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高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制-溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm^3时溅射速率约为800nm/min,如何继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cosθ分布的前提下,发现当α=3.3时,实验数据和理 相似文献
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高靶材利用率的新型磁控溅射器 总被引:1,自引:0,他引:1
在现代大型薄膜连续生产线中 ,其生产效率主要受以下两因数的影响 :溅射器的沉积速率和靶材的使用周期。本实验研制了一种圆筒形靶材绕溅射器中心轴线匀速旋转 ,并且与溅射器之间用螺丝固定连接的新型磁控溅射器。论述了新型溅射器的结构与组成 ,并给出实验结果与结论。其具有靶材利用率高、使用周期长、换靶时间短等优点。同时在反应溅射时避免在靶面上的形成介质层 ,提高了溅射过程的稳定性。 相似文献
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高靶材利用率的新型磁控溅射器 总被引:1,自引:1,他引:0
在现代大型薄膜连续生产线中,其生产效率主要受以下两因数的影响;溅射器的速率和靶材的使用周期,本实验研制了一种圆筒形靶材绕溅射器中心轴线匀速旋转,并且与溅射器之间用螺丝固定连接的新磁控溅射器。论述了新型溅射器的结构与组成,并给实验结果与结论。其具有靶材利用率高,使用周期长,换靶时间短等优点。同时在反应溅射时避免在靶面上的形成介质层,提高了溅射过程的稳定性。 相似文献
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在大型薄膜连续生产线中,磁控溅射器的溅射速率、使用周期是影响生产效率与成本的重要因素。本提出一种新型的无马达驱动的具有高溅射速率、高靶材利用率、长的靶使用周期、安装与使用简单的磁控溅射器。可广泛应用于各类大、中型连续生产设备中。 相似文献
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在大型薄膜连续生产线中,磁控溅射器的溅射速率、使用周期是影响生产效率与成本的重要因素.本文提出一种新型的无马达驱动的具有高溅射速率、高靶材利用率、长的靶使用周期、安装与使用简单的磁控溅射器.可广泛应用于各类大、中型连续生产设备中. 相似文献
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旋转式圆柱形磁控溅射靶的磁场计算 总被引:4,自引:3,他引:1
类似于矩形平面溅射靶的磁场和旋转式圆柱形的靶筒组成旋转式圆柱形磁控溅射靶。与常规的圆柱形磁控溅射靶相比较,该旋转式靶提高了靶材利用率和膜厚均匀度。本文介绍了旋转式圆柱形靶的结构和磁场计算方法,给出了计算公式、数据及其特性曲线。强度适度和均匀分布的磁场,保证了溅射靶的工作性能,并为靶结构的设计提供了依据。 相似文献
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磁控溅射镀膜设备可以广泛用于镀膜Ti-N膜,从实用观点看,磁控溅射工艺中的溅射速率的溅射原子空间分布是广泛关心的,沉积在试样表面的溅射原子被认为除了与等离子体的参数有关,还与靶-工件的几何分布有关系。本文研究了真空室中Ti-N膜沉积的空间分。在研究中发值得注意的是溅射量与沉积量作为两个不同的概念严格区分。 相似文献
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Standards are the basis for production enterprises to organize production ex-factory inspection trade 《中国标准化(英文版)》2008,25(1):24-25
Standards are the basis for production enterprises to organize production, ex-factory inspection, trade (delivery) and technical exchanges, product certification, quality arbitration and supervision.…… 相似文献
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Zusammenfassung Bei der Gestaltung von Ernteprozessen — beispielsweise des Prozesses Mähdrusch, Körnertransport und -abnahme — als transportverbundene Fließarbeitsverfahren mit mindestens zwei verschiedenen Arbeitsmitteln gibt es einen großen Optimierungsspielraum. Solche Prozesse sind mehrstufige Bedienungsprozesse mit gemischter Anordnung der Bedienungseinrichtungen. Außerdem besitzen sie stark ausgeprägte räumliche Aspekte. Es wird vor allem gezeigt, welche Merkmale solcher Prozesse in Simulationsmodellen abgebildet sein müssen, welche Zielgrößen in Abhängigkeit von welchen Einflußgrößen unter Berücksichtigung welcher Prozeßbedingungen ermittelt werden sollten und wie der Bewertungsprozeß zur Ermittlung der gewünschten Informationen gestaltet werden muß. 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(4)
正Responding to ISO’s appeal for survey for the to-be-developed ISO Strategy Plan for 2016-2020,SAC hosted a special workshop over the needs and comments of various fi elds on June 8 in Beijing.The workshop was attended by ISO President-elect and Ansteel General Manager Zhang Xiaogang,SAC Vice-Administrator Yu Xinli,and 30 experts from 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(5)
正The review group of Asia Pacific Laboratory Accreditation Cooperation(APLAC)carried out a 4-day peer review of the proficiency testing provider(PTP)for China National Accreditation Service for Conformity Assessment(CNAS)from July 28 to 31,2014.CNAS passed the PTP review with excellent performance.Two senior peer reviewers of APLAC made a comprehensive,rigorous and detailed review of CNAS’s PTP accreditation activities,and made the on-spot inspection of the review groups in Shanghai and Shenzhen respectively. 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(4)
正China and Greece Sign the Standardization Cooperation Agreement Witnessed by Chinese Premier Li Keqiang and Greek Prime Minister Antonis Samaras,AQSIQ Minister Zhi Shuping and ELOT Chairman and Executive Director Angelos Tolkas signed the SAC-ELOT Standardization Cooperation Agreement.The Agreement is one of the critical cooperation documents signed during Li Keqiang’s visit in Greece,encouraging China and Greece to 相似文献
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刘智洋 《中国标准化(英文版)》2014,(4):M0002-M0002
正The Chinese Premier Li Keqiang's recent trip to the UK has reinforced the China-UK comprehensive strategic partnership;just as the British Prime Minister David Cameron put it,"the relationship is gaining in strength,depth and understanding"after a bucket of business deals being inked worth more than 30 billion US dollars.From the first agreement signing in 2004 to the new agreement of mutual standards recognition and adoption in 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(4):3-3
正A national directory of standards complexes for strategic emerging sectors was recently developed and released jointly by 12governmental departments,namely,SAC,NDRC,MOST,MIIT,MEP,MOA,AQSIQ,State Forest Administration,State Administration of Science and Technology for National Defense,State Oceanic Administration and National Railway Administration. 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(4)
正Four new national standards on air pollutant emission control offi cially issued by the Ministry of Environment Protection(MEP)together with AQSIQ and SAC has been brought into force from July 1,2014.The Emission standard for air pollutants of coal-burning,oil-burning and gasfi red boilers,which is the strictest emission standard historically,will tackle the stubborn pollution problem of boilers and waste incineration in most of China’s regions. 相似文献
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《新型炭材料》2014,(6):460
New Carbon Materials is a bimonthly journal published with the permission of the Ministry of Science and Technology and of the State News and Publication Agency.The journal is sponsored by the Institute of Coal Chemistry,Chinese Academy of Sciences,and is published by Science Press.Aims and Scope 相似文献
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《中国标准化(英文版)》2014,(5):3-3
正Recently,National Copyright Administration of China(NCAC)has rewarded 215 organizations and 179 individuals for their outstanding efforts on investigating standards copyright infringement and piracy in 2013.Hua Jianhua,the Deputy-Director of National Standards Copyright Protection Workgroup Office won a third prize of the national individual award.In 2012,SAC set up the national standards copyright protection working group,and developed policies to crack down standards infringement and piracy behaviors and to strengthen standards copyright protection. 相似文献