YZ-1型硅压阻型集成压力传感器

YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．10～50℃或-20～40℃，以（100）硅片为基础村料．背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成弹性膜。YZ-1型硅压阻型集成压力传感器采用方形膜及有限力学优化设计．力敏电阻布置合理．充分利用应力效应，     

400MPa压阻式压力传感器

采用高强度合金膜片作为初始敏感元件来承受被测压力，再利用硅油将压力传递到压阻敏感元件上，经硅油传递后的压力要比被测压力小很多，从而可用低量程的压阻元件制成超高压力传感器。基于此原理，本文采用量程为２ＭＰａ的压阻元件，研制成了４００ＭＰａ量程的超高压力传感器。     

压阻式压力传感器性能的研究

微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的器件之一,它结构简单、用途广泛。本文介绍了基于压阻效应及惠斯顿电桥的压阻式压力传感器。介绍了膜的面积、厚度、电阻形状和位置等参数对压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的影响。     

压阻式绝对压力传感器的研制

<正> 压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应,在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺,在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路,最后通过静电封接技术形成真空腔制成。     

高温压阻式压力传感器的制作

在工业和实验室的许多应用中，需要在高温环境状态下测量压力，因而迫切要求开发研制出可供实用的压力传感器．在很多使用场合，对传感器还有体积小的要求．本文介绍一种用SOS(蓝宝石上外延硅)工艺制成的压阻式压力传感器，可在高达425℃的温度状态下使用而不需要冷却，这种传感器可对高达200bar(巴)的压力作静态和动态测量，满量程输出信号约为500mV(半桥)。     

陶瓷压阻式压力传感器的研制

介绍了一种采用陶瓷基座、陶瓷膜片制备的压力传感器。它以陶瓷膜片为受载弹性体,利用厚膜电阻的压阻效应,以厚膜工艺技术制得性能优良,价格低廉的陶瓷压阻式压力传感器。使压力传感器的应用范围进一步拓宽。     

陶瓷压阻式机油压力传感器研制

针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器.利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试,实验结果显示:其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925％F.S,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2％F.S的要求,并通过了2～3倍量程的过载、爆破压力测试,性能稳定可靠.加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可广泛应用于机油压力及其他相关场合的压力检测中.     

微型硅压阻式压力传感器研制

结合多晶硅材料的压力敏感特性,通过在硅膜片上沉淀多晶硅压敏电阻及精密的微型化封装工艺,设计了微型硅压阻式土压力和孔隙水压力传感器.传感器通过将硅膜片在压力下的电阻值变化转换为电信号输出,通过标定实验得出:传感器的零点输出小,动态频响高,线性拟合度高,且适用于监测精度要求高的实际工程及受尺寸限制的室内模型试验.     

压阻式金刚石压力传感器的优化设计

介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法。采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况。对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度，电桥的形式，电阻条在膜片上的分布以及电阻条的有效长度和形状等进行了讨论。利用模拟程序确定了力敏电阻条的最优有效长度，分析了敏感膜片厚度，方块电阻等因素对电阻条有效长度和输出响应的影响。     

压阻式压力传感器零点输出研究

使用有限元方法 ,分析了压力传感器力敏电阻条工作时的自身发热对传感器零点输出的影响 ,结果表明 :由于电阻工作时的发热引起传感器温度分布的不均匀 ,即便组成压力传感器电桥的力敏电阻条参数完全匹配 ,传感器也可能存在零点输出。     

压阻式压力传感器灵敏度特性分析

对圆形膜片，正方形膜片及矩坟力传感器的灵敏度进行了详细剖析，计算并列出大量数据，指出影响压力传感器灵敏度的因素及提高器件灵敏度的有效途径，给出部分实验数据与理论分析符合较好，本分析对开发设计新型高灵敏度的压力传感器有一定指导意义。     

压阻式微压力传感器结构参数设计

在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器.在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值.仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值.     

压阻式压力传感器的动态特性

综合分析了敏感元件构形与尺寸及传感器的封装结构对动态压力测量的影响。给出了几种ＣＹＧ压阻式压力传感器在动态压力测量时的频响特性的理论计算值与实验值。     

压阻式智能压力传感器的研究

文章着重讨论了传感器的非线性与温度变化产生的误差的修正问题。采用二元线性插值法,误差的95％得到修正。在10～60℃环境下,可以保持传感器的测量精度基本不变。因此,该压阻式智能压力传感器具有重要的实用意义。     

压阻式压力传感器输出特性的补偿

在某型无人机高度传感器性能检测设备中,为解决压力的测量问题,设计了一种用于压阻式压力传感器(PRT)的信号调理电路,实现了对PRT传感器的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和满量程输出非线性等的高准确度校准和补偿。电路摒弃了以往传统的误差补偿形式,采用了一款新型信号调理芯片MAX1457,提出了软件补偿的方法,建立了误差校准补偿参数表,经过校准补偿传感器输出误差控制在了0.110%～0.158%。     

压阻式高压力传感器设计与研制

<正> 硅单晶的压阻效应及有关的工艺技术应用于压力传感器的制造,使压阻式压力传感器以其精度高、动态特性好、灵敏度高、可靠性好、尺寸小、价格低等一系列优点、逐步占据了中、低量程压力测量传感器市场的支配地位。然而,由于设计与制作上的某些原因,高压和超高压领域仍然是应变式和压电式传感器的天下。本     

压阻式压力传感器伏频特性转换研究

作者利用新型半导体器件MPNIM结构二端、三端变容器(已获专利)研制成功一种新型伏频变换器.将这种伏频变换器与压阻式压力传感器直接相联,可将传感器输出的模拟电压转换为频率信号,与计算机接口时无需高精度多位A/D变换器,可省去高增益、低漂移、高精度的测量放大器.与一般伏频变换器相比,它的灵敏度可高达400kHz/V;稳定性为±40Hz;重复性为土40Hz;分辩率可达0.1mV.     

压阻式金刚石压力传感器的优化设计

介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法.采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况.对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度,电桥的形式,电阻条在膜片上的分布以及电阻条的有效长度和形状等进行了讨论.利用模拟程序确定了力敏电阻条的最优有效长度,分析了敏感膜片厚度,方块电阻等因素对电阻条有效长度和输出响应的影响.     

硅压阻式压力传感器的温度补偿

分析了硅压阻式压力传感器的温度误差来源，给出了通过长时间实验的温度与传感器输出电阻的数据，提出了对此类传感器温度误差的测量和修正方法，从而保证此类传感器在大温度范围内得到高精度使用。