基于FIB—SID技术的三维金属无源电感制备与测试

重点研究了聚焦离子束的相关原理和应用。利用聚焦离子束应力引入致形变（Focused Ion Beam Stress-Introduced De-formation, FIB-SID）技术与常规微加工工艺相结合,制备微型金属无源螺旋电感的设计方法和工艺流程,并对其电学性能进行初步高频测试。首先在SOI（ Silicon-on-Insulator ）基片上通过光刻、溅射以及各项同性刻蚀等常规工艺制得悬浮的金属悬臂梁,再利用FIB刻蚀原理进行应力引入,通过控制注入离子剂量、FIB应力引入的次数、FIB扫描的间距等试验参数制得不同尺寸结构的三维螺旋金属无源电感。最后,采用安捷伦网络分析仪与微波探针台,使用GSG结构及相应的去嵌方法,对微型金属螺线管电感进行了高频测试。得出了三维螺旋微纳电感的电感值、品质因子、电压驻波比、回波损耗随频率变化关系。     

纳米二氧化钛制备技术进展及表征

对纳米二氧化钛的各种制备方法,包括固相法、气相法和液相法中的胶溶法、溶胶-凝胶法(S-G)、均匀沉淀法、微乳液反应法等方法的研究进展和目前国内发展现状,以及纳米粉体的干燥技术、测试方法进行了综述,对今后纳米二氧化钛的研究方向提出了一些建议.     

三维CAD技术在真空产品设计中的应用

近年来,CAD三维参数化技术得到了广泛的发展,应用领域日益广泛和深入。真空行业引入CAD三维参数化设计,为真空设计带来很大的优势,本文介绍了CAD技术在真空产品设计中的应用。     

数字立体电影放映技术的新进展

数字3D立体电影已成为世界电影行业的热点话题,本文对国际上数字3D电影的新技术进行了介绍,重点对REAL-D3DZ屏及XL技术和数字双机3D放映技术进行分析。同时还对有关数字3D立体放映的技术发展进行了展望。     

三维微观组织模拟及其表征分析技术的研究进展

多晶材料的微观组织结构在一定程度上决定了其宏观力学性能,微观组织的三维仿真及其表征对于预测和研究材料内部真实组织结构及其演化规律具有重要的意义。本文对目前常用的三维模拟方法与表征技术在材料科学领域的应用进行了总结,叙述了目前常用的几种三维模拟方法及表征技术的基本原理,并对其最新研究进展、研究热点以及难点进行了分析,提出了未来在材料科学领域中的研究内容与方向。     

三维成像技术在产科检查中的应用研究

超声波检测技术是现代发展起来的一种非常实用的辅助检测方法。超声造影、介入超声以及三维和四维超声是目前的热门检查方法。三维成像技术对临床医生有很大帮助,可以满足孕妇的视觉需求。基于近年来发表的文献检索,总结了其在产科的应用,讨论了其与传统二维超声检查的比较,并总结了其在相关医学领域的应用。     

矿山地质勘查中三维GIS技术的应用研究

GIS又被称为地理信息系统，因其卓越的空间分析能力和空间建模属性，在矿山地质勘查中发挥着重要作用。笔者基于GIS内涵、基本功能及生成方法分析，对三维GIS数据模型在地质矿山中应用进行了初步的探讨与研究。GIS技术的引人为矿山地质的勘察工作提供了便利的条件、提高了勘察的精度，降低了工作难度及工作量，是一种值得大力推广的地质勘察方法。     

基于摄影图像的三维信息提取技术研究

通过摄影成像的坐标系统与三维坐标计算方法的研究，应用“特征点选取，多角摄影，对应点匹配”图象测试模型特征点标记的匹配法，给出了在桨叶型值点精度测试中的试验结果，并对桨叶应力试验图像测试的精度与灵敏度作了分析。     

面向三维CAD/CAM技术的机械制图教学研究

分析了三维CAD／CAM技术的发展引起的设计和制造领域的变革及其对机械制图课程的影响，介绍了面向三维CAD／CAM技术的机制图教室研究及实践，根据高素质人才培养的需要，强调优化课程体系，教学内容、教学方法，加强空间思维能力，形体构形能力，创新能力，工程意识的培养。     

三维地震勘探技术在王庄煤矿＋540水平的应用

三维地震勘探技术发展飞速,应用范围也越来越广。煤矿集约高效安全生产迫切需要在采前查明采区煤层赋存情况及地质构造的总体发育规律,为矿井采区、巷道以及回采工作面的合理布置提供科学依据,同时小构造的存在严重影响着煤矿回采工作面的综合回采效率。开展煤矿采区三维地震勘探,已成为煤矿集约高效安全生产广泛应用的趋势。     

聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

聚焦离子束（FIB）技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它突破了只能对表层成像和分析的局限，可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析，也可以对样品材料进行切割研磨和沉积特定材料，用它可以获得以前无法得到的样品信息。从而为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具。     

一种FIB刻蚀结合KOH腐蚀的制造纳米梁的新方法

常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层。本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法。在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模。根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KOH各向异性腐蚀,硅梁两侧壁与硅片表面垂直,并自停止为(111)面。自停止面自校正地沿112晶向自硅梁中部向两端扩展,直至硅梁成型。经过冷冻干燥,最终在(110)SOI硅片上制得了宽度为112nm的单晶硅纳米梁。自校正的腐蚀方式提升了工艺稳定性,并且由于结合利用了湿法腐蚀和FIB技术,此工艺方法具有无晶格损伤层、工艺重复性好、加工精度高等优点。     

FIB／SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用

简要回顾了聚焦离子束／扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加下、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以一些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的一些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,一些新技术如新型离子源Plasma、He^＋／Ne^＋离子等与现有Ga^＋聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。     

基于单幅扫描电镜图像的三维重建技术

本文提出了一种对黑硅表面进行三维重建的方法．通过对扫描电子显微镜的成像原理进行建模,该方法可以只使用单幅从黑硅表面正上方垂直向下拍摄的扫描电子显微镜图像获得黑硅表面的三维信息．该方法简单易行．本文对这一方法进行了重建测试．测试结果表明该方法能够获得比较理想的重建效果．     

中国放射性同位素技术与应用进展

介绍了中国放射性同位素与应用的发端,论述了放射性同位素及其制品的研发、生产、应用进展以及未来的发展前景.     

水电工程地质信息三维可视化与分析

传统工程地质资料的描述和解释直观性差,往往不能充分揭示地质构造空间变化的规律,所以越来越难以满足设计人员进行空间地质分析的要求,文章利用GIS和可视化技术,提出了水电工程地质信息数字化与三维可视化方法,实现了地质信息的可视化分析,工程应用表明该方法可为直观描述复杂地质构造的空间展布及其相互关系,以及进行工程地质交互设计提供有效的途径。     

石墨烯常用制备和表征方法研究状态分析

对目前石墨烯制备常用的几种方法进行了简要介绍,并评价了各种方法的特点和存在的问题。文章还列举了石墨烯结构和性能表征所用的主要方法,其中Raman光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、傅里叶红外光谱仪是石墨烯研究所需的主要手段,为石墨烯的应用研究提供了保障。     

金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti制备技术及其研究进展

新型金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti具有高强度、高模量、高刚度、低密度以及高的断裂韧性等优异性能,在航空航天、武器装备及地面军用车辆的装甲防护系统等方面有着广阔的应用前景.迄今为止,针对金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti的制备,人们发展了冷轧、热轧、脉冲电流热压、真空烧结、无真空烧结和爆炸焊接等制备技术.概述了国内外对新型轻质高性能金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti的研究现状,着重阐述了金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti制备技术的工艺原理及其特点,为Ti/Al3Ti的发展和应用提供基础.最后从不同研究方向展望了金属间化合物基层状复合材料Ti/Al3Ti未来的主要研究趋势.