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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 218 毫秒
1.
深蚀刻二元光学元件制作误差模拟   总被引:2,自引:0,他引:2  
用计算机研究并给出了深蚀刻二元光学元件制作误差对衍射效率影响的规律;将深刻蚀二元光学元件与一般二元光学元件制作误差规律的不同之处进行了分析说明;提出了深刻蚀二元光学元件制作误差规律的经验公式  相似文献   

2.
几种有应用前景的二元光学元件的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用二元光学技术制成二元光学元件,它可以制作 有特殊功能高衍效率的光学元件,本文介绍了这种技术的基本原理,制作工艺和流程以及近年来研究的几种有应用前景的二元光学元件。  相似文献   

3.
利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能.  相似文献   

4.
二元光学元件制作过程中的线宽误差   总被引:4,自引:2,他引:2  
李红军  赵晶丽 《光电子.激光》2000,11(3):279-281,297
基于标量衍射理论,首先5得出线宽增加情况下4阶二元光学元件衍射效率的解析式;并以4阶、8阶二元光学元件为例,进行计算机模拟并系统分析红宽增加和线宽减小两种情况下,线宽误差对二元光学元件衍射效率的影响。指出线宽误差对二元光学元件衍射效率影响较大。模拟计算结果对二元光学元件的制作提供重要的理论指导。  相似文献   

5.
详细介绍了二元光学元件制作的光刻技术和一些新的制作工艺,包括薄膜沉积法、激光束或电子束直接写入法和准分子激光加工法.针对用于CO2激光器模式优化的二元光学反射镜,分析了元件制作误差,包括掩模对准误差、台阶刻蚀深度误差和台阶刻蚀宽度误差对谐振腔振荡模式的影响.  相似文献   

6.
介绍了激光直写技术制作二元光学元件铬版掩模的原理,分析了影响铬版上铬膜氧化程度的因素,研究了铬版上 刻写掩模图案时激光能量与刻写半径之间的关系,总结了利用激光直写方法刻写二元光学元件铬版掩模过程中激光能量的 形成方法。  相似文献   

7.
介绍了二元光学的产生和发展,着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。  相似文献   

8.
二元光学元件制作误差的振幅矢量分析法   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
谈苏庆  周进 《激光技术》1996,20(5):308-312
本文用振幅矢量法分析二元光学元件的制作误差对衍射效率的影响,以四位相台阶光栅为例导出了衍射效率与对位误差、刻蚀深度误差的解析式并进行了讨论。整个处理方法对2n位相台阶的二元光学元件具有普遍意义。  相似文献   

9.
介绍了基于空间光调制器的灰度掩模系统制作环形光栅.将二元光学方法与环形光栅的概念结合起来,为制作可以集成到光电系统的环形光栅以及其他光学元件提供了一条较好的思路.  相似文献   

10.
二元光学     
二元光学是衍射型光学元件新的制作技术。衍射型光学元件是根据光衍射现像的原理,即从波动光学的观点出发,所设计的光学元件。与此相反,现在使用最多的透镜和棱镜等光学元件是按折射定律把光作为光线来处理,即从所谓的几何光学的观点出发所设计的折射型光学元件。目前,几何光学之所以在多种光学领域中仍处最重要的地位,  相似文献   

11.
金纳米粒子有序膜结构的原子力显微研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
通过控制所滴加的金纳米粒子氯仿溶胶的浓度,在高序定向裂解石墨(HOPG)上,可以形成二维乃至三维有序的金纳米粒子膜结构,本文主要利用原子力显微镜中的轻敲原子力(TM-AFM)显微模式,采用形貌与相位同时成像技术以及透射电镜技术,对所形成的有序膜结构进行了系统的表征,并着重阐述了相应成像在表征膜结构方面的重要作用。  相似文献   

12.
用于二元光学器件制作的激光直写系统   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG—LDW 04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。放置在SLM的共轭面上的CCD成像调焦装置能够实时地在监控像面质量。控制SLM的输入图形、曝光量(刻蚀深度)及系统的运行方式,LDW系统能够制作不同特性的二元衍射光学元件。给出了典型的(2台阶、4台阶)位相衍射器件制作的实验结果。  相似文献   

13.
硅基硫化锌薄膜的溅射法生长技术   总被引:3,自引:1,他引:2  
利用射频磁控溅法在Si衬底上制备ZnS薄膜,用X射线衍射技术对薄膜的结构相变进行研究,揭示了Si衬底上ZnS薄膜的微观结构和相变特征与溅射功率的关系,为寻找高新发光材料提供依据。  相似文献   

14.
Structure study of electrodeposited ZnO nanowires   总被引:1,自引:0,他引:1  
In this work, we report on the structure study of electrodeposited ZnO nanowires. The samples were mounted as a working electrode and the deposition was performed in a classical three electrodes electrochemical cell. For obtaining ZnO nanowires, the working electrode was a polycarbonate membrane with a random distribution of nanometric pores, gilded one side to ensure electric contact. The morphology and structure characterizations of the different diameters ZnO nanowires were carried out by transmission electron microscopy (TEM) and high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM). The electrons pattern diffraction confirmed the same crystal structure of electrodeposited ZnO nanowires indexed by X-ray diffraction (XRD) on electrodeposited ZnO thin films: hexagonal ZnO phase with cell parameters a=0.32584 nm and c=0.52289 nm. Both TEM investigations and HRTEM images reveal a monocrystalline structure for electrodeposited ZnO nanowires. A roughness of few nanometers on the wire surface was observed. Meanwhile, no preferential growth direction has been obviously detected.  相似文献   

15.
将锌粉和石墨粉以一定比例混合放入家用微波炉中,在微波辐照下燃烧生成了白色松软的ZnO膜,将此薄膜用扫描电子显微镜(SEM)、能量损失谱(EDS)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射光谱(XRD)分析其成分和形貌。结果显示,该ZnO为单晶四针状晶须,晶须直径为20~50nm,分析了它的生长机理并测试其场发射特性,得到该ZnO的开启场强较低为3.88V/μm,相应的电流密度为10μA/cm2,在场强为5.7V/μm时达到最大发射电流密度为0.39mA/cm2。  相似文献   

16.
fs光孤子脉冲传输过程中四阶色散研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
给出了考虑四阶色散的飞秒光孤子传输方程,从脉冲形状和脉冲频谱两个方面数值分析了四阶色散带来的影响,得到四阶色散使脉冲展宽,并使脉冲光谱出现旁瓣的结论,提出了用异常二阶色散和余弦调制进行相位综合补偿的方法,得到了脉冲相位在220ps时间宽度上都能保持平滑,脉冲宽度基本能保持原始宽度的较好补偿结果。  相似文献   

17.
圆形螺旋相位板的平面波夫琅和费衍射特性   总被引:1,自引:1,他引:0  
为了研究圆形螺旋相位板(SPP)对平面波的夫琅和 费衍射特性,基于标量衍射理论给出了圆形SPP对 有限孔径平面波进行夫琅和费衍射时所产生涡旋光束的光强表达式。理论模拟分析了圆 形SPP的拓 扑荷数n、半径R等参数对涡旋光束光强分布的影响,结果表明,当圆形SPP半 径R不变时,随着拓扑荷n的增大,涡旋光束半径逐渐增大,并且光强分布中旁 瓣的比重显著增强;当拓扑荷n不变时,圆形SPP的半径R增 大,产生的涡旋光束半径反而会变小,但涡旋光束的相对形状基本保持不变。基于纯相位空 间光调制器(SLM)实现了圆形SPP对有限孔径平面波的夫琅和费衍射, 并对理论结果进行了实验验证,实验结果与理论分析一致。  相似文献   

18.
用激光干涉形成的亮条纹引发预聚物/液晶混合物相分离,在相分离稳定后,干涉图样被存储在聚合物/液晶复合膜中,被称之为全息聚合物分散液晶(HPDLC)。研究了相关因素对HPDLC膜信息存储的影响,并且光学显微镜观察了膜结构。给出了具有栅式结构膜的衍射特性。实验结果表明,形成的HPDLC膜其存储的栅结构稳定持久,而且其衍射效率可用电或热来调节。  相似文献   

19.
左手微带传输线在毫米波天线阵中的应用   总被引:8,自引:6,他引:2  
提出了一种新的左手微带传输线结构.基于这种结构,构建了左-右手混合式天线阵微带馈线,通过控制该馈线中主、右手传输线的长度,可以在特定长度传输线上获得零相位延迟.将此种传输线作为馈线应用到串联馈电的毫米波微带天线阵中.结果表明,利用此种传输线馈电和传统右手传输线馈电相比,可以避免由传统右手馈线在天线激动点之间引入的相位差,从而克服了固有的天线波束偏移.  相似文献   

20.
采用热注入法制备了Cu2ZnSnS4(CZTS)纳米颗粒,并形成高分散、稳定的"墨水",采用滴注方法形成CZTS前驱体薄膜。利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜(TEM)和紫外-可见光谱(UV-VIS)对CZTS纳米颗粒的晶体结构、表面形貌和带隙进行了表征。Raman数据显示合成的纳米颗粒为纯的CZTS,不存在ZnS和Cu2SnS3等杂相。傅里叶红外光谱(FTIR)和UV-VIS表明合成的CZTS纳米颗粒表面被油胺(OLA)包覆,并且其带隙为1.52 eV。对CZTS前驱体薄膜在硫化氢气氛和固态硒气氛中退火处理,得到铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜。结果表明,经硫化氢处理后薄膜表面平整但CZTS晶粒并没长大,而经过固态硒处理后得到了结晶质量较好的CZTSSe薄膜。  相似文献   

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