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相似文献
 共查询到18条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
由于有机聚合物材料具有介电常数小、电光和热光系数大、热损耗小、易于加工及可垂直集成等优点,聚合物波导器件成为近几年研究的热点.本文在介绍光学聚合物材料优点和一些新型聚合物的基础上,重点讨论了聚合物波导器件的最新进展.  相似文献   

2.
由于有机聚合物材料具有介电常数小、电光和热光系数大、热损耗小、易于加工及可垂直集成等优点,聚合物波导器件成为近几年研究的热点。本文在介绍光学聚合物材料优点和一些新型聚合物的基础上,重点讨论了聚合物波导器件的最新进展。  相似文献   

3.
杨斌  尹小杰  李绍洋  吴远大 《半导体光电》2021,42(2):151-157, 167
二氧化硅平面光波导(PLC)器件以其低损耗、高工艺容差,以及与CMOS工艺兼容和与单模光纤模场匹配良好等优点,在光通信、光互连和集成光学中得到了广泛的应用.文章综述了二氧化硅平面光波导器件及其应用的进展,重点针对分束器、阵列波导光栅、可调光衰减器及其集成器件的最新研究进行了介绍,对未来发展趋势进行了展望.  相似文献   

4.
平面集成光波导器件综述   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

5.
GexSi1—x/Si光波导及其器件的最新研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
综述了1994年以来国内外在GexSi1-x/Si光波导及其器件结构、工艺等方面的最新研究进展。  相似文献   

6.
赵禹  崔占臣等 《光电子.激光》2002,13(11):1097-1100
介绍了聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器的基本原理,进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导。结果表明:AWG器件的制做工艺,Al掩模技术明显优于厚胶掩模技术。用这种技术制备的器件,其结构指标与理论设计相符合而且波导在1.55μm处实现了单模传输。  相似文献   

7.
本文利用以Hermite-Gauss函数为基函数的Galerkin方法,对德国赫兹研究所正在研制的一种电-光聚合物波导器件进行了结构优化计算。  相似文献   

8.
分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况.介绍了平面光波导器件的几种不同种类,包括硅基体沉积二氧化硅光波导,铌酸锂镀金属膜光波导,聚合物(Polymer)光波导等组成.利用平面光波导技术,可制造出波分复用器、解复用器、光开关、耦合器、阵列波导光栅等各种不同的集成光学器件.  相似文献   

9.
主要研究如何在不损伤聚合物的前提下,实现聚合物波导的端面处理,即对端面的研磨和抛光.由于硅材料和聚合物材料的物理特性差别,除了要选择好特定的抛光材料以外,在抛光时还要特别控制抛光速度和抛光时间:速度过快会造成硅片"塌边"和损坏聚合物膜.试验结果表明:抛光速度在50 r/min以上很容易造成损伤;速度在20 r/min左右的抛光效果较理想.抛光时间不够则不能达到抛光要求.  相似文献   

10.
阵列波导光栅波分复用/解复用器有N个输入端口和N个输出端口,能同时传输N^3路不同的光信号,除具有波分复用和解复用功能外,能灵活地与其它光器件组成多波长光源、光路分插复用器、光路交叉连接器、波长路由器等波分复用器件,在光通信网络中有广泛的应用前景。  相似文献   

11.
从OFC 2003看平面光波导器件的发展动向   总被引:3,自引:0,他引:3  
概述了2003年OFC会议上报道的平面光波导器件,着重介绍了平面光波导器件在新材料、新工艺、新结构方面的新进展和发展方向。  相似文献   

12.
SOI纳米线波导具有对光场限制作用强、传输损耗低、弯曲半径小、集成度高、与传统CMOS工艺兼容等优点,采用SOI纳米线波导能够大大缩小光子器件的长度和面积,提高器件工作速度和效率,降低器件功耗.介绍了SOI纳米线波导在模式、损耗、偏振等方面与传统大尺寸硅基波导所表现出来的不同特性,评述了当前关于SOI纳米线波导和基于SOI纳米线波导光子器件的最新研究进展.  相似文献   

13.
本文介绍了平面波导(PLC)光分路器的构造和原理、特点及制作工艺。根据PLC光分路器的生产工艺,分析了影URPLC光分路器性能的主要因素.并为提升PLC光分路器性能提供了若干建议。  相似文献   

14.
综述了玻璃基集成光学器件离子交换工艺的原理及技术现状,介绍了近年来我们在玻璃基光波导制作工艺方面的研究工作,并提出了研究工作面临的问题.  相似文献   

15.
平面阵列光学波导模式特性及其光强传输分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
分析了平面阵列波导的模式特性.其导波模式为周期性调幅的平面波(Bloch波).阵列波导输入/输出波导结构是影响其传输特性的重要因素.采用扇形过渡波导结构以提高阵列波导输入/输出端口芯区宽度与波导周期宽度的比值,可降低阵列波导光强的传递损耗.并可改善布里渊区入射/出射波的损耗非均匀性.采用低折射率差的波导芯区/包层结构可降低波导对光波的限制,提高光强的传输效率  相似文献   

16.
基于阵列波导光栅(AWG)的结构特点,采用Bloch函数近似算法,建立了锥面波导的结构模型,考虑信号在波导中的辐射特性,讨论锥面AWG能量密度及其散射特性。结合作者前期在锥面AWG波导结构参数的研究工作,对锥面AWG进行了仿真计算。数值结果表明:锥面AWG布里渊区的中心区域辐射能量最大,并得到传输系数与轴向距离2及衍射角的关系,计算得到的基本参数与仿真结果相吻合。  相似文献   

17.
用周期波导的方法分析平面阵列波导光栅(AWG)的本征方程及波导模式参数,结果表明波导传播常数是带状分布的,与波导间隔有关。分析结果对器件的优化设计有一定的指导意义。  相似文献   

18.
SOI集成光电子器件   总被引:1,自引:0,他引:1  
Silicon-on-insula tor(SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容,采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。  相似文献   

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