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相似文献
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2.
一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统   总被引:4,自引:0,他引:4  
《真空科学与技术》2000,20(5):355-357
  相似文献   

3.
在高能辐射同步光源验证装置(HEPS-TF)阶段,研制了一台低温永磁波荡器(CPMU)样机,周期长度为13.5 mm.低温波荡器的磁结构放置在真空室中,存在大量的材料出气与夹气,为了提供束流正常运行所需的超高真空环境,研制了波荡器的超高真空系统.首先估算了波荡器的放气率、放气量,并根据指标要求计算了真空系统所需的有效抽...  相似文献   

4.
研制成功了一台超高真空化学气相沉积系统。该系统采用扁平石英管作为生长室 ,扁平石墨加热器进行加热。系统真空度用分子泵维持 ,本底真空度可达 2× 10 -6Pa。利用该系统所生长的SiGe外延层晶体质量良好 ,界面清晰平直 ;利用Ge组分渐变技术还能够实现低位错密度弛豫SiGe外延层的生长  相似文献   

5.
6.
不锈钢及其镀膜复合材料气相氢渗透研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

7.
讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。  相似文献   

8.
在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是:从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵-离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是  相似文献   

9.
介绍了兰州重离子冷却储存环(HIRFL-CSR)超高真空系统首台样机的研制过程,给出了实验结果.介绍各真空室结构,对关键标准设备进行了测试与选型.根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率;根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验得到证实;对真空烘烤装置的初步工作也作了介绍.样机达到了3×10-9Pa的设计指标,结果表明HIRFL-CSR工程真空系统的设计方案是可行的.  相似文献   

10.
薛松  刘伟 《真空》2005,42(3):43-44
结合在NSRL同步辐射光束线和实验站的实际工作,对新设计的超高真空高精度同轴旋转平移差分馈入系统的密封型式和结构进行了描述,本系统可以完成超高真空条件下的高精度旋转平移轴系的馈入,已在NSRL反射率计实验站上得到成功使用.  相似文献   

11.
本工作采用气相渗透技术,测定220—420℃温度范围内,JBK—75合金的氢渗透率和扩散系数,研究了 JBK—75合金中沉淀析出相γ′对氢渗透行为的影响。结果表明,740℃时效析出的γ′相对氢的扩散行为没有明显影响;在实验温度范围内,氢在 JBK—75合金中的渗透行为遵循Arrhenius 关系式,渗透率和扩散系数与温度的关系分别表示为Φ=4.36×10~(-4)exp[-62.10(kJ/mol)/RT]mol/(m·s·MPa~(1/2))D=3.01×10~(-7)exp[-48.52kJ/mol)/R7]m~2/s  相似文献   

12.
基于客户提出的在工作现场对真空计进行校准的切实需求,研究并设计了现场真空校准装置。该装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成。考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求,设计中采用了模块化分体式结构,复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等真空校准方法。可根据不同的校准需求,选配不同的模块和方法实现对真空计的校准。现场真空校准装置预计达到的技术指标是,校准范围为10-4~105Pa,合成标准不确定度小于7%。  相似文献   

13.
本工作采用超高真空气相氢渗透技术,在140—400℃温度范围内,测定了氢在纯 Ni(不同冷变形量)中的渗透率、扩散系数和溶解度常数,研究了冷加工对氢渗透和扩散行为的影响。结果指出,在实验温度范围内,氢在纯 Ni 中的渗透率和扩散系数均遵循 Arrhenius 方程,纯 Ni 的冷加工对氢渗透和扩散行为没有明显影响。  相似文献   

14.
采用喷射成形工艺制取超高碳钢,并对其超塑性及热加工后的综合性能进行了研究。研究结果表明,喷射成形超高碳钢不仅具有优良的显微组织,而且还有独特的超塑性,在热加工后其综合性能得到明显提高。  相似文献   

15.
程控无油超高真空排气台的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
米伦  李晓勇  王远  李建 《真空与低温》2005,11(3):170-174
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25~600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1~80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求  相似文献   

16.
利用三先气与双酚A采用常规界面缩聚方法制备出超高分子量线形聚碳酸酯,并用GPC、FT-IR、DSC、TGA等对其主要理化性能进行了表征。结果表明,(1)该方法制备的双酚A型超高分子量线形聚碳酸酯重均分子量M^-W=172,800,分子量分布指数Pa=1.413,在氮气氛围中起始分解温度468℃,在空气氛围中,加入0.5份Igofos 168抗氧剂起始分解温度即达到467℃,热稳定性较好,便于成型加工;(2)不同的后处理方法得到的样品其DSC曲线有较大差别:采用甲醇快速沉淀得到的样品看不到明显玻璃化转变,且之后出现熔融峰,而用丙酮缓慢沉淀得到的则相反。  相似文献   

17.
本文介绍一种只用高频产生等离子体的氮化方法(简称高频离子氮化法)。找出比较合适的氮-氢气体比例及合适气压、温度的氮化工艺参数。获得高的表面硬度(HV 1575左右)和较厚的氮化层(85μm)。初步分析了影响氮化层性质的一些因素。  相似文献   

18.
高真空多层绝热的主要影响因素   总被引:7,自引:1,他引:7  
通过分析国内外的代表性文献,着重从原理及影响因素方面对高真空多层绝热的研究情况进行了论述。  相似文献   

19.
铁电阴极材料,作为一种新型功能材料,因其发射电流密度高且对使用环境无苛刻要求,而得到各国高度重视.为了测试其电流发射密度,作者研制了铁电阴极真空二极管试验装置,并加以改进,然后将锆钛酸铅(PZT)铁电材料封装入二极管中,进行电子发射试验研究.结果表明,所研制的真空二极管,其真空度达到了试验要求,屏蔽了地电流信号对样品信号的干扰,达到了强电流铁电阴极材料发射电流密度测试的基本要求,为铁电阴极材料在真空二极管中的实用化奠定了基础.  相似文献   

20.
绝热夹层的真空度,是保证真空绝热低温容器之绝热性能的关键因素。而合理设计夹层中的吸附剂盒,又是维持夹层真空的重要环节。讨论了吸附剂盒的结构设计要点。  相似文献   

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