一种新型微机械锚

在不增加薄膜层数的前提下设计出一种新型的薄膜微机械锚结构.新型微机械锚与传统微机械锚相比具有更大的厚度和合理的形状,其刚度得到很大增强.有限元的模拟表明,新型微机械锚不仅能向连接在其结构上的其他微结构提供更高的支撑力,还提供了更接近于固支的支撑边界条件.     

一种新型微机械锚

在不增加薄膜层数的前提下设计出一种新型的薄膜微机械锚结构。新型微机械锚与传统微机械锚相比具有更大的厚度和合理的形状 ,其刚度得到很大增强。有限元的模拟表明 ,新型微机械锚不仅能向连接在其结构上的其他微结构提供更高的支撑力 ,还提供了更接近于固支的支撑边界条件     

一种硅基MEMS微波SIR交指带通滤波器

基于7阶SIR交指结构滤波器,提出了一种基于硅MEMS技术的微波S波段交指带通滤波器。不仅保留了交指结构的高通带选择性,而且可以通过调整SIR的阻抗比和电长度比来实现宽阻带。采用MEMS工艺,在双层高电阻率的硅片上完成了滤波器的制作和自封装,它具有体积小、损耗低的优点。仿真结果表明,该滤波器在中心频率2.35 GHz处的相对带宽为30%,带内插损小于1.5 dB,回波损耗大于15 dB,在频率f0±0.8 GHz处的阻带抑制比大于50 dB。该交指带通滤波器的体积仅为(11×7×0.8)mm³。     

基于氮化镓的导模共振滤波器仿真分析

根据严格耦合波理论和等效介质理论,提出了针对C波段、基于半导体材料氮化镓的亚波长导模共振滤波器结构及设计方法。详细探讨了在强调制光栅的高占空比作用下,光栅周期和入射波角度对滤波器反射谱共振波长的影响。在保持滤波效果为高衍射率(共振波长峰值反射率达到99.5%以上)、低旁带和窄线宽的条件下,利用其对入射波角度的敏感性,结合仿真数值提出了一种通过 MEMS(微机电系统)平面反射镜调谐入射角角度(0~4.07°),从而线性地控制共振波长输出(调谐范围为36 nm),实现峰值半宽高低于0.8 nm的C波段可调滤波器。     

微尺度下新型MEMS滤波器的研究

分析了MEMS共面波导结构,在MEMS共面波导的基础上设计了一种MEMS滤波器,研究了它的电磁学、热应力等微尺度效应.在这些微尺度条件下分析了器件的相关性能,这些参数为获取实际的MEMS滤波器提供了一些有意义的数据.若改变设计参数,可获取其它同类型的带阻、带通滤波器件,为无线通信中的MEMS器件研究在材料选择、器件设计等方面提供了一些理论依据及其实际经验.     

一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器

介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本.此外,还分析了该可调光衰减器的衰减机理,理论计算结果与实验数据基本吻合.实验测得样机性能为,插入损耗低于3 dB,动态范围大于40 dB,回波损耗大于40 dB.     

基于MEMS技术的微波滤波器研究进展

基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结,综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义。     

微电机和微动力MEMS

微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。     

微系统制造用的硅微加工新技术

传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(111)面来形成侧壁,垂直壁可由(110)面形成。可以看出,这种微加工方法是双向完成的。该技术的一个优点是不需要高温,微加工是以后处理方式进行的,且多数都是用KOH作腐蚀液。然而,如果接续下来的工作也需在超净室中完成测最好的选择是TMAH。     

一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚

在MEMS领域,微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中,但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚,往往不能使微梁满足理想固支的边界条件,从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差.为了解决这一问题,文中提出了一种结构新颖的锚,经Coventorwear软件模拟表明,该锚能提供接近理想固支的边界条件.     

InP基微机械可调滤波器结构特性分析

介绍了一种由静电驱动的InP基微机械可调滤波器,通过模拟此结构中DBR的反射谱和法布里-珀罗(F-P)腔的透射谱分析了其滤波性能.用有限元方法分析了几种典型微机械结构的调制特性和顶镜的动态响应特性.比较了不同结构镜面的平整度行为.为InP基微机械F-P腔的设计优化提供了有效参数依据.     

硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真

分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的硅基双轴谐振式微机械加速度计的结构形式。该结构采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结构稳定性好。用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了提出结构的设计思想和优化参数的可行性,设计了可实现的工艺流程。     

MEMS及微机械加速度计可靠性研究

由于MEMS器件的应用日益频繁,其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。以微机械加速度计为例,指出了该加速度计的可靠性问题,以及对其可靠性测试研究的内容。     

微机械可调谐滤波器的研制

利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器.该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm.     

微机械可调谐滤波器的研制

利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达28nm     

基于MEMS的显示技术推动新一代FPDs在移动中的应用

今天，移动电子设备制造商正面临着一系列的竞争和挑战。为了继续生存，他们必须提供具有更多功能和更高性能的设备，为此必须降低功耗、尺寸和成本。     

FIR低通和带通滤波器的关系分析与仿真

为了避开直接设计带通滤波器的繁琐设计步骤要求,利用低通滤波器与带通滤波器的关系,间接设计带通滤波器是创新之处,即通过设计简单的低通滤波器从而达到设计带通滤波器的要求。介绍了窗函数法FIR数字低通、带通滤波器的设计,给出了低通滤波器与带通滤波器的频率响应函数,并分析了它们之间的关系,得出了相关结论,结合实例,利用Matlab证实了该结论的正确性,为带通滤波器的设计提供了一种新方法。     

Increasing the Dynamic Range of a Micromechanical Moving-Plate Capacitor

Large electrostatic forces on a micromechanical capacitor plate can be obtained if the capacitor is tuned by using an inductor. Such an LC circuit can be used to control the position of a micromechanical capacitor plate over a large dynamic range. The pull-in phenomenon of capacitor plates does not occur because the LC drive is intrinsically stable. The LC drive can be implemented either by sweeping the frequency or the amplitude of the driving AC voltage. In both cases relatively good linearity can be obtained. It is found that the LC drive can tolerate large parasitic capacitances. Measurements done on a dual capacitive acceleration sensor verify the calculated results. A drive AC voltage rms amplitude of 10% of the DC pull-in voltage deflected the moving plate by about 60% of the nominal gap, limited only by a mechanical stopper.     

一种MEMS热微执行器的设计与制作

介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用ANSYS对微执行器进行有限元分析,优化结构参数;根据模拟结果,采用SOI硅片和微细加工DRIE技术制作了这种V型梁微执行器并联阵列。     

可编程相位光栅结构的微机械特性研究

描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理，并介绍了相应的仿真结果。光栅样机采用硅微机械技术加工而成，其测试结果表明，光栅样机的频响特性基本符合理论推导与仿真结果，光带谐振频率在120Hz～240Hz的区间之内，截止频率约为7．14kHz；光带的响应时间与回复时间相当，约为70μs。