微机械差动电容压力传感器的研究

文中介绍以Ｎ型单昌硅为基底,利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。     

基于厚膜技术的双电容陶瓷压力传感器

基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器,设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路,详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明:研制的传感器线性误差小于0.37%,迟滞误差小于0.3%,电容温度系数低于97×10-6/℃.     

MEMS差动电容加速度传感器

介绍了一种MEMS差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对MEMS Sensor选择差动电容传感器的理论依据进行了分析，叙述了MEMS差动电容加速度传感器各项参数的设计依据，包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等，同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理，不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移，结构合理，达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。     

高精度硅电容压力传感器的研究

本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构，从而较好地消除由温度特性不匹配造成的漂移。利用Ｄｉｏｄｅ－ｑｕａｄ接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器材固有的非线性，使传感器的精度大大提高。     

硅微机械谐振压力传感器技术发展

硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结构形式,详细论述硅微机械谐振压力传感器的研究历史、主要研究机构、国内外发展现状以及最新的研究成果,重点根据不同激励与检测方式对各种硅微机械谐振压力传感器的芯体结构进行深入分析比较。在此基础上,总结归纳不同芯体结构及其激励与检测方式的特点,并对硅微机械谐振压力传感器的未来发展趋势进行展望。     

差动电容传感器直接数字变换方法与实现

为了使差动电容传感器与数字仪器间建立数据连接,设计了新型直接数字变换器.变换器采用双斜式变换原理,可实现差动电容传感器差与和之比值的数字输出,给出了原理性电路及测试结果.分析表明:寄生电容、开关泄漏电流和比较器偏置电压等因素对变换过程的影响可以忽略.新型变换技术所获得的高精度和良好的线性只取决于参考电压源而与传感器变换过程参数无关.试验结果显示,对于标称值为10 pF的差动电容传感器,在整个测量范围内,最大线性误差小于0.05％.     

基于差动式电容传感器的弹簧检长系统

针对弹簧检长系统测量误差大的问题,该文设计了基于差动式电容传感器的弹簧检长系统,该系统由差动式变面积式电容传感器、双T形交流电桥测量电路、信号调理电路、FPGA和显示组成,经试验得到电压与弹簧相对长度函数关系,在实际使用中运用该函数关系通过测量电压计算出待测弹簧长度。经实验测得电压与弹簧相对长度拟合函数其线性度为1%,灵敏度为2.529 2 mV/mm,分辨力为0.05 mm,按照国家标准1级弹簧长度误差小于标准弹簧±0.2 mm为合格。实验表明,该系统完全可以满足弹簧检长要求,且线性度好、灵敏度高、分辨力强、稳定性好;经实际和标准仪器相比准确率达到100%,且比现有设备操作简单、成本低。     

电容式压力传感器的开关电容接口

引言目前,扩散硅压阻式桥路和离子注入式硅膜片集成压力传感器的线性都很好,但它们的温度特性差,功耗也较大。相比之下,电容式压力传感器的温度特性要好得多,功耗也小。它的灵敏度是压阻桥路压力传感器的10～20倍,正在研制中的开关—电容(SC)接口非常适用于     

微机械角速度传感器的研制

文中介绍了一种用于测量运动物体角度速度的微机构角速度传感器,包括其结构组成,工作机理,运动方程,制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。     

1kPa 微机械结构微压传感器的研究

本文报道一种量程为１ｋＰａ的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了高灵敏度微压传感器的非线性内补偿和强过载保护以及高共振频率,分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性为０．１％ＦＳ,其过载保护能力已超过５００倍满程压力,共振频率为９ｋＨｚ。     

智能化差动电容角位移传感器的研究

介绍了一种智能化差动电容角位移传感器，它利用PICl6F877单片机实现对差动电容角位移传感器敏感元件的输出进行智能化处理。优点是减少电气干扰和温度漂移，消除电路网络参数的不对称影响，提高传感器的稳定性和可靠性。     

双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程

双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电空压力传感器的优点,还有它的特别之处：双面接触式电容压力传感器施加同样的压力时,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度,而且不会因此增加多少成本;工作时可靠性更高,即使一面失灵还有另一面可以正常工作。文中就双面接触电容压力传感器的工艺进行了初步设计。     

光纤、电容液滴传感器的设计研究

光纤、电容液滴分析技术是利用光纤和电容测试技术制成特殊的液滴传感器，获取经过液滴的光强信号随液滴生长变化的规律以及有关液滴体积的信息。文中将具体介绍光纤、电容液滴传感器的工作原理、电容液滴传感器的数学模型和液滴滴头的结构设计，同时给出由传感器获取的与液滴生长过程相关的光纤信号和液滴体积信号。     

T型悬浮式复合压力/差压变送器

本文介绍了重庆市伟岸测器制造有限公司的T型悬浮式复合压力/差压变送器的框架结构,分析了T型悬浮式复合压力/差压传感器的特点及检测电路原理,给出了主要的技术指标和设计目标。     

电容式压力传感器的厚膜集成化研究

采用厚膜传感技术研制电容式感压元件,并通过厚膜混合集成技术将信号处理电路集成在感压元件上成为一体,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明：研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器,线性达到0．5％,迟滞小于0．5％,具有重复性好,受分布电容,寄生电容影响小,精度高,抗过载,耐腐蚀等特点,对厚膜感压元件,信号处理电路的设计与平面化加工以及集成化等进行了介绍,并对集成化中相关工艺,兼容性及性能进行了讨论。     

微型电容式压力传感器的制作与测试

从应用开发MEMS产品的实用角度出发，介绍了利用硅一硅键合技术制作的微型电容式压力传感器，给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试，并对测试结果进行具体分析。结果表明：该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。     

射频电容传感器的原理与设计

射频电容法是测量油品含水率的新方法。本文论述了该方法中的射频电容传感器的测量原理,并对传感器敏感探头进行了设计,。实际重油含水率标定测量结果表明该系统的最大非线性误差为±０５％。