SOI高温压力传感器研究进展及应用

常规扩散硅压阻式压力传感器依靠PN结实现敏感电阻间的电学隔离,基于单晶硅良好的弹性形变性能和显著的压阻效应进行压力测试,以其特有的体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点,成为应用最广泛的压力传感器。不过,当工作温度超过125℃时,电阻与衬底间的PN结漏电加剧,使传感器特性严重恶化以至失效,不能准确测量压力。因此,把能在高于125℃条件下工作的硅压阻式压力传感器,称为扩散硅高温压力传感器。     

高温稳态环境下行车空调系统性能的实验研究

研究了高温稳态环境下行车空调系统实验装置的特性,综合分析了行车空调系统性能参数的影响因素,分析了各影响因素对行车空调系统性能的影响效果,实验表明,机组所处的环境对空调机组的制冷量和压缩机电机功率有较大影响。     

基于虚拟实验的虚拟实验器件建模

近年来，随着学校规模的扩大，学生数量不断增加，传统的实验模式已经不能满足要求，而采用计算机技术构建的各种虚拟实验室为解决实验教学问题提供了一种新的解决方法。要实现虚拟实验教学，虚拟实验器件的设计与研究是必不可少的。通过虚拟器件的概念、特点、组成、建模方法、应用及发展方向等方面对虚拟器件进行了详细的阐述，并提出了如何在虚拟实验中构建虚拟器件。     

高温合金循环蠕变实验

本文利用装配有EDC数字控制器的高温电子蠕变试验机开展了一种镍基高温合金的循环蠕变实验。结果表明与恒载荷静态蠕变相比,两种方式（矩形波和锯齿波）载荷循环降低了合金蠕变寿命．但对蠕变塑性并没有影响。     

MEMS高温接触式电容压力传感器

本文介绍了一种用SOI硅片和硅-硅键合MEMS技术制作的高温接触式电容压力传感器，并给出了详细的工艺制作流程。在对测试装置、测试电路进行了详细地介绍和深入分析后，用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试。测试结果表明，传感器在小于250kPa的室温条件下工作，传感器的灵敏度为0．54mV／kPa;而在400℃条件下工作，传感器的灵敏度为0．41mV／kPa，传感器的零点飘移为0．1mV／℃。可见这种微传感器可在低于450℃的条件下正常工作，且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。     

高 g值冲击下 MEMS器件可靠性研究

以基于SOI的MEMS开关器件为研究对象,建立了以SOI器件为基本结构的有限元分析模型,此次实验采取的是在SOI层上镀上一层Au,以便进行电路连接,并加载500～5000 g的惯性力进行有限元分析。经ANSYS有限元的分析,在500 g高惯性力的作用下,最容易产生金属层的脱落现象,造成MEMS器件的失效。通过这种方式对不同结构的MEMS开关器件进行有限元分析,限制其阀值加速度,减少由于惯性跌落试验而造成的实物破坏。     

基于CAN总线技术的工业环境监控系统研究

传统的生产环境监控设备仍然存在着许多不足之处.本文针对这一情况设计了一种基于CAN总线技术的环境测控系统.该系统以AT89C51单片机为下位机,利用单总线技术通过与其连接的多种传感器,可在无人值守的情况下实现对工业现场温度、湿度、有害气体含量等多种环境参数的自动检测.同时,下位机可以通过CAN总线技术与上位机通讯,实现检测数据的实时传递,同时还可以对其中的危险因素及时发出警报.该系统结构简单,性能可靠,可实现对生产环境的自动监测和无人值守化的管理.     

一种适用于高温环境的压缩机

压缩机是空调器的关键部件。目前房间里空调器中所采用的压缩机可分为回转式和往复式两种类型。几年前,国内市场上所见到的回转式压缩机全是进口产品,1987年底,西安庆安宇航设备公司转子式压缩机生产线的建成,结束了这种局面。该公司的YZ系列压缩机很快成为国内各空调器厂家争购的产品。后来,     

高温环境下作业的装载机驾驶室设计

分析装载机在钢厂高温炉前或高温钢渣堆前作业的工况,得出对驾驶室的设计要求,结合驾驶室设计应参照满足的标准,在常规驾驶室基础上,更改部分结构,添加功能部件,实现满足工况要求的驾驶室设计。     

LCU逻辑控制单元试验台的研制

针对用户使用特点,研制了一种台式、实用的逻辑控制单元试验台;该产品采用工业计算机技术、硬件电路模块化设计技术,实现了逻辑控制单元的整机测试、手动测试试验;阐述了该系统的硬件、软件实现方法,系统结构简洁,使用方便、安全、可靠、抗干扰性强,具有很好的扩展性和升级空间。     

基于MCGS的井控装置试压监控系统的设计

井控装置在使用一段时间后需要进行检修和耐压检测(试压),以保证其安全性.以往的人工试压方式安全性差,精度低,无法得到具有说服力的结论,可信度不高.针对这种情况,采用USB7325A为主要硬件设备,MCGS组态软件为开发平台,设计了一套井控装置试压监控系统,实现了压力的采集与显示,泵的控制,数据的保存,报表的打印等功能....     

车辆安全检测线控制系统设计

在探讨车辆安全检测线控制系统设计要求和功能结构的基础上,简要介绍采用“工业模块集散控制”方式的较先进的检测线控制系统.     

低温环境下MEMS动态测试系统

研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统.对低温环境的产生及其关键问题、低温环境下的激励方法、信号检测方法,及高速数据采集方法进行了初步研究.采用半导体冷阱产生低温环境,为防止低温下结霜对测试精度造成影响,测试在真空环境中进行.研制了基于压电陶瓷的底座激励装置,用于低温环境下对微器件激励.采用2种方法用于低温环境下微器件振动响应信号的检测,一种是采用内置敏感元件的方法,被测微器件受到激励后自身输出信号,经高速数据采集单元采集进入计算机;另一种是采用激光多普勒测振仪在低温环境外部进行检测.以LabVIEW为平台开发了测试系统控制软件,实现了微器件激励、数据采集、存储自动化.对系统的总体设计、硬件组成、系统功能、实验研究等方面作出了详细阐述.     

热风高压试验装置温度跟踪保护控制系统设计与应用

针对热风试验装置釜体热应力和升降温效率之间矛盾,根据电热风传导传热特性,将热风加热装置的温度测控系统划分为釜内和釜壁2个控制回路独立、执行回路关联的双回路温控系统,采用釜内与釜壁遥控跟踪的控制方式,实现釜壁温度自动校正,使釜体应力保护在限定温度范围。在保证釜体安全的前提下,系统自动根据釜内试验目标温度,调节加热电源功率调整装置的输出功率,以最快速度按照试验要求对釜内试验介质温度进行精确控制,完成热风加热的高温高压试验。     

基于微机的数控装置的设计

阐述基于微机数控的硬件与软件的实现方案,分析硬件各主要功能单元的工作原理,给出实现数控装置主要功能的软件结构与流程图,并介绍程序设计的主要思想.     

超辐射激光二极管温度控制模块的研究

本文设计了一种温度调节控制模块,采用双温度测试、内嵌8位微控制器（MCU）、256级电流输出等,实现了智能化、小型化,具有温度稳定性高、成本低等特点.基于系统结构框图对各部分组成、工作原理和软件实现进行了分析,测试结果表明,本模块也适用于其他类型半导体激光器的工作温度控制.     

基于VXI总线的某型飞机导弹发控系统性能测试仪的设计与实现

传统的导弹发控性能测试技术含量低,不能满足现代战争的需要。为提高部队的快速反应能力,研制了一种基于VXI总线的某型飞机导弹发控系统性能测试仪,并给出了测试仪的硬件配置和在LabWindows/CVI环境下的软件模块化设计方案及实现方法。导弹发控系统性能测试仪的研制,为部队战时或训练现场实时测试导弹发控系统的主要性能提供了方便。     

基于PC机的温度控制实验装置的开发

针对刚步入研究生阶段学习的自动化专业新生，设计并开发了一套小型温度控制实验系统。该系统以控制电水杯水温为目标，硬件的核心为PC机和多功能数据采集卡，软件采用Visual C＋＋6．0开发。系统设计合理．结构简单．操作方便、功能丰富．适用范围广泛。该系统不仅为学生提供了一个学习．掌握如何搭建计算机控制系统的实验平台，而且还有助于学生对控制理论的学习，文中详细介绍了系统的硬件结构和软件设计。     

汽车用比例阀及其测试装置

简述了汽车用比例阀的作用、结构和主要性能，以及自己设计制造的比例阀性能测试装置和计算机控制系统的组成、功能、特点。该测试装置经使用证明，达到设计要求，工作可靠、稳定，可对各种类型比例阀进行在线测试。