智能型纳米级抛光机的运动分析

分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理 ,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等 ,且工件表面各点运动轨迹不重复 ;提出了“低速起动—无级提速—恒速加工—低速修整—低速停止”的加工运动模式 ,采用光栅测量和微机控制技术 ,将抛光盘总转数的精度控制在± 0 .5°以内 ,保证加工余量去除误差在 1nm以内 ,结合合理的加工工艺 ,获得晶片极高的平面度和无损伤超平滑表面     

超精密双面抛光机结构的优化设计

针对传统双面抛光机存在的问题,从实现超精密抛光的设备条件出发,对机床传动系统、主轴支撑结构、上抛光盘加载系统、抛光盘修整、床身等进行优化改进设计.提高了超精密双面抛光机床的精度和系统性能,为晶片获得纳米级加工精度的超光滑加工表面创造了有利条件.     

纳米级超精密平面抛光机工件微量去除的控制方法

研制了一种采用专家数据库智能控制系统的纳米级超精密平面抛光机，对几种功能陶瓷进行了平面抛光实验，并分析了修整环型抛光机抛光过程中工件材料的去除函数，即材料总去除量与抛光盘转数(抛光路径长度)之间的关系。     

智能型纳米级抛光机的控制系统

介绍了智能型纳米级抛光机的智能控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了智能控制系统的组成。提出并建立了基于专家控制系统的解决方案。采用Windows CE软件平台，图形化界面功能指示。以及采用高可靠性的实时操作系统、超级数模混合RISC嵌入式处理器、高精度光栅传感器、无级调速、无刷直流电动机驱动等技术，实现对抛光机的智能控制。     

超精密纳米胶体射流抛光试验研究

综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法.利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光.试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm.     

基于DSP的超精密抛光机模糊控制系统设计

介绍了超精密抛光机的工作原理及其控制要求，通过控制规则可调整的模糊控制技术解决控制系统非线性与保证控制精度的方法，并应用DSP实现控制系统。     

超精密双面抛光机控制系统的研究

介绍了超精密双面抛光机的控制系统,对其实现方法进行了研究,分析了控制系统的组成,提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案.采用Windows软件平台,图形化界面功能指示、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统,应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工.     

精密和超精密加工技术

1.精密和超精密加工的概念和形成 精密和超精密加工是在70年代提出的,在美国、日本和英国等国得到了重视和急速发展。精密和超精密加工从加工精度的角度反映了加工技术的发展,通常,将加工技术分为一般加工、精密加工和超精密加工三个阶段;有些国家的学者将它分为一般加工、高精度加工、精密加工和超精密加工四个阶段。对当前来说,精加工是指加工精度为1～0.1μm、表面粗糙度为R_a0.1～0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度小于R_a0.025μm的加工技术。这一定量数据是相对的,将随着加工技术的不断发展而改变,即过去的精密加工对今天来     

超精密砷化镓晶片抛光机的研制

化学机械抛光(CMP)技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。通过了解化学机械抛光(CMP)技术原理,分析出影响晶片抛光质量的主要因素基础上开发了超精密砷化镓晶片抛光机。重点介绍了该抛光机结构组成,及其研制的关键技术和创新点。     

超精密加工向毫微米级精度发展

超精密加工是精加工的重要手段，当前正在向毫微米级（即纳米级，nm）精度迈进。英国将毫微米技术给定100～0．1nm，说明超精密加工正在延伸。超精密加工技术是标志一个先进工业国家机械加工水平的技术。我国机械工业“九五”规划中，已将其列为关键技术之一，1995年起又建立精密和超精密加工技术国家重点实验室，挂靠在航空工业总公司303所。一、超精密机床稳步发展超精密加工最关键的硬件是超精密机床，而今其技术已成熟，在美国、日本、英国等均已商品化。即使在我国，也相继研制成功不少超精密机床，如CJT—1型超精密镗床，其主轴精度…     

售液机的微机控制系统的设计

针对LS2000A型售液机的基本要求和工作条件,考虑了售液机泵、阀开启的控制、流量传感器和温度补偿器的信号及其转换,设计了以单片机为控制中心的控制系统,并编写了系统软件。     

数控铣床进给传动系统的智能化设计

数控铣床进给传动系统智能设计(NCFID)是计算机辅助设计和专家系统的综合应用,通过收集目前实际设计过程中的真实数据,建立相应的专家系统,并通过计算机编程运算,自动完成传动系统的设计,能有效提高设计效率的同时保证了设计质量。     

密封件机器视觉检测系统开发

针对密封圈人工检测的不足,提出一种基于机器视觉的密封件检测系统进行检测,经过验证,能满足检测速度与精度的要求。     

数控精密冷辗环机伺服进给系统的刚度分析

介绍了D56G90型数控精密冷辗环机伺服进给系统的结构和工作原理,分析了影响冷辗环机伺服进给系统刚度的因素,推导出其相应的刚度计算式,得到了冷辗环机伺服进给系统综合刚度的解析表达式,对提高冷辗工件精度和控制系统稳定性具有指导意义。     

一种新型智能打结设备的运动控制方法研究

在分析一种新型智能打结设备机电系统的运动原理基础上,针对缝制图样数据的2种设计方案,研究并提出了满足该类设备控制需要的2种运动控制方法,并通过理论分析和实际测试对这2种方法的性能进行了评价.     

主变风冷系统智能控制装置的设计与实现

介绍PLC控制的主变风冷系统智能控制装置的设计原理及实现方法。该装置实现对主变风冷系统工作状态和故障情况实现本地和远距离在线实时监控。根据变压器负荷大小、油温高低进行最优化判断,自动投入或退出冷却器的运行,节能降耗,提高寿命。本装置具有完善的保护、监控、显示及通信功能,适用于变电站、发电厂作为主变冷却设备的控制系统。     

铣刨机智能风扇的研究与设计

主要针对铣刨机电液冷却系统的智能风扇控制系统进行研究与设计,介绍了电液控制原理和设计思路,并通过MABLAB/Simulink仿真和实际测试,验证了设计的可行性和可靠性.     

D51KY-160E立式数控辗环机控制系统设计

基于D51Y-160E型液压手动辗环机,设计了D51KY-160E立式数控辗环机,主要介绍了立式数控辗环机控制系统硬、软件构成,重点分析PLC的I/O口分配及程序编写。根据大批量产品试验表明,该设备自动控制系统满足了生产需要,提高了产品加工精度和加工效率。