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绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125 ℃)下工作。通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处热应力变大,金属引线因过热而出现金属引线断裂或失效,无法满足高温需求。在此基础上研究了一种硅引线技术,使其与压敏电阻处于同一高度层,金属引线平铺在硅引线上端,经退火后形成良好的欧姆接触。实验测试表明,该方案能使压力传感器在300 ℃高温环境下正常工作,金属引线与电阻区连接完好,传感器敏感区应力降低接近50%,且优化后传感器灵敏度符合设计要求。 相似文献
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在分析了不同涂覆层FBG耐高温性能的 基础上,提出了一种具有良好精度和重复性的 FBG高温传感器,并对其封装结 构和温度测量性能进行了试验研究。 根据FBG的状态不同,设计和研究了FBG为自由状态和粘贴状态两种传感器封装结构, 选择适于高温监测的聚酰亚胺FBG进行退火优化并对其封装处理。研究结果表明:不同 封装结构对传感器测温性能具有较大的影响,FBG处于自由状态下的一次线性拟合度为 0.999优于粘贴状态,采用该封装结构的FBG 高温传感器精度达到了±0.5 ℃,适用于高温检测。 相似文献
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高温压电加速度传感器被广泛应用于振动与冲击测试、故障诊断与监测方面。针对传统压电加速度传感器灵敏度温度漂移过大的问题,该文设计了一种高温压电加速度传感器,该加速度传感器采用正负温度系数的压电元件堆叠设计,以抵消温度变化的影响,进而降低温度漂移。5层YCOB压电元件和1层GdCOB压电元件堆叠构成压缩型压电加速度传感器。应用ANSYS对传感器的性能进行仿真优化,并对提出的降低灵敏度温度漂移的方法有效性进行了仿真验证。结果表明,在常温~800℃全温度范围内,该传感器的灵敏度温度漂移小于±3%,其具有高温稳定性好、测量精度高的优点。 相似文献
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用LM92温度传感器补偿的高精度超声波测距仪 总被引:1,自引:0,他引:1
本文利用温度传感器进行温度的测量,通过测量当前的温度对超声波传播速度进行补偿得到一个稳定、精确的超声波测距系统,阐述了设计原理和具体实现的方法。 相似文献
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详细介绍了单线数字温度传感器DSl8820和YEJHDl2864A单色图形点阵液晶显示模块的测量原理、特性以及在温度测量中的硬件和软件设计,具有接口简单、精度高、抗干扰能力强、工作稳定可靠等特点。 相似文献
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阐述了各种温度传感器的分类、测温原理和特点。指出了测温传感器在微机应用系统中使用时的硬软件线性校正方法,同时说明了传感器供电电源的配置原则。 相似文献
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MISiC高温氢气传感器研究 总被引:5,自引:0,他引:5
文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层,制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术。采用NO直接氧化法,改善了器件的界面特性.实验结果显示,采用该方法制作的传感器具有高响应灵敏度和良好的响应重复性。 相似文献
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与传统的带隙基准电路完全使用p-n结达到高次温度补偿不同,提出利用标准CMOS工艺下不同电阻的不同温度系数,实现温度的高次补偿,大大减小了电路的复杂性和功耗.同时,通过增加电源电压耦合电路,提高电源抑制比,并在输出级利用低压差电压DC转换电路,实现电压转换,提供可调的多种参考电压.该电路采用Chartered 0.35 μm CMOS 工艺实现,采用3.3 V电源电压,在-40~100 ℃范围内,达到低于6 ppm/℃的温度系数,在1 kHz和27 ℃下,电源抑制比达到82 dB. 相似文献
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本文简单介绍温度怎样定义以及探讨和用电子设备测量温度的方法.并深入了解温度传感器和应用电路,以及无接触的红外线测量温度的方法. 相似文献