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微电子机械系统技术及其应用 总被引:3,自引:0,他引:3
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。 相似文献
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下世纪初微电子机械系统的发展 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了微电子机械系统的四种基本制作技术,即本体微机械加工,表面微机械加工、铸模工艺和晶片键合工艺。重点讨论了实现微系统突破的集成工艺技术。最后简单概述了传感器,执行器和微电子机械系统的发展现状。 相似文献
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用于光通信的微电子机械系统技术进展 总被引:3,自引:0,他引:3
以光开关为主介绍了几种典型的用于光通信的微电子机械系统光器件的研究现状,并介绍了微电子机械系统技术进展。基于微电子机械系统技术,可以获得多种光通信器件。与传统器件相比,微电子机械系统光器件具有体积小、响应速度快、集成度高、成本低等优点,将在光通信领域发挥重要作用。 相似文献
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介绍了射频微电子机械系统(RF MEMS)的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。 相似文献
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值信息产业部第 34研究所建所三十周年大喜之日 ,特撰此文表示衷心祝贺 !光纤通信具有宽频带、大容量、高速率和高品质的传输特性 ,在构建现代化通信网中有重大作用。建设富强民主文明的社会主义现代化国家 ,没有现代化的包括光纤通信技术在内的通信网是不可想像的。虽然 ,2 1世纪无线移动通信的发展速度很快 ,业务增长率很高 ,但是 ,没有庞大的、四通八达的光纤通信网的支撑 ,也正如俗话说的 ,可能“单丝不成绢”。“以信息化带动工业化”,是党和国家对新世纪的重大战略决策 ,光纤通信技术及其产业的发展与推广应用 ,不但对光纤通信产业本… 相似文献
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Recent research on long-wavelength lightwave communication utilizing the wavelength region between 1.3 and 1.6 µm is reviewed with an eye toward future system development. The attraction of the long-wavelength region is the availability of the ultimately low-loss and wide-band features of the silica fiber, where minimum loss is 0.27 dB/km at a wavelength of 1.3 µm and 0.16 dB/km at 1.55 µm. The single-mode fiber has found its first significant applications in long-wavelength systems. The specific characteristics of lightwave components are discussed with focus on physical fundamentals. The practical performance of fibers and lightwave devices is surveyed. The dynamic properties of long-wavelength laser diodes are discussed in relation to fiber characteristics. The noise characteristics of long-wavelength detectors are considered for the purpose of specifying the repeater spacing. Some system studies are reviewed, for example, 1.3-µm-wavelength lightwave systems, which have demonstrated bandwidth-distance products of about 40 GHz ċ km. Various approaches to extend the capacity of long-wavelength lightwave transmission are given. In the future, the 1.5-µm wavelength system could operate at the lowest loss wavelength region extending from 1.5 to 1.65 µm. Much higher performance, for example, bandwidth-distance products of 185 GHz ċ km, achieved by further continuation of research and development on lightwave sources as well as fibers. Because of the author's familiarity with work in Japan, that work is emphasized and most frequently cited. 相似文献
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随着波分复用(WDM)网络的发展,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力,而微电机械系统(MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构(如光交叉连接器件、光插/分多路传输器)和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件(如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件)。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。 相似文献
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A fiber connectorized MEMS variable optical attenuator 总被引:3,自引:0,他引:3
Barber B. Giles C.R. Askyuk V. Ruel R. Stulz L. Bishop D. 《Photonics Technology Letters, IEEE》1998,10(9):1262-1264
A voltage-controlled moving-mirror microelectro-mechanical systems variable optical attenuator is described that has less than 1-dB fiber-to-fiber insertion loss at 1550-nm wavelength and greater than 50-dB dynamic range. The device was configured with a simple feedback circuit to operate as an optical power regulator capable of stabilizing the output power to within 0.26 dB for a 12-dB input power excursion 相似文献
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本文用表格、图形和大量数据概述了美、日、西欧各国光纤通信的发展现状和趋势,并对建立我国的光纤通信产业提出了建议. 相似文献
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近年来,信息科技在我国发展较快,国民对通信网络也有着越来越高的要求.为了保证生产生活等各个方面对通信的要求,我们仍需要不断创新发展通信技术,有效解决光纤通信网络优化等问题. 相似文献