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研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室 ,扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持 ,本底真空度可达 2× 10 -6Pa。利用该系统所生长的SiGe外延层晶体质量良好 ,界面清晰平直 ;利用Ge组分渐变技术还能够实现低位错密度弛豫SiGe外延层的生长 相似文献
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讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。 相似文献
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在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是:从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵-离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是 相似文献
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结合在NSRL同步辐射光束线和实验站的实际工作,对新设计的超高真空高精度同轴旋转平移差分馈入系统的密封型式和结构进行了描述,本系统可以完成超高真空条件下的高精度旋转平移轴系的馈入,已在NSRL反射率计实验站上得到成功使用. 相似文献
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本工作采用气相渗透技术,测定220—420℃温度范围内,JBK—75合金的氢渗透率和扩散系数,研究了 JBK—75合金中沉淀析出相γ′对氢渗透行为的影响。结果表明,740℃时效析出的γ′相对氢的扩散行为没有明显影响;在实验温度范围内,氢在 JBK—75合金中的渗透行为遵循Arrhenius 关系式,渗透率和扩散系数与温度的关系分别表示为Φ=4.36×10~(-4)exp[-62.10(kJ/mol)/RT]mol/(m·s·MPa~(1/2))D=3.01×10~(-7)exp[-48.52kJ/mol)/R7]m~2/s 相似文献
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采用喷射成形工艺制取超高碳钢,并对其超塑性及热加工后的综合性能进行了研究。研究结果表明,喷射成形超高碳钢不仅具有优良的显微组织,而且还有独特的超塑性,在热加工后其综合性能得到明显提高。 相似文献
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程控无油超高真空排气台的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25~600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1~80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求 相似文献
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利用三先气与双酚A采用常规界面缩聚方法制备出超高分子量线形聚碳酸酯,并用GPC、FT-IR、DSC、TGA等对其主要理化性能进行了表征。结果表明,(1)该方法制备的双酚A型超高分子量线形聚碳酸酯重均分子量M^-W=172,800,分子量分布指数Pa=1.413,在氮气氛围中起始分解温度468℃,在空气氛围中,加入0.5份Igofos 168抗氧剂起始分解温度即达到467℃,热稳定性较好,便于成型加工;(2)不同的后处理方法得到的样品其DSC曲线有较大差别:采用甲醇快速沉淀得到的样品看不到明显玻璃化转变,且之后出现熔融峰,而用丙酮缓慢沉淀得到的则相反。 相似文献
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本文介绍一种只用高频产生等离子体的氮化方法(简称高频离子氮化法)。找出比较合适的氮-氢气体比例及合适气压、温度的氮化工艺参数。获得高的表面硬度(HV 1575左右)和较厚的氮化层(85μm)。初步分析了影响氮化层性质的一些因素。 相似文献
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绝热夹层的真空度,是保证真空绝热低温容器之绝热性能的关键因素。而合理设计夹层中的吸附剂盒,又是维持夹层真空的重要环节。讨论了吸附剂盒的结构设计要点。 相似文献