如何提高超纯气体输送系统的可靠性

国际半导体技术的迅猛发展，对超纯气体的要求越来越高，超纯气体输送系统是超纯气体的污染源。本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染。     

如何提高超纯气体输送系统的可靠性

国际半导体技术的迅猛发展，对超纯气体的要求越来越高，超纯气体输送系统是超纯气体的污染源，本文介绍如何减少超纯气体输送系统对超纯气体的污染。     

气体净化器防止工艺气体污染

即使供应商提供了最高等级的超高纯度工艺气体，fab内气体输送管道以及储存罐阀门所产生的杂质仍然会在气体进入反应腔前造成反应气体污染。而气体输送管线上的气体净化器可以解决这个问题。     

风机水泵压缩机变频调速节能技术讲座（六） 第二讲 水泵变频调速节能技术（1）

1概论风机与水泵是用于输送流体（气体和液体）的机械设备。风机与水泵的作用是把原动机的机械能或其它能源的能量传递给流体,以实现流体的输送。即流体获得机械能后,除用于克服输送过程中的通流阻力外,还可以实现从低压区输送到高压区,或从低位区输送到高位区。通常用来输送气体的机械设备称为风机（压缩机）,而输送液体的机械设备则称为泵...     

化合物半导体芯片工艺线的特种气体供应系统探讨

随着半导体芯片产业对特种气体需求的不断增加,对特种气体安全性和气体纯度的更高要求,对特种气体的不同性质进行了分类和讨论,对化合物半导体芯片工艺线的特种气体系统进行了阐述;并对系统的重要组成单元：特种气体柜/气瓶架、特种气体分配箱/分配盘、特种气体输送管道、尾气处理器和特种气体监控系统的功能和用途进行了探讨。     

洁净室内高纯气体管路系统的洁净技术

提出了超高纯气体输配管路系统的设计目标和该系统安装应达到的技术标准，最终应达到或满足输送气体的中的杂质含量低于ppb级的水平。     

利用车载DOAS技术探测污染气体区域分布和输送

采用安装在汽车上的被动DOAS系统对所测城区和污染源进行连续测量。通过DOAS拟合方法处理采集的太阳天顶散射光谱,获得测量点上的污染气体柱密度。通过对重庆城区及重庆某电厂区域的观测实验,获得了重庆市区及所测电厂的SO₂、NO₂的分布信息和输送情况。在西南、东南风场影响下,所测电厂区域向重庆主城区的SO₂平均输送通量分别为:0.37 kg/s、0.36 kg/s,NO₂平均输送通量分别为:0.29 kg/s、0.27 kg/s。实验结果表明车载DOAS的光学遥测方法为区域污染气体分布和输送快速测量提供一种有效的手段。     

气体绝缘输电线路技术及其应用

本文研究的气体绝缘输电线路是像气体绝缘金属封闭组合电器是封闭母线的气体绝缘大容量输电设备,电气本身的特性就是与架空线路相似而且还有空间占地少的特点。介绍气体绝缘输电线路的厂家以及国际的规定的标准和基本的结构、安装的方式,同时分析气体绝缘金属封闭组合电器输送的容量大小、损耗的程度、以及对环境的影响,和产品和可靠性和安全性的特点,本文还介绍了气体绝缘输电线路在国外的典型实例,还有在国内的参考标准。     

电子气体系统技术应用现状和发展趋势

论述了电子气体输送系统的各种技术现状和特点,并就高纯度、大流量、严格的安全措施和大力降低建设成本四个方面预测了其发展趋势。     

高纯气体输送系统的设计施工及管理

高纯气体的输送系统应该包括制造厂的充灌装置,贮存容器(钢瓶或贮槽),运输槽车,直到使用单位贮存设备、传输管道系统直到炉前管路,亦即凡与高纯气体相接触的一切设备、管路、仪表、阀门等。因为高纯气体