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相似文献
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逆扩散型氦质谱检漏仪可以直接用吸枪对冰箱检漏。这种方法检测灵敏度高、操作 简便、无需液氮、无需辅助真空设备、无需排风设备、无毒、无害且能达到A级冰箱检 测标准。  相似文献   

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氦质谱检漏仪的误差分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文通过对氦质谱检漏仪产生误差的各种因素进行综合分析,运用误差理论,最后计算出合成误差.  相似文献   

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张连柱  魏超鑫 《真空》1995,(5):35-37
本文探讨了氦质谱检漏仪的维修问题。介绍了对检漏仪的灵敏度随时间下降时所采取的对策。探讨了氦质谱检漏仪上所用的一些国产扩散泵油。介绍了该系统中真空抽不上,冷规指示不稳以及测试周期不能循环时所采取的对策。  相似文献   

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指出了氦质谱检漏仪在溴化锂制冷行业中应用的重要性.进一步介绍了氦质谱检漏仪的基本原理,结构,以及对溴化锂制冷机组进行氦质谱检漏时的检漏程序、检漏方法和注意事项.  相似文献   

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白国云  黄颖军 《真空》2012,49(5):65-68
针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议.总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项.本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义.  相似文献   

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目前,用户采用单只标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准,由于受检漏仪线性范围的影响限制,不能对其全量程范围进行校准。为了满足对氦质谱检漏仪全量程范围内的现场校准,将一系列不同量级漏率的薄膜渗氦型标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪,得到一组标准漏孔检漏仪示值,通过对标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线进行数学拟合,得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。其校准过程简单,能够提高氦质谱检漏质量。  相似文献   

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氦质谱检漏仪入口压力与显示值的关系研究   总被引:3,自引:3,他引:0  
文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证了该表达式的正确性。与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法。研究结果表明:检漏仪的入口压力与显示值是线性关系;当温度和测试气体的浓度一定时,该线性关系的斜率是检漏仪的本质属性,只与检漏仪自身的参数有关。  相似文献   

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逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大,对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求,设计了 K—65F风冷金属油扩散泵。本文介绍了 K—65F的特殊结构,论述了采用这种结构的理论依据。并运用真空物理中的理论,气体动力学理论和Jaeckel理论,对K—65F泵作了性能分析,说明设计的合理性,证明这种结构的扩散泵能够满足逆流检漏仪的特殊要求。  相似文献   

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氦质谱正压检漏法   总被引:3,自引:1,他引:2  
为了直接获得工作状况下的漏率 ,在模拟工况条件下 ,采用氦质谱检漏仪正压检漏法可满足这样的要求。这种方法具有广泛地推广价值。介绍了此方法的意义、检漏过程及计算公式。  相似文献   

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氦质谱检漏仪背压检漏标准剖析及非标漏率计算程序   总被引:1,自引:2,他引:1  
本文叙述了对密封器件进行氦质谱检漏仪背压检漏的步骤.在此基础上,从真空技术的基本原理出发,分析给出了测量漏率R与等效标准漏率L的关系式,指出无法得到L的解析表达式以及为避免由R求L时出现双值,L不应超过其极大值点,用数值计算和曲线拟合的方法给出了L极大值点的拟合公式;介绍了GB/T 2423.23规定的查表法和诺模图计算法,指出了其表5中的个别数据错误,给出了不同有效容积V下去除压力后到检测漏率之间的停留时间t2对R的衰减因子曲线簇,提出据此灵活确定最大t2的优点;介绍了GJB128A,GJB360A,GJB548A规定的固定法和灵活法,给出了与固定法所规定的R的拒收极限相对应的L和严酷等级,指出固定法不适合需要高气密等级的场合及不应混淆R与L的界线,给出了与灵活法所规定的L的拒收规范值相对应的严酷等级,指出对于不同V值严酷等级从几十到上千,显得很不规范;介绍了R-L关系曲线法,该方法在V、加压压力PE、加压时间t1以及t2不变的情况下,预先给出R-L关系曲线,检漏操作人员可用此曲线由R反查出L;提出由R求L完全可以由计算机采用优选法快速、可靠搜索出来.  相似文献   

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密封器件氦质谱细检漏包括压氦法(即背压法)和预充氦法.对于压氦法,通常靠粗检鉴别是否有大漏孔,但候检时间不可过长,以免可能存在的大漏孔处于分子流状态,不能靠粗检鉴别.本文给出了最长候检时间表达式,以便既避免漏检又做好被检器件表面的净化工作.预充氦法的优点是可检测的最小等效标准漏率比压氦法低好几个量级.但用户复检时,候检时间往往已很长,如果仅靠通常的压氦法复检加粗检则发挥不出预充氦法的优点.本文改进了预充氦法:提出候检时间存在两个特征点,并给出了表达式;还对压氦法复检加粗检赋于新的重要功能,从而可以针对各种情况,用不同方法和判据,判断漏率是否合格.因此,即使候检时间已很长,仍有可能充分发挥预充氦法优点,并在漏率合格时给出被检器件的等效标准漏率.  相似文献   

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分别推导和分析了环境大气氦分压对压氦法的影响,地球干洁大气氦分压对预充氦法和预充氦密封器件压氦法复检的影响.证明对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响.但是如果候检室环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间.对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现极小值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/cm3时,极小值点的气流仍处于分子流状态,不能靠粗检鉴别,所以需压氦法复检加粗检,才能防止漏检.另外,地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的第一特征点变大,从而扩大了需压氦法复检加粗检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检加粗检的结果.  相似文献   

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利用经典的分子流、黏滞流、过渡流流导公式及圆管分子流流导几率的精确数值解,对21世纪数篇文献呈现的漏孔流导随上游压力变化关系曲线进行了分析,并将密封器件的漏孔简化为长圆管,得出了以下结论:从流量角度观察气流是否偏离分子流状态是非常不灵敏的,因此可以认为,如果上游压力不超过1×105Pa,对于等效标准漏率L< 1.4 Pa·cm3/s的漏孔,气流大致处于分子流状态;当任务允许的L最大值Lmax<14 Pa·cm3/s时,不论L的值是大是小,均不必考虑气流是否偏离分子流状态;仅在压氦法的压氦阶段,当Lmax和L均接近1.4 Pa· cm3/s时,从流量角度气流会处于黏滞流状态,导致合格判据偏保守;而在压氦法的其他阶段和预充氦法各阶段,只要L< 1.4 Pa· cm3/s,气流均处于分子流状态.从而证明对于密封器件氦质谱细检漏而言,Lmax取1.4 Pa·cm3/s可以满足气流处于分子流状态的要求,且该值大于粗检的下限.  相似文献   

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随着中国5G商用大幕正式拉开,5G已成为数字经济转型的关键基础设施,并逐渐向社会各领域扩散与渗透。5G产业链非常广泛,包含零部件、主设备、运营商和下游应用。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学,在5G产业链中有着广泛的应用。从5G基站中材料和器件的制备过程、承接网中光通信器件的真空检漏到5G手机、VR/AR设备、无人驾驶汽车中核心零部件的制备等,真空技术都参与其中并广泛应用。  相似文献   

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超临界氦循环泵用于超导磁体的迫流冷却.从普通离心泵的基本理论出发,分析了低比转速超临界氦循环泵的特性,从提高效率的角度比较了多种设计方法.得出最理想的方法是提高泵的转速,同时也证明了超临界氦循环泵采用高速全流泵和高速部分流泵设计的可行性.  相似文献   

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