密闭热系统中拉制硅单晶

本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制硅单晶的情况。试验表明：密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氢气消耗，而且可有效地降低硅单晶的氧含量和热氧化层错密度。文中还对密闭系统的材料、形状、放置及作用作了具体描述。     

纵向磁场拉制硅单晶的工艺研究

用常规CZ法拉制的硅单晶质量与VLSI对材料的要求有较大差距。MCZ法可以抑制硅熔体的热对流,因而改变了硅单晶的氧含量和其他性能。作者采用VMCZ法详细地研究了磁场对硅熔体波动、温度起伏的影响,进而研究了磁场对热场分布、磁场对硅单晶中杂质的分布、磁场对硅单晶中氧、碳含量、磁场对硅单晶中微缺陷等的影响。发现:VMCZ的结果与资料报导的HMCZ数据相比有较大差别。通过调整拉晶参数也只能有限度地改善硅单晶的性能。     

可拉制电阻率高度均匀硅单晶的FCCZ法

FCCZ 法是由日本东芝公司研究开发的一种生产硅单晶的新技术。东芝公司于1988年4月7日首次公布了一些简单数据,宣称:①用本技术生产的硅单晶头、尾电阻率偏差可控制在3%以内;②片子内电阻率偏差可减少到6%;③用这种技术生产硅片的成本,IC 用硅片可减少30%,大功率用硅片可减少35%。东芝公司半导体技术部部长平野均在     

北京有色研究总院拉制出直径200mm的硅单晶

北京有色研究总院国家半导体材料工程研制中心继1992年拉制出第一根直径为150mm硅单晶后,日前又拉制出直径为200mm的硅单晶,这标志我国硅单晶制造技术取得新的进步。 半导体材料硅是电子信息技术的基础,被国家列为高新技术发展的重点。这根直径为200mm的硅单晶为N型,重达56kg。加大硅单晶直径,历来被认为是提高硅片产量、降低成本的有效措施,技术难度也相应     

武钢两项新技术通过部级鉴定

武汉钢铁集团公司开发的“球墨铸铁冷却壁”和“新型上引式气力输送仓式泵”两项新技术新近在武汉通过原冶金工业部科技司组织的专家鉴定。     

日本正在连铸机上试用的两项新技术

1.连铸中间包等离子加热钢水新技术等离子是一种非常清洁、高效、且易控制的热源。将等离子弧用于连铸中间包钢水加热,可降低转炉出钢温度,提高转炉生产率和炉龄;防止发生低温浇铸事故,改善两罐钢水接头处铸坯的质量。     

锆铝吸气剂在拉制硅单晶使用的氩气的循环回收及精制中的应用

目前在单晶硅制备中,国外多采用纯氩气氛拉晶工艺(或在氩中掺1—5％的微量氢气)。氩气性能的稳定,不仅可以将炉中结晶潜热及时排出,造成炉内合理的温度梯度分布,有利于优质晶体的生长,而且也避免了用氢气拉晶所产生的氢脆及引入其他缺陷。 然而,电子工业需用的氩气要求纯度高,(>99.999％)并且消耗量大(20—22米~3     

MCZ硅单晶

MCZ硅单晶即磁场直拉硅单晶,于1980年由日本索尼公司首先拉制成功,至今已五年多,在这段时间里,无论对磁场直拉工艺的研究,还是对该材料在应用领域的研究都取得了很大进展。当器件集成度进入兆位时代后,为提高器件性能和合格率,对硅单晶的质量要求就更加严格,由于MCZ硅的优越性非常突出,     

硅单晶的热处理问题

一、引言硅单晶的热处理工艺在我国已开始受到重视,并开展了这方面的研究工作。在国外,热处理工艺已经是许多半导体硅生产厂家的必要工艺环节。热处理的好处在于: (a) 稳定电阻率,改善截面均匀性,消除杂质条纹; (b) 消除晶体内应力和机械损伤; (c) 稳定位错,减小它的有害影响; (d) 消除微缺陷,杂质微沉淀。     

大直径硅单晶

美国卡耶克斯联合研究中心(纽约州罗切斯特)报道说,已成功地制出直径为6英寸(15厘米)、长27英寸(68厘米)、重27公斤(60磅)的硅晶体。该晶体是由卡耶克斯公司哈姆柯分公司,在CG2000RC型晶体生长炉内制成的。该晶体应用缆索式籽品提拉机构和自动控制直径技术,能沿它的整个长度实现无位错的生长。该制造厂报道说,把该晶体制成太阳能电池在阳光照射下能产生2,200瓦的电力,足以供给一个普通家庭使用。     

新型区熔硅单晶

新型区熔硅单晶北京有色金属研究院成功地研制出φ１００ｍｍＮ＜１１１＞ＮＴＤ区熔硅单晶，它是用于制做高电压、大电流功率器件的一种新型材料。晶体直径φ１００ｍｍ；电阻率范围５０～３００Ω·Ｃｍ；径向电阻率不均匀性≤６％；晶体少数载流子寿命≥１００μｓ；晶...     

两种连铸新技术

本文介绍连铸连续锻压和低过热度浇铸，二次强冷两种新技术的原理，方法，工艺参数及工业试验结果。前者是在铸坏最后凝固部位施加机械能，排除浓化钢液，破坏粒状晶的成长；后者是在浇铸水口中冷掉大部分钢水过热温度和对铸坏进行强冷的浇铸技术。两者都能做到改善中心偏析，增加等轴晶等提高铸坏质量的效果。     

四项铝工业新技术通过鉴定

富锂氧化铝调控技术让铝电解过程更加节能,七效二段法节能蒸发器能大幅降低蒸汽消耗,这两项被鉴定为国际领先的新技术为铝工业节能降耗带来福音。而赤泥变身PVC板材、氧化铝用于制造液晶显示器,这个创意使通常熟悉的资源有了新用途。     

三项节能新技术通过技术鉴定

冶金部委托上海冶金局于1985年5月6～11日对以下三项节能新技术进行了技术鉴定。 (1)上钢一厂的高回收低油耗轧钢加热炉 该厂采用加大换热面积的方式使烟气余热回收率提高到50％以上,预热温度达400～500℃,有时达550℃;在国内首先应用了QRF型高风温、全热风新型烧嘴和横水管     

三项铁合金冶炼新技术述评

介绍了低频电源矿热炉、以煤代焦冶炼铁合金、直流矿热炉三项新技术,指出广泛推广这三项新技术有利于我国铁合金工业的技术进步和提高铁合金企业的经济效益。     

球磨机的两项改革

我矿对MQG1200×1200球磨机进行了两项技术改革,取得了良好效果。 (一)球磨机给矿方式的改革在运转中联合给矿器有一偏心负荷,电流波动大,能耗增加,动球荷不均匀,同时返砂勺头极易磨损,影响运转率和磨矿效率,有必要改革。我矿MQG1200×1200与FLG500的机组配置,原来分级机坡度为14°,排矿流槽坡度17％,返砂流槽坡度40％。前年九月,我矿重新调整了分级机的配置,使球磨机和分级机中心线尽量靠近,分级机坡度为19°,球磨机排矿流槽坡度10％,返砂流槽坡度25％,从而取消了联合给矿器,实现了球磨机自流直接给矿。     

硅单晶片研磨液的研究

论述了研磨液在硅单晶片加工中所起的重要作用以及当今国内外研磨液的发展状况，通过实验研究有效地解决了目前研磨液存在的悬浮，金属离子的去除及表面颗粒吸附问题，并对研磨液的污染及其净化处理进行了分析。     

世界最长的高质量硅单晶

日本三菱材料公司和三菱硅材料公司共同开发出半导体用硅单晶的连续制造法,在该公司中央研究所进行的拉制试验中,成功地制造出直径6英寸、长2米的世界最长的高质量硅单晶。