域的最小直径可达到18μm。同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位。 相似文献
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激光诱导扩散区温度分布的均匀化 总被引:2,自引:5,他引:2
用连续波激光诱导扩散制作单片集成光接收机中的探测器时,激光照射形成的高温区面积很小。当入射激光焦斑光强为高斯分布甚至“平顶帽形”分布时,微小扩散区温度分布的均匀性都不能达到实验的要求。提出了用掩模对入射高斯光束进行空间调制的方法来实现扩散区温度的均匀化。该方法的关键是计算出实现均匀的温度分布所需要的焦斑光强分布参数。给出了计算方法和计算实例。结果表明,均匀化后,在扩散区平均温度上升值为500K时,扩散区内的最大温度差为3.9K,并且高温区的温度分布接近“平顶帽形”。 相似文献
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基于南京电子器件研究所0.5μm GaAs PHEMT工艺,研制了一种高增益级联式光接收机前置放大器.作为前级的跨阻抗放大器的-3dB带宽为10GHz,小信号增益为9dB;作为后级的分布式放大器的-3dB带宽接近20GHz,小信号增益为12dB;级联前置放大器小信号增益达21.3dB,跨阻增益为55.3dBΩ,在输入10Gb/s非归零伪随机二进制序列下,放大器输出眼图清晰、对称、信噪比优于跨阻放大器,分布放大器不能校正的输入波形失真也得到显著改善. 相似文献