溶胶－凝胶法制备CrO_x／SnO_2多层薄膜气体传感器

通过溶胶－凝胶浸渍涂层方法合成了ＣｒＯ＿ｘ／ＳｎＯ＿２多层薄膜，同时添加Ｎｉ，ｐｄ等催化剂，添加量为１．０％；薄膜透明，厚度约为０．４～０．６μｍ。这种新型的薄膜传感器对低浓度还原性气体、可燃性气体具有较高的灵敏度，它具有气体传感器所必须的良好的稳定性，能用于检测环境可燃性气体。     

烧结型SnO_2可燃气体敏感元件研究

采用化学沉淀法与浸渍法结合制备的Ａｇ－ＳｎＯ＿２粉料，金属银无规则地分布于ＳｎＯ＿２的表面，当Ａｇ的掺杂量为２ｗｔ％左右、工作温度在２６０℃左右时，可获得气敏性能良好的可燃气体敏感元件。     

用PECVD制备的SnO_2薄膜气敏特性研究

ＳｎＯ２薄膜制备及其应用日益受到人们的重视。本文阐述了用低温等离子体化学气相沉积法制备ＳｎＯ２薄膜的工艺，并研究了所制得的纯净及掺杂Ａｇ，Ｐｄ的ＳｎＯ２薄膜的气敏特性。此法制得的元件对还原性气体，尤其是低浓度Ｈ２Ｓ，Ｃ２Ｈ５ＯＨ具有很高的灵敏度及快速的响应．     

SnO_2－SiO_2双层薄膜氢敏元件的特性研究

采用溶液－凝胶浸渍涂布工艺在Ａｌ＿２Ｏ＿３陶瓷管上制备了掺杂ＳｎＯ＿２气敏薄膜；利用高温热解法在ＳｎＯ＿２薄膜表面覆盖ＳｉＯ＿２气体分离膜后制得双层薄膜气敏元件。分别测试并比较单层和双层薄膜元件的气敏特性，结果表明：单层薄膜元件对可燃性气体无选择性、响应和恢复时间短；而双层薄膜元件对氢气表现出极高的灵敏度和优越的选择性，其响应和恢复时间都比单层薄膜元件有所延长，结合实验结果，从理论上阐述了双层薄膜元件对氢气的敏感机理。     

平面薄膜型气敏传感器

平面薄膜型气敏传感器刘文利，李建明，吕红浪，裘南畹（山东工业大学济南２５００１４）关键词薄膜；氧化锡；酒敏元件中图分类号ＴＰ２１２．２１介绍用粉末浅射研制的ＳｎＯ２／ＧｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、掺杂量、温度等的关系．发现其最佳厚度在１０－１～２×１...     

淀积和掺杂方法对氧化锡薄膜气体灵敏度的影响

采用蒸发法、反应离子溅射法和等离子增强淀积法３种方法，在ＳｉＯ＿２－Ｓｉ衬底上淀积一层ＳｎＯ＿２薄膜，在这层薄膜内用反应离子溅射或蒸发法掺人微量Ａｌ．比较这些掺杂和未掺杂样品对氢气响应灵敏度的差别，研究了响应灵敏度差别与薄膜的微观结构和表面原子价态之间的关系．     

氧化物掺杂对氧化锡酒敏性能的影响

研究了碱土金属、稀土金属及过渡金属氧化物对氧化锡酒敏灵敏度和选择性的影响，及不同比例的氧化锌、氧化锡混合物对酒精灵敏度和选择性的影响．实验结果表明，氧化锌掺杂氧化锡对酒精具有较好的气体灵敏度和选择性，其中２０％ＺｎＯ２－ＳｎＯ２材料酒敏灵敏度高，选择性好，响应恢复快，且长期稳定性较好，有可能应用于交通司机酗酒检测．     

粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件的性能

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(ACn)/(1+BCm)(其中A,B＞0,n＞m＞0),同时发现湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大;为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体,同时注意稳定测试电压,如用相对灵敏度进行测量,则可以减小湿度对测量结果(测量值)的干扰.     

Au-SnO2高温CO气敏元件的研制

在 Ｓｎ Ｏ２ 基体材料中掺杂 Ｔｈ Ｏ２ 及 Ａｕ, Ｐｄ 等贵金属催化剂,获得了２７０ ℃高温区域对 Ｃ Ｏ 具有高灵敏度的气敏元件．通过活性碳过滤技术,改善了该元件的选择性．测试结果表明,该元件具有良好的稳定性,是一种实用化的 Ｃ Ｏ气敏元件．     

气体传感器在消防网络中的应用

采用气体敏感元件QM—N5与单片机AT89C2051构成有害气体监测系统，介绍了系统设计方案以及传感器电路组成与工作原理，设计了系统软件。测试结果表明，该系统对烟雾、甲烷、乙烷等有害气体具有较高的灵敏度，可用作消防网络的监测与报警。     

制备方法对Ag－SnO_2材料结构与气敏性能的影响

采用化学浸渍法和光照分解法合成了银掺杂的ＳｎＯ２气敏材料，用Ｘ射线衍射法分析了材料的物相组成，用Ｘ光电子能谱研究了材料的价键结构，用静态配气法测试了材料的气敏性能．结果表明：浸渍法Ａｇ－ＳｎＯ２的气敏性能优于光照分解样品，光照波长为４１５ｎｍ时，样品的气敏性能优于其它波长照射的样品。经ＸＲＤ谱图分析，浸渍法Ａｇ－ＳｎＯ２样品没有Ａｇ物相分离，而光照法样品出现Ａｇ２Ｏ２和ＡｇＣｌ物相。浸渍法样品的ＸＰＳ谱图表明，Ａｇ在ＳｎＯ２的表面以Ａｇ和Ａｇ２Ｏ组成．     

金属－二氧化锡高选择CH_4气敏元件的研究

阐述了高选择ＣＨ４气敏元件的制造工艺，发现Ａｕ，Ｐｔ，Ｐｄ等金属超细粉的掺杂，可提高元件的抗干扰能力，对Ｃ２Ｈ５ＯＨ，Ｈ２，ＣＯ等干扰气体灵敏度＜２，而对ＣＨ４的灵敏度＞８．经２年多稳定性考核，＼Ｒ０≤±１０％，对金属超细粉在ＳｎＯ２晶粒表面状态进行了分析和探讨．     

用于环境监测的气敏元件开发研究

以纳米级 Sn O2 为气敏材料制作了气敏元件 ,以无机试剂为前驱原料加入少量适当的溶胶形成助剂 ,采用溶胶 -凝胶法制备了纳米级 Sn O2 .通过研究不同掺杂量和不同加热条件下这类气敏元件对几种还原性气体的灵敏度和选择性 ,为开发用于环境监测的新型高灵敏度和高选择性的气敏元件提供技术数据 .     

掺吲哚CuPc薄膜对NO_2气敏的影响

吲哚是一种化学稳定剂，为探讨吲哚掺入ＣｕＰｃ薄膜对ＮＯ＿２气敏特性的影响，用共沉积的方法在ＣｕＰｃ薄膜中掺入吲哚，从制备的ＣｕＰｃ夹层光电池测试中，探讨了吲哚对ＣｕＰｃ薄膜的光电导的影响；由Ｘ－线衍射分析了吲哚对ＣｕＰｃ薄膜的结构的影响，测试了掺杂对ＮＯ＿２敏感特性的影响，结果表明，掺入吲哚可抑制ＣｕＰｃ的光电导，提高其气敏的稳定性；同时使得ＣｕＰｃ分子在基片上的排列趋向单一有序，对改善ＣｕＰｃ薄膜气敏的灵敏度和时间特性具有积极意义。