真空蒸镀热反射玻璃电清洗工艺研究

分析了蒸镀反射膜时电清洗玻璃的必要性,提出了在真空室体中设置栅极并加以负高压,采用氨气产生等离子场并用其轰击清洗玻璃表面的方法。实验确定了蒸镀热反射膜（ｎｉ／ｃｒ）时的最佳轰击清洗时间。     

幕墙热反射玻璃真空蒸镀工艺研究

在系统分析了传统工艺所存在问题的基础上,通过实验证明了影响热反射膜附着力和耐磨性的关键参数之一是膜料预熔—→蒸发过渡电流变化率的大小,并给出机理上的解释,还总结出了新的蒸镀热反射玻璃的工艺及工艺曲线．实践证明：该工艺简单可靠,生产成本大幅度降低．     

聚焦型太阳能集热器真空蒸镀Al反射膜工艺研究

针对“贴膜法”在制备聚集型太阳能集热器反射膜上所存在的问题,探讨了采用真空制镜机（ＬＺ－２２００型）解决大尺寸聚焦型集热器一次性镀制Ａｌ反射膜的工艺方法,测试表明,采用真空制镜机镀制大尺寸聚热器的工艺方法可使聚焦集热器的集热效率和性能稳定性得到明显的改善。     

真空蒸镀ITO薄膜退火特性分析

采用真空蒸发镀膜工艺制备了ITO透明导电薄膜,以四探针表面电阻仪测量得薄膜方块电阻为400Ω,用组合式多功能光栅光谱仪测得透光率为80%,利用扫描电镜测得膜厚为103 nm.用XRD分析了薄膜的物相,并用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌及粗糙度.对薄膜进行退火处理,结果表明,随着热处理温度的升高,晶化趋于完整,组织结构逐渐均匀致密,晶粒有所长大.随退火时间的增加,透光率增加,但方块电阻先减小后增加.     

斜角蒸镀光学薄膜工艺的研究

斜角蒸镀方法是制备光学薄膜的常用方法之一.试验证明,采用斜角蒸镀方法沉积薄膜,能改变薄膜晶体结构,从而使薄膜性能得到改变.在蒸发过程中,蒸发材料在基底上形成了倾斜的柱状结构薄膜,而且随着蒸镀过程入射角度的增加,薄膜柱状结构也发生了明显改变,本文结合试验结果对这些影响因素加以分析.通过控制薄膜生长的条件,包括沉积的材料和其它条件,能够将薄膜结构控制精确到10nm级别.在薄膜生长过称中,动量守恒和表面扩散作用是形成这种独特的柱状结构的主要原因.因此,如果能够采用工艺手段改变材料的结构来改变它的折射率,就能使光学薄膜的选材更加广泛,也能扩大光学薄膜应用范围.     

真空蒸镀预熔→蒸发过渡电流变化率对光控膜物理特性的影响

通过研究真空蒸镀工艺中预熔→蒸发过渡电流变化率对光控膜物理特性（ 附着力和耐磨性） 的影响，得出过渡电流变化率是影响蒸镀膜层物理特性的关键因素之一，并对其机理作了讨论．实验确定出蒸镀阳光控制膜（Ｎｉ／Ｃｒ） 时过渡电流变化率不得小于３０ Ａ／ｓ．     

不同基体真空蒸镀铝膜的附着力研究

采用电阻加热式真空蒸镀法在玻璃、H13钢、塑料和纯铜基体上镀制铝膜,并对其附着力进行了测试和分析.结果表明:铝膜对基体的附着力随蒸镀时间的延长而增加,二者基本上呈线性关系;在相同镀制工艺条件下,铝膜对玻璃、H13钢、纯铜和塑料基体的附着力依次增强;在50~350℃之间退火后,铝膜对纯铜基体的附着力高于退火前,且随退火温度的升高而增大.     

调光隔热玻璃的镀槽设计

根据相关雷诺数和槽体温度分布计算以及有关结构的设计，提出了一种新型调光隔热玻璃无电解镀镀槽。温度分布及其变化的实验数据表明，流体是在稳定层流状态下进行的质量传递过程，在１ｍ×０．２ｍ×１ｍ镀膜区间最大温差小于０．５℃。     

阴极蒸镀和隔离层对有机发光二极管性能的影响

制备了简单结构的有机发光二极管(OLED)ITO/NPB/Alq3/Al/Ag。实验结果表明,快速蒸镀法制备的Ag阴极越厚,器件性能越差,而慢速蒸镀200nmAg阴极时器件性能也较差。在Alq3与Al阴极之间插入BCP/C60/LiF隔离层后,即使快速蒸镀法制备的Ag厚达280nm,器件的最大电流密度、最大亮度和最大电流效率仍分别高达248.6mA/cm2、5380.7cd/m2和3.52cd/A。隔离层不仅保护NPB和Alq3基本不被玻璃化,还很好地与Alq3和Al阴极匹配,大大提高了器件性能。     

镀膜玻璃真空夹具的研制

为使浸渍于溶液中的玻璃基片仅仅一面形成镀膜，研制了一种玻璃真空夹具。论述了这种夹具的总体结构、密封形式和影响玻璃密封的若干因素。     

微波真空干燥试验设备的自动化监测系统的开发

微波真空干燥是综合微波干燥和真空干燥各自优点的一项新技术,微波真空干燥技术的特点非常适合食品的干燥生产。本文提供了一种新型的计算机自动监测手段,能够非常方便地在线测试物料实时的温度、重量、真空度,解决了在干燥过程中在线监测水分含量及物料内部温度这一难题;比较方便地在线记录和查询试验数据和试验结果,实现无纸记录,减轻了试验人员的工作量和人为误差。     

微波真空干燥试验设备的自动化监测系统的开发

微波真空干燥是综合微波干燥和真空干燥各自优点的一项新技术，微波真空干燥技术的特点非常适合食品的干燥生产。本文提供了一种新型的计算机自动监测手段，能够非常方便地在线测试物料实时的温度、重量、真空度，解决了在干燥过程中在线监测水分含量及物料内部温度这一难题；比较方便地在线记录和查询试验数据和试验结果，实现无纸记录，减轻了试验人员的工作量和人为误差。     

The effect of interfacial evaporation on heat and mass transfer of falling liquid film

Analysis of experimental data and estimation of the order of magnitude for interfacial mass diffusion have demonstrated that considerable excess evaporation exists on the free interface of falling liquid film, and that the capillary pressure caused by surface tension is the driving force of this excess interfacial evaporation, which we called the "capillarity-induced interfacial evaporation". By correlating the experimental data, an empirical expression of the effective capillary radius, re, is obtained with which the evaporative rate formula we derived and reported previously has been modified to improve the prediction of the critical heat flux for film breakdown. Comparisons with the available predicting models show that our modified equation can predict the experimental results with much lower relative deviation.     

Cu（Al）／SiO2复合薄膜及显微特征

采用真空离子镀膜机在SiO2玻璃基片表面分别蒸镀Cu和Al薄膜,3组参数6次制备12个铝或铜薄膜试样．实验表明：相同工艺条件下,铝膜较铜膜附着力更强,膜厚更大,更易形成薄膜且结构均匀致密．经测试可知：当铝膜的轰击电压为175V,烘烤电压为160V,蒸镀时间为2h、铜膜的轰击电压为200V,烘烤电压为100V,蒸镀时间为1．8h,制得的样品纯度高,杂质含量少,微观结构与膜厚最理想,界面结构规范,平滑,吸附力强,薄膜界面微观粗糙性和形状较佳．     

杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究

采用“模板法”,在N2气保护下,合成CuPc基体材料.通过共溶技术对其杂化,得到具有较理想电导率的气敏材料.应用微精细加工工艺制备具有平面叉指电极结构的气体传感器的基片,利用真空镀膜方法在平面叉指电极基片上形成敏感膜.通过扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀.静态测试法考核传感器性能表明,传感器具有较好的响应恢复性,灵敏度和热稳定特性,对C l2、NO2、H2S等有毒气体选择性好、响应灵敏.     

真空干燥条件下的玉米介电特性

在设计叉指式平板电容介电参数检测元件的基础上,构建了真空状态下的介电测试系统,研究了玉米介电特性的变化规律,为真空干燥过程测试控制提供了基础。研究结果表明:在真空度为0～0.06MPa下,玉米的介电常数、损耗因数、损耗角正切等参数与温度、真空度等干燥参数之间存在非线性关系。介电常数、损耗因数随真空度的增大呈现类Z形递增趋势;损耗角正切随真空度的增大呈现类似反Z形递减趋势。玉米含水量和温度对介电特性参数的影响也很大,二者与损耗角正切呈负线性相关,含水量与介电常数在一段水分范围内呈正线性相关,含水量较高时,介电常数变化较大;温度与介电常数呈正线性相关;而损耗因数随含水量的增加有一陡降过程,随后缓降,且随温度的增高呈线性上升趋势。     

森林内气象因素和蒸散发的观测实验

分析实验资料表明：森林覆盖有调节温度、增加湿度、削减风力的作用。林内的水面蒸发和土壤蒸散发都不及林外的1／2。用林内土壤含水量的资料，尝试估算了森林蒸散发。     

Effects of Different Titanium Sub-oxide on the Properties of Titanium Dioxide Thin Films Prepared by E-beam Evaporation Deposition with Ion Auxiliary

TiO2 thin films were prepared with Ti2O3, Ti3O5 and TiO2 as raw materials, by electron-beam evaporation deposition, using O^2- ion beam （ O2 purity up to 99.99% ） as auxiliary means. The crystal structures of the samples were inspected by the X-ray diffraction （XRD） method, and the evaporation character of warious raw materials was analyzed. Transmittance spectra were measured through a U-3310 spectrophotometer （ wavelength ranging from 200 nm to 900 nm）. The refractive index n and the thickness of films were determined from transmission spectra. The experimental results show that the thin films taking Ti2O3 as their raw material have a strong absorption, when taking Ti3O5 and TiO2 as raw materials, the thin films would have good optical properties. The experiments also show that, the crystal structure of all thin films is amorphous before post-annealing and the Ti3O5 is a congruent evaporation phase in the Ti-O system.     

微型磁通门工艺的研究

为了制备体积小重量轻的可用于航天方面的微型磁传感器,用微机械加工方法制备了微型磁通门芯片.重点研究用蒸镀和掩膜电铸两种途径制备微型磁通门磁芯的工艺,研究了不同电铸工艺参数(镀液中c(Fe~(2+))/c(Ni~(2+))比、电流密度、pH 值)对镀层组份的影响并获得较为理想的成分比.利用振动样品磁强计测得磁芯材料的磁滞回线表明电镀的磁芯性能优于蒸镀的.