一种光学薄膜生产的新工艺—等离子体辅助蒸镀

离子辅助蒸镀可以改善薄膜的性能已为大家所熟知,并适用于多种镀膜材料的多层薄膜,但是由于这种工艺的总离子流较低以及商品离子流的束斑面积较小,故其幅照的基片范围是极其有限的,采用先进的等离子体源（ＡＰＳ）,就克服了上述缺陷,其总的离子流可达到５Ａ,均匀辐照基片的范围达到的１ｍ＾２,这种等离子体源通常安装在箱式镀膜机上,ＡＰＳ除了用于等离子体辅助蒸镀外,还可用于化学气相淀积工艺,例如等离子体聚合。本文对用ＡＰＳ进行等离子体辅助蒸镀工艺的原理作了叙述,同时介绍了用这种工艺镀制介质多层膜,如截止滤光片和减反射膜,其波长不发生漂移,对有机基底材料为尤其明显,加固层、减反射膜和憎水层可以三者一起加到了有机基底表面,改善了这种基底性能,而且已进行了规模生产。     

光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究

为了对光学薄膜进行精密光学检测,需要采用数个具有高解析度的线阵CCD相机进行光学薄膜缺陷图像的同步采集。基于计算机视觉的理论,提出了一种有效的自动质量监测方案,实现对光学薄膜表面微细缺陷项目的检测,并根据检测结果驱动打标机对光学薄膜缺陷进行自动标识和定位,该方法具有高精度、实时、在线和非接触的显著优势。探索性实验结果表明,采用该方法可获得光学薄膜表面缺陷的清晰图像,缺陷的细节能够得到很好的展现,并且能够完成缺陷特征的提取与识别。     

燃烧室容积的计算机辅助检测

G427发动机整体人缸盖铸件弯曲变形的极大超差,已无法应用传统的抽样检查保证缸盖燃烧空的容积精度。本文应用非接触式传感器和计算机技术研制了燃烧室容积的计算机辅助检测系统。文章深入探讨了“充液法”自动检测原理和信息处理方法,并对各个子系统的功能作了详细的介绍。该系统能屏幕显示、打印输出、统计分析,并可将定时信息通讯传输到数控铣床,为联机创造条件。     

新的测量手段——计算机辅助检测

对产品的尺寸质量控制而言,最大限度采集其尺寸数据及对所采集到的数据进行分析是实现制造过程中质量控制最为有效的途径。我们对所采集数据的进行分析,可得出工件的超差情况并适当调整制造工艺来提高工件的加工质量,降低工件的报废率、提高生产效率、减少资源浪费,从而取得更好     

离子辅助沉积TiO2光学薄膜的特性

阐述了用离子辅助沉积(IAD)工艺制备氧化钛(TiO2)光学薄膜的光学、应力及微观特性,并讨论了其与离子辅助沉积成膜工艺参数之间的相互关系。     

一种基于多目机器视觉的光学薄膜瑕疵检测系统

针对光学薄膜制备过程中的表面品质缺陷,给出一种基于机器视觉的多通道同步自动在线检测方案。瑕疵检测精度、薄膜幅宽决定系统须采用多相机同步采样,为此提出一种C/S系统架构处理和管理各通道数据,并采用高性能FPGA设计了多通道同步控制卡。在实验基础上分析了薄膜瑕疵成像特点,提出一种基于误差修正理论的快速瑕疵检测算法,即:无瑕疵的背景图像认为只存在呈正态分布的随机误差,瑕疵看作粗大误差,从而将瑕疵检测问题转化成粗大误差的判别问题。通过连续多次采样求平均的方法得到标准背景图像,算出每个像素坐标位置的标准差σ,然后对每幅待检图像应用3-σ准则进行瑕疵判别,可直接得到二值化的瑕疵分离结果。实验结果表明,该算法具有简单、快速、准确的优点,解决了普通差影算法阈值确定困难的问题。     

一种适用于中小型企业进行计算机辅助管理的方法

介绍了作者设计和构思的一种适合于中小型企业进行计算机辅助管理系统的基本思想,实现的方法以及在企业实践的情况。     

光学薄膜宽带实时监测方法的探讨

列举了多种实例，对光学薄膜宽带监测方法作了认真探讨。在非λ/4多层薄膜的制备中，有效的监测方法是获得制各成功的关键。根据宽带光学薄膜的特殊要求，选择合适的监测方法，满足膜层监测的实际需求，是评价实施方法的一个重要依据。     

一种角速度信息辅助的行人计步参数检测方法

在穿戴腰式行人导航系统中,行人做弯腰、上下蹲等原地起伏动作时会引起传统峰值检测法步数检测误差。为补偿此项误差,在对人体腰部运动特征分析基础上,提出一种引入角速度信息辅助的行人步数检测方法。此方法先提取人体前向、侧向角速度信息来判断行人是否前进,并联合垂向加速度计输出的峰值信号,进行组合步数检测。在对27组引入原地起伏动作的行走实验中,应用峰值检测法和本文方法检测步数的平均准确率分别是85.8%、98.84%。实验结果表明,提出的方法能有效减少原地起伏动作导致的步数误差,且具有较高的可靠性。     

基于辅助交叉和动态操作的薄膜遗传算法

膜系遗传算法设计中,提出了辅助交叉算子和一种动态操作策略,随群体进化状态的改变,相应地改变选择操作与变异操作方法;同时,辅助交叉算子发挥了最优个体在进化搜索中的引导作用。超宽增透膜的设计结果表明,这种改进算法对群体适应值的快速提高、跳出局部极值的作用是显著的。     

透射光谱法测试薄膜的光学参数

推导了使用透射光谱极值法来确定薄膜光学参数的理论公式,并对溶胶一凝胶法制作的掺不同浓度二氧化锡的二氧化硅薄膜的折射率和厚度进行了计算。由于透射光谱法来确定薄膜的光学参数时需要其有一定的厚度来形成干涉峰,而用溶胶凝胶浸渍法单次提拉的薄膜厚度太薄,因此用多次提拉的方法来增加厚度。最后借助于柯西色散公式,在其它波段对折射率进行了拟合。结果表明,薄膜的折射率随着二氧化锡含量的增加而增加,相同提拉次数的薄膜厚度也基本相同。     

蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜

报道采用溶胶—凝胶技术、蒸发诱导自组装法,通过酸/酸二步法控制实验条件,实验中采用表面活性剂十六烷基三甲基溴化氨(CTAB)为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,以及二次去离子水,盐酸为催化剂等原料制备前驱体溶胶。加入不同量的1,3,5-三甲基苯(TMB)辅助剂来调整膜的孔径。简单提拉迅速蒸发溶剂制备多孔二氧化硅光学薄膜,利用红外光谱对样品进行结构分析,采用UV-VIS-NIR分光光度计测量了薄膜的透过光谱,原子力显微镜(AFM)观察发现多孔薄膜的表面形貌具有明显的多孔结构、表面光滑、均匀;结果表明所制备的薄膜有好的光学性能、机械性能。     

同步辐射与光学薄膜

介绍同步辐射光源及光学薄膜在其中的应用。     

红外用光学薄膜

介绍了华北光电研究所研制的红外用光学薄膜,内容涉及8μm～11.5μm增透膜及红外滤光片。     

基于二维光学相干层析的多层薄膜结构无损定量评价

为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析(Optical Coherence Tomography,OCT)系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉法,具体由压电驱动器驱动参考镜实现,做到了对OCT共轭镜像的去除,避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比,可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度(钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2)进行准确测量。实验结果表明:自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量,可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。     

基于遗传算法的透射光谱法测量薄膜光学参数

基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数,并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数。     

光学薄膜中的偏振效应

介绍了薄膜偏振效应的基本理论.光学薄膜在光倾斜入射时可等效为一线偏振器和一位相延迟器,这一特性可以用琼斯算法进行描述.利用薄膜的这一特性可以消除光学系统中不想要的偏振效应以保持光的偏振状态,也可以用来制作薄膜位相延迟片.用琼斯算法对YAG激光用全反射角立方反射镜的偏振特性进行了分析,并利用薄膜的偏振特性设计了两膜系对其进行了补偿;最后对一全介质高反射膜的相移特性进行了分析和优化设计,得到了一偏振保持高反射膜.     

退火对真空蒸发Ti3O5制备光学薄膜性能的影响

采用真空蒸发法,以T i3O5为膜料分别在基片温度为200℃、250℃、300℃的条件下制备氧化钛光学薄膜,XRD结果显示,沉积态薄膜为无定形态,400℃退火后,均由无定形态向锐钛矿结构转变;不同基片温度下制备的氧化钛薄膜退火后,折射率均随基片温度的升高而增大;随着退火温度的升高,(101)晶相择优取向十分明显,结晶度增大;经过400℃、500℃、600℃退火后,薄膜折射率逐渐上升。     

时间监控离子束溅射沉积光学薄膜的厚度修正

通过单层和多层膜的实验模拟,研究了离子束溅射沉积速率和沉积时间的关系。在溅射镀膜的初始阶段,对于Ta2O5,沉积速率随时间增加而增大;对于SiO2,沉积速率随时间先显著地增加,随后逐渐地减小。结果表明,通过对高、低折射率各层的监控时间进行补偿,即可实现光学薄膜厚度的精确监控。