聚丙烯（PP）膜真空性能的研究

采用动态流导法，在分子流状态和不同温度下，测量了ＢＰ膜的放气率和平衡压强并研究了其放气特性，实验证明了其放气率随时间按指数函数衰减，同时获得了平衡压强数据。     

CMP系统真空供给系统设计

研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,保证真空度要求,同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析,研究机架的振型、固有频率,从而在结构设计上避免共振。     

晶体生长设备的真空系统设计

阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能。     

真空预处理设备的研制

对目前液晶显示器生产工艺进行了研究,针对显示效果要求更高的薄膜晶体管液晶显示器(TFT-Thin Film Transistor)的生产工艺研制开发出一种新型设备可以有效地提高显示效果。对该设备的工作原理、总体构成及关键技术进行了分析和讨论。     

真空断路器的真空监测

真空灭弧室封离后的真空度通常用潘宁或磁控法进行测量（用电场和磁场相结合的方法）。用这种方法可以测量１０＾－１￣１０＾－４Ｐａ范围内的真空度。然而，当它用真空断路器上这些方法就无能为力。最早期在开断过程中采用一种判断高频开断性能好坏作为一种可能解决方案。但是，调查研究表明在１０＾－１￣１０＾－５Ｐａ压强范围内发现有不同数量的高频予击穿电流回数。在开断过程中５和３０Ａ之间的直流电弧的电流截止对于通过测     

ZRL-005型真空熔炼炉系统设计

镁合金材料广泛应用于制作电子产品的壳体。ZRL-005型真空熔炼炉是镁合金熔炼和甩带的一体化设备。主要用于对镁合金等材料的高频感应加热熔化和喷气甩带。介绍了ZRL-005真空熔炼炉的技术指标、工作原理和结构特征,并详细分析了控制系统的硬件及软件设计。     

红外探测器寿命试验自动化真空系统设计

针对目前红外组件寿命试验过程中测试参数时必须更换真空腔的问题,设计了一种用于红外组件寿命试验的自动化、多工位真空系统。提出了以杜瓦为试验中心的总体方案,实现寿命试验过程中原位参数测试。通过真空理论计算和计算机3D建模,进行了系统结构设计;采用可编程逻辑控制器(PLC)为控制核心,通过自动控制抽气回路阀门和泵的启停,实现对寿命试验真空环境的实时监控,以及对真空失效进行报警保护。在完成系统的设计后,进行了试验验证。试验结果表明,所设计的真空系统功能可正常运行,系统在加液氮的情况下,空载真空压强可达3.6710-6 Pa,满足红外组件寿命试验必需的真空环境要求。     

分子泵真空系统与扩散泵真空系统

引言涡轮分子泵是一种利用高速旋转的涡轮叶片把动量传递给气体分子,使气体分子连续不断地从入口排出到出口的高真空泵。由涡轮叶片组件、电机、外壳和中频电源四部分组成。近十几年来,随着分子泵的生产技术(精密加工技术、动平衡调整技术、长寿命陶瓷轴承和磁悬浮轴承、固体中频电源)的发展,以及其应用技术的深入研究,大大提高了分子泵运行的可靠性,使之大规模走向工业生产应用领域。分子泵的应用领域遍及     

UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计

介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。     

BS350扫描电镜的真空系统及其维护

BS350超高真空扫描电镜的真空系统属无油真空,具有清洁,安全,可靠、抽速高,无噪音及操作方便等优点。图1为这套真空系统的结构图。预真空室的真空是通过低温吸附泵获得的;枪室和样品室的真空是通过静电离子泵和磁离子泵二级抽气达到的。第一级吸附泵利用分子筛的低温吸附作用进行抽气,使预真空室的真空达到10~(-10)pa。每次使用以前都要对它进行烘烤,在300℃～350℃温度下保持3～4小时的驱除吸附的水汽,得以再生。但多次使用以后,分子筛的吸附作用有所降低,再生不理想时就必须更换泵中的分子筛。第二级静电离子泵的稳流电源提供0～60mA的可调电流加热灯丝使其发射出具有一定切向动量的电子注入电子运动轨道。电子受阳极     

CMP中真空供应系统的设计

针对CMP在低生产量及实验室条件下对真空供应系统的特别要求：（1）持续稳定的真空供应;（2）能够及时处理倒流液体;（3）真空电机不易长时间连续工作的要求,从气动性、硬件电路和软件流程图进行全面设计：增加独立的真空槽体和排液槽体,在正常运行情况下二者串联增加真空供应容积,并且自主收集倒流废液,而排液中依然可保证真空稳定供...     

基于ARM和Linux真空镀钛数据库系统设计与实现

介绍了基于ARM和linux平台真空镀钛数据库系统,该系统记录镀钛过程中的各种参数,包括乙炔和氮气流量,炉温、炉数、真空度等影响镀钛结果的参数以及经过镀钛处理、经检验合格的不锈钢板表面色彩值(黄色、红色)。通过数据库的建立,为镀钛提供样本控制参数,有效提高色彩目标成功率。给出了快速存储及查询的算法。文章的创新点在于用记录信息直接变为数据存储的地址这种方法来编写程序,使查找更方便。     

真空系统漏油情况的系统分析

以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法。     

曝光机双玻璃晒架及其真空系统的设计

曝光机是图形转移中的重要设备。传统的迈拉晒架存在着需要赶气、效率低等缺点,已不能满足现代生产的需要。现今双玻璃晒架已在国外中、高档曝光机上普遍采用,但在国内各厂商还不具备生产能力。设计了散射光曝光机的双玻璃晒架系统,研究了玻璃的固定方式、腔体真空、底片吸附等问题,在实验基础上得出了当膨胀密封圈气压为0.03MPa,腔体真空度和底片吸附分别为40kPa和80kPa时,该晒架系统的真空效果较好。     

板栗真空爆壳机水蒸汽喷射式真空系统的设计

根据板栗真空爆壳工艺试验的研究及爆壳机对真空系统的工作要求,设计了水蒸汽喷射真空泵附设启动喷射泵的真空系统,并将喷射器泛汽用于爆壳过程的加热,使真空爆壳机具有运行稳定可靠,高效低耗等特点.     

从真空微电子学到真空纳电子学

微细加工技术和场发射作为电子源促成了真空微电子学的诞生,许多从事微细加工技术、真空电子技术、微波电子学、材料科学、表面科学、薄膜科学等领域的研究人员也开始了这方面的研究工作,1988年在美国召开了第一届国际真空微电子学会议（IVMC）,随后每年一届在世界各地轮流召开。科学技术的发展非常之快,纳米结构、纳米加工技术、纳米材料等也渗透到这个领域,真空微电子学的研究领域也随之扩展,所以2004年在美国召开的第17届国际真空微电子学会议改名为国际真空纳电子学会议（IVNC）。本文就真空微电子学的发展历史,该领域的技术发展做了综述和分析,对目前真空纳电子学的兴起、研究内容的变化做了分析。