共查询到20条相似文献,搜索用时 15 毫秒
1.
2.
Mo/Si多层膜残余应力的研究 总被引:1,自引:3,他引:1
在极紫外光刻技术中,光学系统对多层膜光学元件表面面形精度有严格的要求,并且多层膜光学元件需要较高的反射率.由于多层膜中存在的内应力将改变光学元件的表面面形,因此在不减少反射率的前提下,一定要减少或补偿多层膜内的残余应力.论述了Mo/Si多层膜应力产生的原因和几种减少与补偿应力的技术,介绍应力的几种测量方法. 相似文献
3.
对不同热处理下的高钒高速钢,采用X射线衍射仪测量其残余奥氏体量,利用滚动磨损试验机测量其耐磨性,分析了残余奥氏体量对其力学性能及滚动磨损性能的影响。研究结果表明:高钒高速钢成分为3.04C,8.80V,3.87Cr,2.98Mo时,热处理对基体的显微组织的影响主要表现为马氏体和残余奥氏体的相对变化量上;残余奥氏体量增加,其滚动耐磨性升高,并呈开口向上的二次曲线关系,但耐磨性数据波动范围明显加大;残余奥氏体量与硬度呈开口向下的二次曲线关系,与冲击韧性近似呈直线关系。在本试验条件下,综合考虑残余奥氏体量对其滚动耐磨性、耐磨性数据波动范围及力学性能的影响,残余奥氏体量以45%~55%(体积分数)为宜,其相应的淬火温度为950~1050℃,回火温度为450~550℃。 相似文献
4.
5.
6.
7.
《机械制造与自动化》2016,(2):102-105
滚动直线导轨副的静刚度直接影响数控机床的加工精度。研究如何提高导轨副静刚度十分必要。基于ANSYS Workbench建立导轨副有限元模型,描述了一个完整的导轨副垂直静刚度仿真过程,包括接触设置、网格划分、设置边界条件与载荷以及求解等步骤。通过有限元仿真的结果,分别研究导轨副中滚珠数目、滚珠直径、曲率比、初始接触角、材料等因素对其垂直静刚度的影响,进而研究提高导轨副垂直静刚度的方法。 相似文献
8.
采用有限元软件对硬质合金圆环与钢基体钎焊接头残余应力的分布状态进行模拟,研究缓冲层对接头残余应力的影响,结果表明, 在钎缝与硬质合金一侧接触面上残余应力最大,在接触面上靠近中心侧区域为最危险区域.通过添加缓冲层,可以大大缓解焊后的残余应力,且缓冲层的厚度存在最佳值.经试验验证,计算结果与试验基本一致. 相似文献
9.
采用考虑固态相变的热-冶金-力学耦合有限元模拟方法,使用SYSWELD软件研究了P92钢多层多道焊接接头的温度场及残余应力场;观察了接头截面形貌,采用盲孔法测试了残余应力,并对模拟结果进行了验证;采用该有限元模拟方法分析了焊接过程中残余应力的变化。结果表明:模拟得到的接头截面峰值温度分布形状与试验得到的接头截面形貌相吻合,说明有限元模拟可以较好地还原实际焊接过程中的热输入情况;模拟得到的接头残余应力沿焊缝中心呈对称分布,与试验结果吻合较好,说明该有限元模拟方法可以准确地预测P92钢多层多道焊接接头的残余应力;在多层多道焊接过程中焊缝及热影响区的部分金属在经历后续热循环时发生软化,导致残余应力消失,并在冷却阶段发生残余应力的重新分配。 相似文献
10.
水射流喷丸强化残余应力场的有限元模拟 总被引:2,自引:2,他引:2
针对水射流的高湍动特性与受喷靶体材料复杂的弹塑性形变行为,提供一种水射流喷丸强化残余应力场的有限元分析方法.基于准静态压力分布和非线性轴对称面分布载荷,采用多线性各向同性强化的Mises率不相关弹塑性模型,应用Prandtl-Reuss塑性增量理论及增量初应力法,利用线性斜坡载荷加载制度,运用ANSYS有限元软件模拟不同压力作用下水射流喷丸在2A11铝合金材料表层产生的残余应力场,获得残余应力场的分布规律及残余应力沿层深和径向的变化规律,指出残余应力沿层深分为残余压应力区和残余拉应力区,沿径向分为第Ⅰ残余压应力区、残余拉应力区和第Ⅱ残余压应力区,得到表面残余压应力、表层最大残余压应力、残余压应力层深度随着喷丸压力的增加而增大.为验证有限元模拟的正确性,对喷丸表面残余压应力进行试验验证,结果表明,有限元法计算的表面残余压应力值与试验数据近似吻合. 相似文献
11.
分析了某多层堆叠模块的焊接残余应力,讨论了各功能层不同选材、焊接顺序对模块残余应力的影响,并给出了优化方案。利用 ANSYS 软件进行有限元分析计算,采用 ANAND 本构模型描述焊锡的黏塑性行为,采用基于接触的多点约束(Multi-point Constraint, MPC)算法实现焊锡层与功能层的跨尺度自由度耦合。计算结果表明,焊接顺序对模块残余应力影响较小,各功能层的选材需要综合考虑模块变形及应力安全裕度。刚度较大的底板层可以同时降低模块变形和高温共烧陶瓷(High Temperature Co-fired Ceramic, HTCC)层应力。热膨胀系数较小的盖板层可以降低 HTCC 层应力,但会增大模块整体变形。底板选用 Al/ SiCp(65%),盖板采用可伐合金,可以得到变形及应力安全裕度均满足要求的方案。 相似文献
12.
13.
14.
15.
16.
水冷法对管道对接接头残余应力分布的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
本文研究了1Cr18Mi9Ti和20钢两种管道在空冷和水冷条件下多层对焊的残余应力分布规律。计算和实验结果表明,采用合适工艺的水冷法可有效调整上述两种管道的焊接残余应力分布,并可在管道内表面焊接接头区获得有助于提高管道应力腐蚀性能的双向压缩残余应力。 相似文献
17.
18.
19.