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集成电路工艺监测版PCM(ProcessingControol,Monitor)在双极IC中应用广泛。它至少应该有四种基本的功能:测量元器件的特性,监控制造工艺能力,发现寄生效应以及工艺中的随机缺陷。在实践的基础上,本文提出了设计PCM的主要原则:适应性,可测性,覆盖范围和甄别性。 相似文献
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